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플라즈마 챔버의 일측에 배치되어, 상기 플라즈마 챔버 내의 플라즈마 입자들의 3차원 공간분포를 획득하는 CCD 카메라; 및상기 CCD 카메라의 전방에 결합되고, 접사렌즈 및 적어도 하나의 볼록렌즈를 구비하여 상기 CCD 카메라의 배율을 확대하는 복합렌즈를 포함하는 플라즈마 입자 촬영을 위한 디지털 홀로그램 센서 시스템
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청구항 1에 있어서,상기 CCD 카메라의 목표 배율이 m이고, 상기 접사렌즈의 초점거리가 F일 경우, 상기 복합렌즈의 초점거리 f는 아래의 수학식으로 결정되는 플라즈마 입자 촬영을 위한 디지털 홀로그램 센서 시스템:f=F-4×n여기서, n=lnM +1이고, M=[(m-1)/2]×10이다
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청구항 2에 있어서,상기 볼록렌즈의 초점거리 f''는 아래의 수학식으로 결정되고, f''=100×(1/2)n-1=100×(1/2)(F-f-4)/4 상기 복합렌즈는,상기 f''의 값을 만족하는 볼록렌즈를 상기 접사렌즈의 전방에 결합하여 구성되는 플라즈마 입자 촬영을 위한 디지털 홀로그램 센서 시스템
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청구항 1에 있어서,상기 CCD카메라와 상기 접사렌즈 사이에 배치되어 상기 복합렌즈의 최단 초점거리를 감소시키는 접사링(Cluse-up ring) 또는 텔리컨버터(Teleconverter)를 더 포함하는 플라즈마 입자 촬영을 위한 디지털 홀로그램 센서 시스템
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청구항 1에 있어서,상기 CCD 카메라에 획득된 상기 플라즈마 입자들의 3차원 공간분포로부터 상기 플라즈마 입자들의 위치 또는 크기의 변이를 분석하여, 플라즈마 상태의 정상 여부를 판단하는 감시진단부를 더 포함하는 플라즈마 입자 촬영을 위한 디지털 홀로그램 센서 시스템
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청구항 5에 있어서,상기 감시진단부는,상기 플라즈마 입자의 현재 위치정보가 최초의 기준 위치정보로부터 일정 임계범위를 벗어난 경우, 상기 플라즈마의 이상 상태로 판단하는 플라즈마 입자 촬영을 위한 디지털 홀로그램 센서 시스템
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청구항 5 또는 청구항 6에 있어서,상기 감시진단부는,상기 플라즈마 입자의 이동량이 상기 플라즈마 입자들의 평균이동량으로부터 일정 임계범위를 벗어난 경우, 상기 플라즈마의 이상 상태로 판단하는 플라즈마 입자 촬영을 위한 디지털 홀로그램 센서 시스템
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8
청구항 5에 있어서,상기 감시진단부는,상기 플라즈마 입자들의 현재 입자수가 최초 입자수로부터 일정 임계범위를 벗어난 경우, 상기 플라즈마의 이상 상태로 판단하는 플라즈마 입자 촬영을 위한 디지털 홀로그램 센서 시스템
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청구항 5 또는 청구항 8에 있어서,상기 감시진단부는,상기 플라즈마 입자들의 시간에 따른 입자수 변화량이 기준 변화량으로부터 일정 임계범위를 벗어난 경우, 상기 플라즈마의 이상 상태로 판단하는 플라즈마 입자 촬영을 위한 디지털 홀로그램 센서 시스템
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청구항 5에 있어서,상기 감시진단부에 따른 정상 여부의 판단 결과를 알리는 알람부를 더 포함하는 플라즈마 입자 촬영을 위한 디지털 홀로그램 센서 시스템
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청구항 1에 있어서,상기 플라즈마 챔버를 구성하는 창의 재질은,반사방지막이 코팅되어 있는 플라즈마 입자 촬영을 위한 디지털 홀로그램 센서 시스템
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