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인쇄회로기판에 형성된 패턴에 접촉 가능한 둘 이상의 검사핀;초전도체로 제작되는 신호선을 통해 상기 각각의 검사핀과 연결되는 테스터;상기 신호선을 냉각시키는 냉각수단;상기 신호선이 지나는 구간을 둘러싸도록 장착되어 상기 신호선을 외부와 격리시키는 챔버;를 포함하고,상기 냉각수단은 상기 챔버의 내부를 냉각시키도록 구성되는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 검사장치
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제2항에 있어서,상기 냉각수단은, 액화질소를 저장하는 액화질소탱크와, 상기 액화질소탱크 내의 액화질소를 상기 챔버 내측으로 전달하는 연결호스를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 검사장치
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제2항에 있어서,상기 검사핀을 지지하는 프레임을 더 포함하고,상기 챔버는, 상기 신호선이 지나는 구간 중 상기 프레임 내측의 공간을 둘러싸는 제1 챔버와, 상기 신호선이 지나는 구간 중 상기 프레임과 상기 테스터 사이의 공간을 둘러싸는 제2 챔버를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 검사장치
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제2항에 있어서,상기 챔버는, 단열층을 구비하는 단열챔버인 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 검사장치
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인쇄회로기판에 형성된 패턴에 접촉 가능한 둘 이상의 검사핀;초전도체로 제작되는 신호선을 통해 상기 각각의 검사핀과 연결되는 테스터;상기 신호선을 냉각시키는 냉각수단;을 포함하며,상기 검사핀과 신호선은 별도의 체결소켓에 의해 착탈 가능한 구조로 결합되는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 검사장치
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인쇄회로기판에 형성된 패턴에 접촉 가능한 둘 이상의 검사핀;초전도체로 제작되는 신호선을 통해 상기 각각의 검사핀과 연결되는 테스터;상기 신호선을 냉각시키는 냉각수단;을 포함하며,상기 둘 이상의 검사핀은 서로 다른 두 개의 패턴단자에 접촉되고,상기 테스터는 서로 다른 두 개의 검사핀과 각각 연결된 두 개의 신호선에 병렬로 연결되는 전류공급원 및 전압계를 구비하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 검사장치
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