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리닉간섭계

  • 기술번호 : KST2014039733
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 틸트유닛을 갖는 리닉간섭계에 관한 것이다. 본 발명의 장치는 백색광을 기준광과 측정광으로 분리하는 광분할기와, 측정광을 측정물체로 집광하기 위한 제 1대물렌즈와, 기준광을 집광하기 위한 제 2대물렌즈와, 제 2대물렌즈에 의해 집광된 광을 반사하기 위한 기준미러, 및 제 2대물렌즈에 대한 상기 기준미러의 기울기를 조절하기 위한 틸트유닛을 포함한다. 따라서, 본 발명은 틸트유닛을 사용해서 소형화가 가능하고 플렉셔구조를 사용하므로 진동에 둔감한 효과를 제공한다. 리닉, 틸트, 플렉셔
Int. CL G02B 21/00 (2006.01) G01B 9/02 (2006.01)
CPC G01B 9/0209(2013.01) G01B 9/0209(2013.01) G01B 9/0209(2013.01) G01B 9/0209(2013.01) G01B 9/0209(2013.01)
출원번호/일자 1020070084560 (2007.08.22)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-0950589-0000 (2010.03.24)
공개번호/일자 10-2009-0020103 (2009.02.26) 문서열기
공고번호/일자 (20100401) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.08.22)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김기홍 대한민국 대전 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 공인복 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로**길*-**, 대송빌딩 *층(특허법인 대한(서초분사무소))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.08.22 수리 (Accepted) 1-1-2007-0608300-20
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.05.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.06.13 수리 (Accepted) 9-1-2008-0036005-48
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.02.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0086986-35
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.04.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0254592-55
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.04.27 수리 (Accepted) 1-1-2009-0254557-67
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.08.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0355152-17
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.08.27 수리 (Accepted) 1-1-2009-0526867-63
9 [지정기간단축]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Reduction of Designated Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2009.08.27 수리 (Accepted) 1-1-2009-0526862-35
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.08.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0526864-26
11 보정요구서
Request for Amendment
2009.09.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2009-0066966-11
12 [출원서등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)
2009.09.14 수리 (Accepted) 1-1-2009-0559176-95
13 등록결정서
Decision to grant
2009.12.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0530251-45
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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기준미러와 측정물체로부터 반사되는 반사광을 간섭시키는 백색광간섭계중 리닉간섭계에 있어서, 백색광을 기준광과 측정광으로 분리하는 광분할기; 상기 측정광을 측정물체로 집광하기 위한 제 1대물렌즈; 상기 기준광을 집광하기 위한 제 2대물렌즈; 상기 제 2대물렌즈에 의해 집광된 광을 반사하기 위한 기준미러; 및 상기 제 2대물렌즈에 대한 상기 기준미러의 기울기를 조절하기 위한 틸트유닛을 포함하며, 상기 틸트유닛은 두 개의 플렉셔구조이고, 상기 기준미러를 장착하여 기준미러와 일체로 회전되며,X축을 기준으로 회전하기 위한 플렉셔축(θx)과 Y축을 기준으로 회전하기 위한 플렉셔축(θy)을 가지고, 상기 플렉셔축(θx)을 기준으로 회전하기 위한 두 개의 나사를 구비하며, 상기 두 개의 나사 중 어느 하나는 전진하고 나머지 하나는 후퇴하므로써 플렉셔축(θx)을 기준으로 회전되고, 상기 틸트유닛은 상기 플렉셔축(θx)과 플렉셔축(θy) 각각에 대응하는 두 개씩의 나사를 이용하여 상기 기준미러가 상하방향과 좌우방향이 동시에 회전가능한 것을 특징으로 하는 틸트유닛을 갖는 리닉간섭계
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패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업자원부 한국기계연구원 차세대 신기술 개발 사업 Micro-factory 공정간 u-부품 Inspection 프로브 개발