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기판용 수분제거장치

  • 기술번호 : KST2014039831
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 개시된 유연성 폴리머 기판용 수분제거장치는, 통형의 챔버; 개폐판이 마련된 개폐프레임; 챔버 내부를 진공상태가 되게 하는 진공펌프; 수분을 제거하고자 하는 유연성 폴리머 기판을 설치하게 되는 풀림롤러; 풀림롤러를 회전시키면서 유연성 폴리머 기판을 풀어 이송되게 하는 풀림모터; 풀림모터에 의해 이송되는 유연성 폴리머 기판의 이송을 가이드하는 복수개의 풀림이송가이드롤러; 풀림이송가이드롤러에 의해 이송되는 유연성 폴리머 기판을 적외선램프로부터 발생되는 복사열로 건조하는 주가열건조부; 주가열건조부를 통해 가열 건조된 유연성 폴리머 기판을 냉각시키는 냉각드럼; 냉각드럼을 회전시키면서 냉각된 유연성 폴리머 기판을 이송되게 하는 드럼회전모터; 드럼회전모터에 의해 냉각상태로 이송되는 유연성 폴리머 기판의 이송을 가이드하는 복수개의 권취이송가이드롤러; 권취이송가이드롤러에 의해 이송되는 유연성 폴리머 기판을 적외선램프로부터 발생되는 복사열로 건조하는 보조가열건조부; 보조가열건조부를 지나면서 수분이 제거된 유연성 폴리머 기판을 권취하는 권취롤러; 귄취롤러를 회전시키면서 유연성 폴리머 기판을 용이하게 권취할 수 있게 하는 권취모터를 포함한다. 폴리머, 기판, 복사열, 디스플레이
Int. CL H01L 21/304 (2006.01)
CPC H01L 21/67115(2013.01)
출원번호/일자 1020080037098 (2008.04.22)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-0931000-0000 (2009.12.02)
공개번호/일자 10-2009-0111467 (2009.10.27) 문서열기
공고번호/일자 (20091210) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.04.22)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 제태진 대한민국 대전 서구
2 최두선 대한민국 대전 유성구
3 황경현 대한민국 대전 서구
4 유영은 대한민국 대전 서구
5 배종오 대한민국 대구 달서구
6 박재성 대한민국 경북 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 장한특허법인 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로 ***, **층 (서초동, 서초지웰타워)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.04.22 수리 (Accepted) 1-1-2008-0285781-69
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2009.01.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2009.02.16 수리 (Accepted) 9-1-2009-0008804-45
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.07.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0292521-51
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.09.03 수리 (Accepted) 1-1-2009-0542300-74
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.09.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0542299-15
7 등록결정서
Decision to grant
2009.11.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0491335-22
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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일측부가 개구된 통형의 챔버와; 일측부에는 상기 챔버의 개구된 일측부를 개폐하는 개폐판이 마련된 개폐프레임과; 상기 챔버와 연결되어 상기 개폐판에 의해 폐쇄된 상기 챔버 내부를 진공상태가 되게 하는 진공펌프와; 상기 개폐판에 회전 가능하게 설치되며, 수분을 제거하고자 하는 유연성 폴리머 기판을 설치하게 되는 풀림롤러와; 상기 개폐프레임에 설치된 상태로 상기 풀림롤러와 연결되어 상기 풀림롤러를 회전시키면서 유연성 폴리머 기판을 풀어 이송되게 하는 풀림모터와; 상기 개폐판에 회전 가능하게 설치되며, 상기 풀림모터에 의해 이송되는 유연성 폴리머 기판의 이송을 가이드하는 복수개의 풀림이송가이드롤러와; 상기 개폐판에 설치되며, 상기 풀림이송가이드롤러에 의해 이송되는 유연성 폴리머 기판을 적외선램프로부터 발생되는 복사열로 건조하는 주가열건조부와; 상기 개폐판에 회전 가능하게 설치되며, 내부에 냉각수를 순환시키면서 상기 주가열건조부를 통해 가열 건조된 유연성 폴리머 기판을 냉각시키는 냉각드럼과; 상기 개폐프레임에 설치된 상태로 상기 냉각드럼과 연결되어 상기 냉각드럼을 회전시키면서 냉각된 유연성 폴리머 기판을 이송되게 하는 드럼회전모터와; 상기 개폐판에 회전 가능하게 설치되며, 상기 드럼회전모터에 의해 냉각상태로 이송되는 유연성 폴리머 기판의 이송을 가이드하는 복수개의 권취이송가이드롤러와; 상기 개폐판에 설치되며, 상기 권취이송가이드롤러에 의해 이송되는 유연성 폴리머 기판을 적외선램프로부터 발생되는 복사열로 건조하는 보조가열건조부와; 상기 개폐판에 회전 가능하게 설치되며, 상기 보조가열건조부를 지나면서 수분이 제거된 유연성 폴리머 기판을 권취하는 권취롤러; 및, 상기 개폐프레임에 설치된 상태로 상기 권취롤러와 연결되어 상기 귄취롤러를 회전시키면서 유연성 폴리머 기판을 용이하게 권취할 수 있게 하는 권취모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 유연성 폴리머 기판용 수분제거장치
2 2
제 1항에 있어서, 상기 개폐프레임의 저면에는 상기 개폐프레임의 이동을 용이하게 하여 상기 챔버의 개구된 일측부를 상기 개폐판을 통해 용이하게 개폐할 수 있도록 복수개의 이동바퀴를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 유연성 폴리머 기판용 수분제거장치
3 3
제 1항에 있어서, 상기 챔버 일측부에는 유연성 폴리머 기판의 수분제거 및 상기 챔버 내에 내포되어 있는 수분을 제거하기 위한 폴리콜드를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 유연성 폴리머 기판용 수분제거장치
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제 1항에 있어서, 상기 주가열건조부 및 상기 보조가열건조부는 양단부가 절곡된 "ㄷ"형상의 한 쌍의 램프고정프레임과, 상기 각 램프고정프레임 내부에 설치되어 열을 발생하는 복수개의 적외선램프 및, 상기 각 램프고정프레임에 결합되는 판 부재로, 상기 적외선램프에서 발생된 열을 전달받아 유연성 폴리머 기판에 복사열로 발산되게 하는 열발산플레이트를 포함하고, 상기 한 쌍의 램프고정프레임은 상기 풀림이송가이드롤러 및 상기 권취이송가이드롤러에 의해 이송되는 유연성 폴리머 기판의 상부면 및 하부면에 인접하도록 마주보는 상태로 상호 이격되게 상기 개폐판에 설치되는 것을 특징으로 하는 유연성 폴리머 기판용 수분제거장치
5 5
제 1항에 있어서, 상기 개폐프레임에는 상기 개폐판에 설치되어 상기 풀림롤러, 상기 풀림이송가이드롤러, 상기 냉각드럼, 상기 권취이송가이드롤러, 상기 권취롤러를 안정적으로 지지하는 지지프레임을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 유연성 폴리머 기판용 수분제거장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 한국기계연구원 한국기계연구원 일반사업 초정밀 기계부품,시스템 공정혁신센터구축 사업