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반도체 소자의 적어도 하나의 파워핀에 전력의 공급을 차단하는 단계;상기 파워핀에 전력의 공급이 차단된 반도체 소자에 테스트 패턴을 인가하는 단계; 및상기 테스트 패턴이 인가된 반도체 소자의 정상동작 여부를 판단하는 단계를 포함하는 반도체 소자의 테스트 방법
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제1항에 있어서, 상기 파워핀에 전력의 공급을 차단하는 단계는,상기 반도체 소자 내부에 스위치를 구비하고, 상기 스위치의 온/오프 제어를 통해 달성하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 테스트 방법
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제2항에 있어서, 상기 스위치의 온/오프 제어는 상기 반도체 소자에 컨트롤 신호를 이용하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 테스트 방법
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제1항에 있어서, 상기 파워핀에 전력의 공급을 차단하는 단계는,상기 파워핀과 접촉되는 테스트 장치의 컨택 수단을 물리적으로 제거하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 테스트 방법
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제1항에 있어서, 상기 파워핀에 전력의 공급을 차단하는 단계는,테스트 장치의 테스트 헤드에 구비된 전력공급수단을 제어하여 달성하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 테스트 방법
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제1항에 있어서, 상기 파워핀에 전력의 공급을 차단하는 단계는,상기 반도체 소자 자체에 노이즈 발생환경을 인위적으로 조성하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 테스트 방법
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반도체 소자의 적어도 하나의 파워핀에 공급가능한 전력의 상한을 설정하는 단계;상기 반도체 소자에 테스트 패턴을 인가하는 단계; 및상기 테스트 패턴이 인가된 반도체 소자의 정상동작 여부를 판단하는 단계를 포함하는 반도체 소자의 테스트 방법
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제7항에 있어서, 상기 파워핀에 공급가능한 전력의 상한을 설정하는 단계는,테스트 장치를 이용한 프로그램 동작을 이용하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 테스트 방법
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제7항에 있어서, 상기 파워핀에 공급가능한 전력의 상한을 설정하는 단계는,상기 반도체 소자 자체에 노이즈 발생환경을 인위적으로 조성하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 테스트 방법
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반도체 소자에 형성된 다수의 파워핀들 중에서 적어도 하나의 파워핀에 공급되는 전력을 차단하는 차단단계; 및상기 차단단계의 결과에 기초하여 노이즈를 발생시키는 단계를 포함하는 반도체 소자의 테스트를 위한 노이즈 발생방법
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