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바이오 시료를 농축하고 상기 바이오 시료와 용매를 분배유로로 전달하는 전처리 농축기;상기 전처리 농축기에서 전달된 상기 바이오 시료가 흐르는 반응챔버와, 상기 용매가 흐르는 비교챔버를 포함하는 분배유로; 및상기 분배유로에서 발생하는 상기 바이오시료의 반응에 의한 열적변화량을 감지하는 열전대;를 포함하는 열전센서;상기 열전센서에서 감지된 열적변화량을 전기적 신호로 변환하는 변환기; 및상기 변환기에서 변환된 전기적 신호값을 출력하는 출력장치를 포함하는 열전센서시스템
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바이오 시료를 농축하고 상기 바이오 시료와 용매를 분배유로로 전달하는 전처리 농축기;상기 전처리 농축기에서 전달된 상기 바이오 시료는 반응챔버로 전달하고, 상기 용매는 비교챔버로 전달하는 분배유로;상기 분배유로에서 발생하는 상기 바이오시료의 반응에 의한 열적변화량을 감지하는 열전대를 포함하는 열전센서
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제 2 항에 있어서,상기 전처리 농축기는 교류 전압이 인가되는 경우 전기장을 발생시키는 전극을 포함하고, 상기 전처리 농축기는 상기 분배유로 상단에 설치되는 것을 특징으로 하는 열전센서
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제 3 항에 있어서,상기 전극은 두 개의 평면전극으로 상호 대칭형태로 배치되는 것을 특징으로 하는 열전 센서
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제 2 항에 있어서,상기 분배유로는 열전대 사이에 위치하며, 상기 열전대의 고온접합부에 반응챔버가 위치하고, 상기 열전대의 저온접합부에 비교챔버가 위치하는 것을 특징으로 하는 열전센서
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제 5 항에 있어서상기 열전대는 이중 열전대인 것을 특징으로 하는 열전센서
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제 2 항에 있어서,상기 분배유로의 반응챔버는 반응물질이 유입되는 주입구를 포함하는 것을 특징으로 하는 열전센서
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제 2 항에 있어서,상기 열전대는 고온접합부와 저온접합부를 포함하며, 상기 고온접합부와 저온접합부 사이의 온도차이를 감지하는 것을 특징으로 하는 열전센서
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유리기판 위에 전처리 농축기 및 열전대를 형성하는 제1단계;PDMS몰딩을 통해 분배유로를 형성하는 제2단계;상기 제1단계를 통해 형성된 전처리 농축기 및 열전대와 상기 제2단계를 통해 형성된 분배유로를 플라즈마 본딩을 통해 결합하는 제3단계를 포함하는 열전센서 제조방법
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제 9 항에 있어서,상기 제1단계는유리기판에 포토레지스트 패턴을 형성하는 패턴형성단계;상기 패턴형성단계에서 형성된 패턴을 식각하는 식각단계;상기 식각된 기판에 금속을 증착하는 증착단계;상기 패턴에 증착된 금속이외의 금속을 제거하는 단계를 포함하는 열전센서 제조방법
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제 10 항에 있어서,상기 증착단계에 증착되는 금속은 Au인 것을 특징으로 하는 열전센서 제조방법
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제 11 항에 있어서,상기 유리기판에 Au가 증착이 잘되게 하기 위해 상기 유리기판과 상기 Au 사이에 접착층으로 Ti를 증착하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열전센서 제조방법
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제 9 항에 있어서,상기 제1단계는 유리기판에 포토레지스트 패턴을 형성하는 제1패턴형성단계;상기 제1패턴형성단계에서 형성된 패턴을 식각하는 제1식각단계;상기 제1식각된 기판에 제1금속을 증착하는 제1금속증착단계;상기 패턴에 증착된 제1금속이외의 제1금속을 제거하는 제1금속제거단계;상기 패턴에 증착된 제1금속이외의 제1금속을 제거한 기판에 포토레지스트 패턴을 형성하는 제2패턴형성단계;상기 제2패턴형성단계에서 형성된 패턴을 식각하는 제2식각단계;상기 제2식각된 기판에 제2금속을 증착하는 제2금속증착단계;상기 제2패턴에 증착된 제2금속이외의 제2금속을 제거하는 제2금속제거단계를 포함하는 열전센서 제조방법
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제 13 항에 있어서,상기 제1금속은 Au인 것을 특징으로 하는 열전센서 제조방법
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제 13 항에 있어서,상기 제2금속은 Ni 또는 Cr인 것을 특징으로 하는 열전센서 제조방법
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제 9 항에 있어서,상기 제2단계는기판에 분배유로형상의 몰드를 형성하는 몰드형성단계;상기 몰드가 형성된 기판에 PDMS를 주입하여 소성하는 소성단계;상기 소성된 PDMS 분배유로를 분리하는 분리단계를 포함하는 열전센서 제조방법
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제 16 항에 있어서,상기 몰드형성단계는 기판에 포토레지스트을 코팅하고 소성하는 단계;상기 포토레지스트가 코팅된 기판에 패턴을 노광장치를 이용하여 전사하는 단계;상기 전사된 기판에 디벨로퍼를 이용하여 상기 패턴의 포토레지스트만 남기는 단계를 포함하는 열전센서 제조방법
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제 17 항에 있어서,상기 포토레지스트는 SU-8인 것을 특징으로 하는 열전젠서 제조방법
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제 16 항에 있어서,상기 소성단계는 상기 기판에 PDMS를 주입하는 단계;상기 주입된 PDMS의 기포를 제거하는 단계;상기 기포 제거후 소성하는 단계를 포함하는 열전센서 제조방법
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제 9 항에 있어서,상기 제3단계는 상기 분배유로에 주입구와 배출구를 형성하는 단계;플라즈마 처리 단계상기 분배유로와 상기 유리기판에 형성된 전처리 농축기 및 열전대를 정렬하여 본딩하는 단계;상기 본딩 후 소성단계를 포함하는 열전센서 제조방법
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