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제1항에 의한 그라핀 나노 필터 망(110);상기 그라핀 나노 필터 망(110)의 가장자리 둘레에 연속하여 결합되어 상기 그라핀 나노 필터 망(110)을 일정한 형태로 고정, 유지시키는 그라핀 프레임(120); 및1㎛ 이상 내지 10㎝ 이하 너비의 내부 유로(210)가 형성되며, 상기 내부 유로(210)를 통과하는 유체가 상기 그라핀 나노 필터 망(110)을 통과하도록 상기 그라핀 프레임(120)의 외면 둘레가 내벽상에 결합, 고정되는 필터채널(200);을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 그라핀 나노 필터
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제2항에 있어서, 상기 그라핀 프레임(120)과 필터채널(200)은,PDMS(polydimethylsiloxane)와 같은 폴리머 재질로 구성되는 것을 특징으로 하는 그라핀 나노 필터
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제2항에 있어서, 상기 필터채널(200)은,상기 그라핀 프레임(120)의 외면 둘레를 끼워 고정가능하도록 내벽상에 함몰형성된 조립홈(221);을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 그라핀 나노 필터
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제2항에 있어서,외부의 유체가 인렛포트(inlet port)를 통해 상기 필터채널의 내부 유로(210)로 인입가능한 통로를 제공하는 인렛포트 결합홀(230); 및상기 필터채널의 내부 유로(210)를 통과하며 필터링(filtering)된 유체가 아웃렛포트(outlet port)를 통해 상기 필터채널(200) 외부로 배출가능한 통로를 제공하는 아웃렛포트 결합홀(240);을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 그라핀 나노 필터
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탄소 원자가 0
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제6항에 있어서, 상기 그라핀 생성단계(S1-A)는,화학 증착법(CVD, chemical vapor deposition technique) 또는 기계적 박리법에 의해 1㎛ 이상 내지 10㎝ 이하 너비의 모노레이어(mono-layer), 바이레이어(bi-layer), 또는 트리플레이어(triple-layer) 이상의 적층구조를 가지는 그라핀(111)을 생성하는 것을 특징으로 하는 그라핀 나노 필터 제작방법
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제6항 또는 제7항에 있어서, 상기 그라핀 식각단계(S2)는,바이레이어(bi-layer) 또는 트리플레이어(triple-layer) 이상의 적층구조를 가지는 그라핀(111)의 양측에 각각 독립적인 패턴의 공극(112)을 형성하여, 양측에 형성된 패턴의 위치, 형태의 일치정도에 따라 공극(112)의 형태와 크기를 조정, 제어하는 것을 특징으로 하는 그라핀 나노 필터 제작방법
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제6항에 있어서, 상기 그라핀 식각단계(S2)는,상기 그라핀(111)을 실리콘 기판(10)상에 이송, 안착시키는 그라핀 준비단계(S2-1);상기 그라핀(111)에 직경 1㎚ 이상 내지 100㎚ 이하 사이즈의 홀이 패터닝된 상기 마스크(20)를 씌우는 마스크 준비단계(S2-2); 및플라즈마(plasma)를 상기 마스크(20)측으로 분사하여, 상기 마스크(20)에 형성된 홀을 통과한 플라즈마에 의해 그라핀(111)을 구성하는 탄소원자간의 공유 결합을 끊으면서 직경 1㎚ 이상 내지 100㎚ 이하 사이즈의 미세 공극(112)을 형성하는 플라즈마 식각단계(S2-3);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 그라핀 나노 필터 제작방법
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제6항 또는 제9항에 있어서,상기 그라핀 식각단계(S2) 이전에, 실리콘(Silicon) 기판에 직경 2㎚ 이상 내지 200㎚ 이하 사이즈의 홀을 가공하고, 실리콘 옥사이드(Silicon oxide)로 산화시키는 것에 의해, 부피를 1
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제6항에 있어서, 상기 그라핀 식각단계(S2)는,식각 시간에 따라 상기 공극(112) 사이즈를 확대 또는 축소 조정하는 것을 특징으로 하는 그라핀 나노 필터 제작방법
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제6항에 있어서,상기 그라핀 식각단계(S2)를 거친 상기 그라핀(111)의 가장자리 둘레에, 상기 그라핀(111)을 일정한 형태로 고정, 유지가능한 강성을 가지는 그라핀 프레임(120)을 연속하여 결합시키는 프레임 결합단계(S3); 및1㎛ 이상 내지 10㎝ 이하 너비의 내부 유로(210)가 형성된 필터채널(200)의 내벽상에 상기 그라핀 프레임(120)의 외면 둘레를 결합, 고정시키는 필터채널 조립단계(S4);를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 그라핀 나노 필터 제조방법
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제12항에 있어서, 상기 필터채널 조립단계(S4)는,상기 필터채널의 내부 유로(210)의 길이방향을 따라 다수의 상기 그라핀(111) 및 그라핀 프레임(120)을 배치시키는 것을 특징으로 하는 그라핀 나노 필터 제조방법
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