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유체와 열전달이 이루어지도록, 열전달면이 마련된 베이스부; 및상기 베이스부의 상부에 배치되고, 상기 열전달면에서 생성된 버블(Bubble)과 유체 사이의 온도차이에 의한 열팽창(Thermal expansion)에 따라 움직임(Motion)이 발생되는 열팽창부를 포함하는 기포 제거용 구조물
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제1 항에 있어서,상기 열팽창부는,이종재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 기포 제거용 구조물
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제1 항에 있어서,상기 열팽창부는,온도변화에 따라 열팽창이 이루어지는 제1 열팽창부;상기 제1 열팽창부와 상이한 열팽창계수로 이루어진 제2 열팽창부로 이루어진 것을 특징으로 하는 기포 제거용 구조물
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제3 항에 있어서,상기 열팽창부는,길이 방향에서 열팽창이 이루어지는 것을 특징으로 하는 기포 제거용 구조물
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제1 항에 있어서,상기 열팽창부는,길이가 0
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제1 항에 있어서,상기 베이스부는,상면에 초친수 코팅층(superhydrophobic coating layer)이 형성된 것을 특징으로 하는 기포 제거용 구조물
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고온 또는 초고온상태로 발열이 이루어지는 발열부;상기 발열부의 외측에 밀착 배치된 열전달면을 통해 유체에 열을 전달하는 베이스부;상기 베이스부의 상부에 소정의 간격으로 이격 배치되고, 상부로 돌출된 블록; 및상기 베이스부의 상면과 블록 상면에 배치되고, 상기 열전달면과 블록 상면에서 생성된 버블(Bubble)과 유체 사이의 온도차이에 의한 열팽창(Thermal expansion)에 따라 움직임(Motion)이 발생되는 열팽창부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기포 제거용 구조물
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제7 항에 있어서,상기 베이스부와 블록에 배치된 열팽창부는 높이 차이를 가지며 배치된 것을 특징으로 하는 기포 제거용 구조물
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제7 항에 있어서,상기 열팽창부는,온도변화에 따라 열팽창이 이루어지는 제1 열팽창부;상기 제1 열팽창부와 상이한 열팽창계수로 이루어진 제2 열팽창부로 이루어진 것을 특징으로 하는 기포 제거용 구조물
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제7 항에 있어서,상기 블록은,캐비티(Cavity) 또는 필라(Pillar) 형상인 것을 특징으로 하는 기포 제거용 구조물
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제7 항에 있어서,상기 블록은,상기 베이스부 상면에 패턴으로 형성되며, 상기 패턴간의 간격은 1 내지 10000 마이크로미터인 것을 특징으로 하는 기포 제거용 구조물
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열전달 상태에 따라 열팽창이 이루어지는 구조물을 생성하기 위해 기판을 준비하고, 상기 기판에 잔존하는 불순물을 제거하는 단계;상기 기판을 식각용액에 침전시켜서 제1 열팽창부를 형성하는 단계; 및상기 기판을 증착시켜 상기 제1 열팽창부와 열팽창계수가 상이한 제2 열팽창부를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 구조물 제조방법
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열전달 상태에 따라 열팽창이 이루어질, 제1 열팽창부에 대한 제작을 위한 몰드를 제작하는 단계;상기 몰드에 금속 전해질이 증착되도록 상기 몰드를 전해 용액에 침전시켜서 제1 열팽창부를 형성하는 단계;생성된 제1 열팽창부를 제외한 몰드를 제거하는 단계; 및상기 제1 열팽창부와 상이한 열팽창계수를 갖는 제2 열팽창부를 형성하기 위해 상기 제1 열팽창부에 금속 입자를 증착하는 단계를 포함하는 구조물 제조방법
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제13 항에 있어서,상기 금속 입자를 증착하는 단계는,상기 제1 열팽창부의 길이 방향을 따라 일측면에만 증착이 이루어지는 것을 특징으로 하는 구조물 제조방법
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