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적층형 나선 인덕터에 있어서, 2 이상의 제1 서브 도전체 라인들로 구성되고, 하프 루프(Half Loop) 형태를 갖는 제1 도전체 라인 및 2 이상의 제2 서브 도전체 라인들로 구성되고, 상기 제1 도전체 라인과 대칭되는 하프 루프 형태를 갖는 제2 도전체 라인을 포함하는 루프 형태의 복수의 도전층들 을 포함하되, 상기 복수의 도전층들 중 홀수번째 도전층들에 포함된 상기 2 이상의 제1 서브 도전체 라인들 및 상기 2 이상의 제2 서브 도전체 라인들은 상기 복수의 도전층들 중 짝수번째 도전층들에 포함된 상기 2 이상의 제1 서브 도전체 라인들 및 상기 2 이상의 제2 서브 도전체 라인들과 서로 오버랩되지 않는 것을 특징으로 하는 적층형 나선 인덕터
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제1항에 있어서, 상기 복수의 도전층들 중 어느 하나의 도전층에 포함된 제1 도전체 라인은 상기 어느 하나의 도전층과 이웃하여 위치하는 상부 도전층 또는 하부 도전층 각각에 포함된 제1 도전체 라인들 중 적어도 하나와 전기적으로 연결되고, 상기 어느 하나의 도전층에 포함된 제2 도전체 라인은 상기 상부 도전층 또는 하부 도전층 각각에 포함된 제2 도전체 라인들 중 적어도 하나와 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 적층형 나선 인덕터
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제2항에 있어서, 상기 어느 하나의 도전층에 포함된 제1 도전체 라인은 비아(via)를 통해 상기 이웃하여 위치하는 상부 도전층 또는 하부 도전층 각각에 포함된 제1 도전체 라인들 중 적어도 하나와 전기적으로 연결되고, 상기 어느 하나의 도전층에 포함된 제2 도전체 라인은 비아를 통해 상기 이웃하여 위치하는 상부 도전층 또는 하부 도전층 각각에 포함된 제2 도전체 라인들 중 적어도 하나와 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 적층형 나선 인덕터
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제1항에 있어서, 상기 홀수번째 도전층들의 루프 크기는 서로 동일하고, 상기 짝수번째 도전층들의 루프 크기는 서로 동일하며, 상기 홀수번째 도전층들의 루프 크기와 상기 짝수번째 도전층들의 루프 크기는 서로 상이한 것을 특징으로 하는 적층형 나선 인덕터
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제4항에 있어서, 상기 2 이상의 제1 서브 도전체 라인은 동일 평면 상에 위치하며, 내측에 위치하는 하나 이상의 제1 내측 서브 도전체 라인 및 외측에 위치하는 하나 이상의 제1 외측 서브 도전체 라인을 포함하고, 상기 복수의 도전층 중 어느 하나의 도전층에 포함된 상기 하나 이상의 제1 내측 서브 도전체 라인은 상기 어느 하나의 도전층과 이웃하여 위치하는 상부 도전층 또는 하부 도전층 각각에 포함된 상기 하나 이상의 제1 외측 서브 도전체 라인과 각각 전기적으로 연결되고, 상기 어느 하나의 도전층에 포함된 상기 하나 이상의 제1 외측 서브 도전체 라인은 상기 이웃하여 위치하는 상부 도전층 또는 하부 도전층 각각에 포함된 상기 하나 이상의 제1 내측 서브 도전체 라인과 각각 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 적층형 나선 인덕터
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제4항에 있어서, 상기 2 이상의 제2 서브 도전체 라인은 동일 평면 상에 위치하며, 내측에 위치하는 하나 이상의 제2 내측 서브 도전체 라인 및 외측에 위치하는 하나 이상의 제2 외측 서브 도전체 라인을 포함하고, 상기 복수의 도전층 중 어느 하나의 도전층에 포함된 상기 하나 이상의 제2 내측 서브 도전체 라인은 상기 어느 하나의 도전층과 이웃하여 위치하는 상부 도전층 또는 하부 도전층 각각에 포함된 상기 하나 이상의 제2 외측 서브 도전체 라인과 각각 전기적으로 연결되고, 상기 어느 하나의 도전층에 포함된 상기 하나 이상의 제2 외측 서브 도전체 라인은 상기 이웃하여 위치하는 상부 도전층 또는 하부 도전층 각각에 포함된 상기 하나 이상의 제2 내측 서브 도전체 라인과 각각 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 적층형 나선 인덕터
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적층형 나선 인덕터에 있어서, 하프 루프 형태의 제1 도전체 라인 및 상기 제1 도전체 라인과 대칭되는 하프 루프 형태의 제2 도전체 라인을 포함하는 루프 형태의 복수의 도전층들 을 포함하되, 상기 복수의 도전층들 중 홀수번째 도전층들에 포함된 제1 도전체 라인들 및 제2 도전체 라인들은 적어도 일부가 서로 오버랩되고, 상기 복수의 도전층들 중 짝수번째 도전층들에 포함된 제1 도전체 라인들 및 제2 도전체 라인들은 적어도 일부가 서로 오버랩되며, 상기 홀수번째 도전층들에 포함된 제1 도전체 라인들 및 제2 도전체 라인들은 상기 짝수번째 도전층들에 포함된 제1 도전체 라인들 및 제2 도전체 라인들과 서로 오버랩되지 않는 것을 특징으로 하는 적층형 나선 인덕터
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8
제7항에 있어서, 상기 복수의 도전층들 중 어느 하나의 도전층에 포함된 제1 도전체 라인은 상기 어느 하나의 도전층과 이웃하여 위치하는 상부 도전층 또는 하부 도전층 각각에 포함된 제1 도전체 라인들 중 적어도 하나와 전기적으로 연결되고, 상기 어느 하나의 도전층에 포함된 제2 도전체 라인은 상기 상부 도전층 또는 하부 도전층 각각에 포함된 제2 도전체 라인들 중 적어도 하나와 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 적층형 나선 인덕터
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제8에 있어서, 상기 어느 하나의 도전층에 포함된 제1 도전체 라인은 비아를 통해 상기 이웃하여 위치하는 상부 도전층 또는 하부 도전층 각각에 포함된 제1 도전체 라인들 중 적어도 하나와 전기적으로 연결되고, 상기 어느 하나의 도전층에 포함된 제2 도전체 라인은 비아를 통해 상기 이웃하여 위치하는 상부 도전층 또는 하부 도전층 각각에 포함된 제2 도전체 라인들 중 적어도 하나와 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 적층형 나선 인덕터
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10
제7항에 있어서, 상기 홀수번째 도전층들의 루프 크기는 서로 동일하고, 상기 짝수번째 도전층들의 루프 크기는 서로 동일하며, 상기 홀수번째 도전층들의 루프 크기와 상기 짝수번째 도전층들의 루프 크기는 서로 상이한 것을 특징으로 하는 적층형 나선 인덕터
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제7항에 있어서, 상기 제1 도전체 라인은 동일 평면 상에 위치하는 2 이상의 제1 서브 도전체 라인들을 포함하고, 상기 제2 도전체 라인은 동일 평면 상에 위치하는 2 이상의 제2 서브 도전체 라인들을 포함하며, 상기 홀수번째 도전층들에 포함된 2 이상의 제1 서브 도전체 라인들 및 2 이상의 제2 서브 도전체 라인들은 상기 짝수번째 도전층들에 포함된 2 이상의 제1 서브 도전체 라인들 및 2 이상의 제2 서브 도전체 라인들과 서로 오버랩되지 않는 것을 특징으로 하는 적층형 나선 인덕터
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