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안테나를 이용해 초고주파를 송신하고, 금속에 형성된 스케일 층을 통해 진행하는 표면파 혹은 진행파, 상기 스케일 층에 의해 반사되는 반사파를 다른 안테나를 통해 측정하는 측정부; 및상기 측정된 표면파 혹은 진행파를 이용해 상기 스케일 층의 분포 및 두께와 유전율 및 투자율을 분석하고, 상기 측정된 반사파를 이용해 상기 금속과 스케일 층 사이의 접합 특성의 비선형성을 분석하며, 상기 측정부에서 상기 표면파 혹은 진행파로 측정된 제1 스케일 분석정보 또는 상기 반사파로 측정된 제2 스케일 분석정보 가운데 하나를 선택적으로 요청하는 스케일 분석부;를포함하는 금속 스케일 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 측정부는,상기 초고주파를 상기 금속에 형성된 스케일 층으로 송신하는 송신 안테나와,수신 안테나를 통해 수신되는 상기 송신된 초고주파를 저주파로 변조하는 변조부와,상기 송신 안테나에서 송신되고 상기 스케일 층을 거친 표면파 혹은 진행파 또는 반사파와, 상기 변조된 저주파를 수신하는 상기 수신 안테나와,상기 수신된 표면파 혹은 진행파 또는 반사파와, 상기 저주파를 믹싱하는 믹서부와, 상기 믹싱된 표면파 혹은 진행파 또는 반사파에 대하여 저주파 대역으로 필터링하는 저주파 대역 통과부와,상기 필터링된 저주파의 표면파 혹은 진행파 또는 반사파를 증폭하는 증폭부를 포함하는 금속 스케일 측정 장치
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제 2 항에 있어서,상기 송신 안테나는,상기 스케일 층에 초고주파를 송신하기 위해 방사형 혹은 역방사형 혼 안테나(horn antenna)이고, 상기 수신 안테나는 상기 스케일 층을 통해 진행하는 표면파 혹은 진행파 또는 상기 스케일 층에 의해 반사되는 반사파를 수신하기 위해 방사형 혹은 역방사형 혼 안테나인 금속 스케일 측정 장치
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제 3 항에 있어서,상기 송신 안테나는, 상기 스케일 분석부로부터 상기 금속과 스케일 층 사이의 접합 특성의 비선형성을 분석하도록 하는 스케일 분석 정보가 요청되는 경우, 상기 초고주파(f) 혹은 서로 다른 초고주파(f1,f2)를 상기 스케일 층의 표면에 직각으로 송신하는 금속 스케일 측정 장치
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제 2 항에 있어서,상기 변조부는, 호모다인 검출(homedyne detection) 기법을 사용하는 금속 스케일 측정 장치
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제 2 항에 있어서,상기 수신 안테나는, 상기 스케일 분석부로부터 상기 금속과 스케일 층 사이의 접합 특성의 비선형성을 분석하도록 하는 스케일 분석 정보가 요청되는 경우, 상기 송신 안테나에서 송신된 서로 다른 초고주파(f1,f2)와 4개의 서로 다른 초고주파(2f1-f2, 2f2-f1, f1+f2, f1-f2)를 수직 반사파로 수신하는 금속 스케일 측정 장치
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제 6 항에 있어서,상기 수직 반사파는, 투-톤(two-tone) 테스트 방식으로 수신되는 금속 스케일 측정 장치
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제 2 항에 있어서,상기 수신 안테나는, 상기 스케일 분석부로부터 상기 금속과 스케일 층 사이의 접합 특성의 비선형성을 분석하도록 하는 스케일 분석 정보가 요청되는 경우, 상기 송신 안테나에서 송신된 초고주파(f)와 상기 초고주파(f)의 3배인 제3초고주파(3f)를 수직 반사파로 수신하는 금속 스케일 측정 장치
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제 2 항에 있어서,상기 증폭부는, 락 인(lock in) 증폭기인 금속 스케일 측정 장치
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제 1항에 있어서,상기 안테나는,냉간 압연 공정 전의 산세 공정에서 스케일의 특성에 맞는 산의 농도와 공정 시간을 컨트롤하기 위해 열간 압연 공정 내의 상기 금속에 초고주파를 송신하여 상기 금속에 직접 전파를 유기시키는 금속 스케일 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 스케일 분석부는, 상기 측정부로부터 입력된 표면파 혹은 진행파를 이용하여 상기 금속에 형성된 스케일 층 각각의 분포와 두께를 분석하고, 상기 표면파 혹은 진행파에 대하여 종단 여기법 혹은 측변 여기법을 이용하여 상기 스케일 층을 이루는 각 요소들의 유전율 및 투자율을 분석하는 금속 스케일 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 스케일 분석부는, 상기 측정부로부터 입력된 저주파의 제3초고주파(3f)인 반사파와 상기 스케일 층으로 입사된 초고주파 간의 상대적 진폭 및 위상 비교를 통해 상기 금속과 스케일 층 사이의 접합 특성의 비선형성의 정도를 분석하는 금속 스케일 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 스케일 분석부는, 상기 측정부로부터 입력된 저주파의 서로 다른 초고주파(f1,f2)인 반사파와 상기 스케일 층으로 입사된 초고주파 간의 상대적 진폭 및 위상 비교를 통해 상기 금속과 스케일 층 사이의 접합 특성의 비선형성의 정도를 분석하는 금속 스케일 측정 장치
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스케일 분석 정보를 요청하는 단계와, 상기 요청된 스케일 분석 정보에 따라 안테나를 통해 초고주파를 금속에 형성된 스케일 층으로 송신하는 송신 단계와,상기 초고주파가 상기 스케일 층을 통해 진행하는 표면파 혹은 진행파 또는 상기 스케일 층에 의해 반사되는 반사파를 다른 안테나를 통한 측정 단계와,상기 측정된 표면파 혹은 진행파를 통해 상기 스케일 층의 분포 및 두께와 유전율 및 투자율을 분석하는 제1분석 단계와,상기 측정된 반사파를 통해 상기 금속과 스케일 층 사이의 접합 특성의 비선형성을 분석하는 제2분석 단계를 포함하는 금속 스케일 측정 방법
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제 14 항에 있어서,상기 송신 단계는,상기 스케일 층의 분포 및 두께와 유전율 및 투자율을 분석하도록 하는 스케일 분석 정보가 요청되는 경우, 상기 초고주파를 상기 금속에 형성된 스케일 층에 유기되도록 송신하는 것을 포함하는 금속 스케일 측정 방법
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제 14 항에 있어서,상기 송신 단계는,상기 금속과 스케일 층 사이의 접합 특성의 비선형성을 분석하도록 하는 스케일 분석 정보가 요청되는 경우, 상기 초고주파(f) 혹은 서로 다른 초고주파(f1,f2)를 상기 스케일 층의 표면에 직각으로 송신하는 것을 포함하는 금속 스케일 측정 방법
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제 16 항에 있어서,상기 측정 단계는, 상기 금속과 스케일 층 사이의 접합 특성의 비선형성을 분석하도록 하는 스케일 분석 정보가 요청되는 경우, 상기 서로 다른 초고주파(f1,f2)와 4개의 서로 다른 초고주파(2f1-f2, 2f2-f1, f1+f2, f1-f2)를 수직 반사파로 수신하여 측정하는 것을 포함하는 금속 스케일 측정 방법
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제 16 항에 있어서,상기 측정 단계는, 상기 금속과 스케일 층 사이의 접합 특성의 비선형성을 분석하도록 하는 스케일 분석 정보가 요청되는 경우, 상기 초고주파(f)와 상기 초고주파(f)의 3배인 제3초고주파(3f)를 수직 반사파로 수신하여 측정하는것을 포함하는 금속 스케일 측정 방법
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제 14 항에 있어서,상기 제1분석 단계는, 상기 측정된 표면파 혹은 진행파를 이용하여 상기 금속에 형성된 스케일 층 각각의 분포와 두께를 분석하고, 상기 표면파 혹은 진행파에 대하여 종단 여기법 혹은 측변 여기법을 이용하여 상기 스케일 층을 이루는 각 요소들의 유전율 및 투자율을 분석하는것을 포함하는 금속 스케일 측정 방법
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제 14 항에 있어서,상기 제2분석 단계는, 상기 스케일 층에 의해 반사되는 제3초고주파(3f)인 반사파와, 상기 스케일 층으로 입사된 초고주파 간의 상대적 진폭 및 위상 비교를 통해 상기 금속과 스케일 층 사이의 접합 특성의 비선형성의 정도를 분석하는것을 포함하는 금속 스케일 측정 방법
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제 14 항에 있어서,상기 제2분석 단계는, 상기 스케일 층에 의해 반사되는 서로 다른 초고주파(f1,f2)인 반사파와 상기 스케일 층으로 입사된 초고주파 간의 상대적 진폭 및 위상 비교를 통해 상기 금속과 스케일 층 사이의 접합 특성의 비선형성의 정도를 분석하는것을 포함하는 금속 스케일 측정 방법
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제 1항에 있어서,이동하는 상기 금속에 초고주파를 송신하는 상기 안테나는 직접 전파를 유기시키는 금속 스케일 측정 장치
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