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압전 탄성재질의 기판(110);상기 기판(110)상에 패터닝되며, 외부에서 전압신호를 인가받아 상기 기판(110)상에 표면 탄성파(surface acoustic wave)를 발생시키거나, 상기 기판(110)을 통해 전달된 표면 탄성파가 흡수되며, 제1단자와 제2단자로 이루어진 한쌍의 제1, 2전극(electrode)(120, 130);상기 제1, 2전극(120, 130) 사이에서 상기 기판(110)상에 접촉 내지 압착되게 탑재되고, 상기 기판(110) 표면에 형성된 표면 탄성파에 의해 직선이동되는 슬라이더(140);상기 슬라이더(140)에 연결 설치되고, 상기 제1, 2전극(120, 130) 중 상기 기판(110)을 통해 전달된 표면 탄성파를 흡수하게 되는 전극의 제1단자에 전기적으로 연결되는 이동소자(151); 및상기 슬라이더(140)의 이동변위에 비례하여 상기 이동소자(151)와 상대변위를 가지도록 상기 기판(110) 외측에 고정 설치되고, 상기 이동소자(151)가 연결되는 전극과 동일한 전극의 제2단자에 전기적으로 연결되는 고정소자(152);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 표면 탄성파 센서 및 구동기 통합장치
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제1항에 있어서, 상기 제1, 2전극(120, 130)은,외부에서 전압신호를 인가받아 상기 기판(110)상에 표면 탄성파를 발생시키는 인풋 전극(input electrode)과, 상기 기판(110)을 통해 전달된 표면 탄성파가 흡수되는 아웃풋(output electrode) 전극의 기능을 상호 교번적으로 수행하는 것을 특징으로 하는 표면 탄성파 센서 및 구동기 통합장치
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제1항에 있어서, 상기 제1, 2전극(120, 130)은,전위차에 의해 전기장을 발생시키는 양극단자와, 음극단자로 이루어지는 것을 특징으로 하는 표면 탄성파 센서 및 구동기 통합장치
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제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 제1, 2전극(120, 130)은,빗(comb)형상을 가지며, 빗형상의 빗살부분이 서로 교번되도록 대향되게 배치되는 한쌍의 탠덤전극(tandem electrode)으로 구성되는 것을 특징으로 하는 표면 탄성파 센서 및 구동기 통합장치
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제1항에 있어서, 상기 고정소자(152)는,상기 슬라이더(140)의 이동 방향을 기준으로 전방 또는 후방측에 설치되며,상기 이동소자(151)는,이동 중에도 상기 고정소자(152)와 일정한 대향면적을 유지가능한 대향면을 구비하여, 상기 고정소자(152)에 대향되게 설치되는 것을 특징으로 하는 표면 탄성파 센서 및 구동기 통합장치
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제1항에 있어서, 상기 이동소자(151)와 고정소자(152)는,상기 슬라이더(140)의 이동방향을 따라 연속하여 연장되는 대향면을 구비하여 상호 대향되게 설치되는 것을 특징으로 하는 표면 탄성파 센서 및 구동기 통합장치
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제7항에 있어서,상기 제1, 2전극(120, 130) 각각을 구성하는 단자에 연결되어, 상기 이동소자(151)와 고정소자(152)간의 간극 변화 또는 대향면적의 변화에 따른 전기용량 변화를 감지하여 전기신호로 변환하는 센서소자;를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 표면 탄성파 센서 및 구동기 통합장치
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제1항에 의한 표면 탄성파 센서 및 구동기 통합장치(100);상기 표면 탄성파 센서 및 구동기 통합장치의 제1, 2전극(120, 130)에 연결되며, 상기 제1, 2전극(120, 130) 중 일측에 선택적으로 전원을 공급하는 전원공급장치(200); 및상기 표면 탄성파 센서 및 구동기 통합장치의 제1, 2전극(120, 130)에 연결되며, 상기 제1, 2전극(120, 130) 중 타측에서 전하량 내지 전기용량을 감지하여 전기신호로 변환하는 센서장치;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 초정밀 이송장치
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제9항에 있어서, 상기 센서장치는,상기 제1, 2전극(120, 130) 각각을 구성하는 단자에 연결되어, 상기 표면 탄성파 센서 및 구동기 통합장치의 이동소자(151)와 고정소자(152)간의 간극 변화 또는 대향면적의 변화에 따른 전기용량 변화를 감지하여 전기신호로 변환하는 센서소자;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 초정밀 이송장치
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제9항 또는 제10항에 있어서,상기 센서장치에서 전기신호를 전달받아 상기 이동소자(151)와 고정소자(152)간의 간극 변화 또는 대향면적 변화 내지 상기 이동소자(151)의 이동거리를 연산, 도출하는 연산부와, 상기 연산부에서 도출된 값을 숫자나 그래프로 실시간 디스플레이하는 디스플레이부가 구비되는 이송거리 표시수단;을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 초정밀 이송장치
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제9항 또는 제10항에 있어서,상기 센서장치에서 전기신호를 전달받아 상기 이동소자(151)와 고정소자(152)간의 간극 변화 또는 대향면적 변화 내지 상기 이동소자(151)의 이동거리를 연산, 도출하는 연산부와, 상기 연산부에서 도출된 값을 기설정된 기준값과 비교하여 일치하지 않으면 상기 전원공급장치(200)를 작동시키고, 일치하면 상기 전원공급장치(200)의 작동을 정지시키는 제어를 수행하는 제어부가 구비되는 자동이송 제어수단;을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 초정밀 이송장치
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