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펄스형 레이저를 발생시키는 레이저 발생부(10); 상기 레이저 발생부(10)에서 발생된 레이저의 경로를 스테이지(40) 상에 놓여진 대상물(200)을 향하도록 변경하는 편광판(20); 상기 편광판(20)으로부터 반사된 레이저를 집광하여 상기 대상물(200)을 향해 조사하는 집광렌즈(30); 를 포함하여 이루어지는 레이저 가공 장치(100)에 있어서,
상기 레이저 발생부(10)로부터 상기 대상물(200)까지의 레이저 경로 길이의 연장 및 단축이 반복적으로 이루어지도록 초음파 진동을 발생시키는 진동 발생부(50); 를 포함하여 이루어지며,
상기 진동 발생부(50)는 초음파 진동의 진동폭이 레이저 가공에 의해 형성되는 마이크로 홀의 직경의 5% 내지 30% 범위 내의 값을 가지도록 하는 것을 특징으로 하는 초음파 진동을 사용하는 하이브리드 레이저 가공 장치
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제 1항에 있어서, 상기 진동 발생부(50)는
상기 집광렌즈(30)에 연결되어 레이저 경로가 상기 집광렌즈(30)를 통과하는 방향과 나란한 방향으로 상기 집광렌즈(30)를 진동시키거나,
상기 스테이지(40)에 연결되어 레이저 경로가 상기 스테이지(40)에 놓인 상기 대상물(200)과 만나는 방향과 나란한 방향으로 상기 스테이지(40)를 진동시키는 것을 특징으로 하는 초음파 진동을 사용하는 하이브리드 레이저 가공 장치
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제 1항에 있어서, 상기 레이저 발생부(10)는
나노초(10-9sec) 레이저보다 레이저 펄스폭이 작은 펄스형 레이저를 발생시키는 것을 특징으로 하는 초음파 진동을 사용하는 하이브리드 레이저 가공 장치
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제 3항에 있어서, 상기 레이저 발생부(10)는
아토초(10-18sec) 레이저, 펨토초(10-15sec) 레이저 또는 피코초(10-12sec) 레이저 중에서 선택되는 어느 한 가지의 펄스형 레이저를 발생시키는 것을 특징으로 하는 초음파 진동을 사용하는 하이브리드 레이저 가공 장치
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제 1항에 있어서, 상기 진동 발생부(50)는
초음파 진동의 진동폭이 레이저 가공에 의해 형성되는 마이크로 홀의 직경의 20%의 값을 가지도록 하는 것을 특징으로 하는 초음파 진동을 사용하는 하이브리드 레이저 가공 장치
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제 1항에 있어서, 상기 레이저 가공 장치(100)는
상기 대상물(200)로부터 반사된 레이저가 상기 편광판(20)을 통과하여 진행하는 경로 상에 구비되어 상기 대상물(200) 표면 영상을 얻는 관찰부(60); 를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 초음파 진동을 사용하는 하이브리드 레이저 가공 장치
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제 7항에 있어서, 상기 관찰부(60)는
CCD 카메라를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 초음파 진동을 사용하는 하이브리드 레이저 가공 장치
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