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기판과, 상기 기판 상에 형성된 하부 전극층과, 상기 하부 전극층 상에 형성된 CIS계 재료로 이루어진 광반응층과, 상기 광반응층 상에 형성된 버퍼층과, 상기 버퍼층 상에 형성되어 윈도우 역할을 하는 ZnO 층과, 상기 ZnO 층 상에 형성된 상부 전극층을 포함하는 CIS계 태양전지용 반사 방지 코팅을 형성하는 방법으로서,상기 상부 전극층과 반응하는 반응 화합물을 담고 있는 반응 챔버 내에 상기 태양전지를 수직 방향으로 침지시킨 후, 상기 반응 챔버를 밀봉하고 가열하여 하이드로써멀 반응을 일으켜, 상기 상부 전극층 상에 바텀-업(bottom-up) 방식으로 나방눈 구조의 나노로드를 성장시켜 반사 방지 코팅을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 CIS계 태양전지용 반사 방지 코팅 형성 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 상부전극층은 상기 나노로드의 시드층(seed layer) 역할을 하는 것을 특징으로 하는 CIS계 태양전지용 반사 방지 코팅 형성 방법
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청구항 2에 있어서, 상기 상부 전극층은 알루미늄이 도핑된 ZnO(AZO)으로 이루어지고, 상기 반응 화합물은 징크 니트레이트 헥사하이드레이트(Zn(NO3)26H2O)와 헥사메틸렌테트라민(C6H12N4)을 수용액 중에서 혼합하여 제조하는 것을 특징으로 하는 CIS계 태양전지용 반사 방지 코팅 형성 방법
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청구항 3에 있어서, 상기 하이드로써멀 반응 중에 수용액에서 Zn(OH)2의 침전물이 형성되고, 이 침전물로부터 생성되는 ZnO 나노입자들이 상기 시드층 상에 쌓이면서 확산하여 ZnO 나노로드가 성장하는 것을 특징으로 하는 CIS계 태양전지용 반사 방지 코팅 형성 방법
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청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서, 상기 하이드로써멀 반응 수행시 반응 시간을 조절하여, 상기 나방눈 구조의 나노로드의 첨단부 형태를 조절하는 것을 특징으로 하는 CIS계 태양전지용 반사 방지 코팅 형성 방법
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청구항 5에 있어서, 상기 하이드로써멀 반응의 시간을 1
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청구항 5에 있어서, 상기 하이드로써멀 반응의 시간을 3시간으로 제어하여, 첨단부가 평탄한 나노로드를 성장시키는 것을 특징으로 하는 CIS계 태양전지용 반사 방지 코팅 형성 방법
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기판과, 상기 기판 상에 형성된 하부 전극층과, 상기 하부 전극층 상에 형성된 CIS계 재료로 이루어진 광반응층과, 상기 광반응층 상에 형성된 버퍼층과, 상기 버퍼층 상에 형성되어 윈도우 역할을 하는 ZnO 층과, 상기 ZnO 층 상에 형성된 상부 전극층과,상기 상부 전극층의 표면으로부터 바텀-업(bottom-up) 형태로 성장되어 나방눈 구조를 갖는 나노로드에 의해 이루어지는 반사 방지 코팅을 포함하는 것을 특징으로 하는 CIS계 태양전지
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9
청구항 8에 있어서, 상기 상부 전극층의 표면은 평탄하지 않은 표면 형태를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 CIS계 태양전지
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10
청구항 9에 있어서, 상기 상부 전극층은 알루미늄이 도핑된 징크 옥사이드(AZO)로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 CIS계 태양전지
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청구항 8 내지 청구항 10 중 어느 한 항에 있어서, 상기 나방눈 구조의 나노로드는 원뿔형의 첨단부를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 CIS계 태양전지
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12
청구항 8 내지 청구항 10 중 어느 한 항에 있어서, 상기 나방눈 구조의 나노로드는 평탄한 첨단부를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 CIS계 태양전지
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