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반도체 장치의 각 부품에 대한 센서정보를 실시간으로 수집하는 센서정보 수집부;상기 수집된 센서 정보로부터 각 부품에 대한 감시 모델을 형성하여 예측 센서정보를 수집하고, 수집된 예측 센서정보의 고장믿음치를 출력하는 부품신호 감시부; 및 상기 부품신호 감시부로부터 얻어진 고장 믿음치를 바탕으로 고장여부를 판단하는 고장판단부를 포함하고,상기 부품신호 감시부는 예측 센서정보와 평균치 간의 차이의 절대값에 의해 부품센서 정보를 누적하고, 누적된 부품 센서정보를 고장믿음 함수에 적용하는 제2 고장믿음 발생기를 포함하는 반도체 장치의 고장 진단시스템
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청구항 1에 있어서,상기 감시 모델은 자기 부품의 센서정보를 입력 데이터로 하여 자기 부품의 예측 센서정보를 출력하는 자기상관 모델이고, 상기 자기상관 모델은 부품의 개수와 동일하게 형성되는 반도체 장치의 고장 진단시스템
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청구항 1에 있어서,상기 감시 모델은 자기 부품의 센서정보 이외의 신호를 입력 데이터로 하여 자기 부품의 예측 센서정보를 출력하는 교차상관 모델인 반도체 장치의 고장 진단시스템
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청구항 1에 있어서,상기 감시 모델은 자기 부품의 센서정보와 자기 부품 이외의 센서정보를 입력 데이터로 하여 자기 부품의 예측 센서정보를 출력하는 자기-교차상관 모델인 반도체 장치의 고장 진단시스템
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청구항 1에 있어서,상기 감시 모델은 각 부품에 대한 통계적 모델 또는 통계적 시계열 모델인 반도체 장치의 고장 진단시스템
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청구항 1에 있어서,상기 부품신호 감시부는 CUSUM 제어차트에 의해 부품 센서정보를 누적하고, 누적된 부품 센서정보를 고장믿음 함수에 적용하는 제1 고장믿음 발생기를 더 포함하는 반도체 장치의 고장 진단시스템
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반도체 장치의 각 부품에 대한 센서정보를 실시간으로 수집하는 단계;감시 모델을 형성하여 예측 센서정보를 수집하는 단계; 상기 예측 센서정보로부터 고장 믿음치를 출력하는 단계; 및 상기 출력된 고장 믿음치를 임계값과 비교하여 부품의 고장여부를 판단하는 단계를 포함하고,상기 고장 믿음치는 예측 센서정보와 평균치 간의 차이의 절대값에 의해 부품센서 정보를 누적하고, 누적된 부품 센서정보를 고장믿음 함수에 적용하여 출력하는 반도체 장치의 고장 진단방법
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청구항 7에 있어서,상기 감시 모델은 자기 부품의 센서정보를 입력데이터로 하여 자기 부품의 예측 센서정보를 출력하거나 자기 부품의 센서정보 이외의 신호를 입력 데이터로 하여 자기 부품의 예측 센서정보를 출력하거나 자기 부품의 센서정보와 자기 부품 이외의 신호를 입력 데이터로 하여 자기 부품의 예측 센서정보를 출력하는 반도체 장치의 고장 진단방법
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청구항 7에 있어서,상기 고장 믿음치는 예측 센서정보를 CUSUM 제어차트에 적용하여 누적한 후 고장믿음 함수에 적용하여 구해지는 단계를 더 포함하는 반도체 장치의 고장 진단방법
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청구항 7에 있어서,상기 반도체 장치의 각 부품에 대한 센서정보의 수집이 완료되면 임의의 시점에서의 전체 부품에 대한 센서 정보를 감시 모델을 사용하여 RMSE를 구하고, 구해진 RMSE로부터 고장을 판단하는 반도체 장치의 고장 진단방법
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