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측정 대상물 상에 위치되며, 상기 측정 대상물의 일부 표면을 노출시키는 제1개구부를 갖는 절연성 재질의 스페이서 플레이트;상기 스페이서 플레이트 상에 위치되고, 상기 제1개구부에 대응하는 제2개구부를 갖는 출력전극 플레이트;상기 출력전극 플레이트 상에 위치하며, 적어도 상기 제2개구부를 덮는 접촉전극 플레이트; 및상기 접촉전극 플레이트 상에 위치하는 플렉시블 플레이트를 포함하는 표면 저항 측정기
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제 1 항에 있어서,상기 플렉시블 플레이트 상에 위치하는 압력팁을 더 포함하는 표면 저항 측정기
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제 2 항에 있어서,상기 압력팁은 상기 플렉시블 플레이트에 대해 상하로 이동하도록 구비되며,상기 압력팁의 하강 시 상기 압력팁의 끝단은 상기 플렉시블 플레이트의 특정 지점을 누르고, 상기 플렉시블 플레이트의 특정 지점에 대응하는 상기 접촉전극 플레이트의 특정 지점은 상기 측정 대상물의 일 표면 상의 특정 지점에 접촉하는 표면 저항 측정기
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제 2 항에 있어서,상기 측정 대상물을 지지하는 베이스;상기 압력팁을 포함하는 압력 파트; 및상기 압력 파트와 연결되며 상기 압력 파트를 이동시키는 이동 수단을 더 포함하는 표면 저항 측정기
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제 4 항에 있어서,상기 이송 수단:은동력을 발생시키는 모터;상기 모터의 회전축에 연결된 동력전달 축;상기 동력전달 축에 연결되며, 상기 동력전달 축과 상호작용하여 상기 동력전달 축의 회전 운동을 직선운동으로 변환시키는 운동변환부;상기 운동변환부와 연결되며, 상기 압력 파트와 체결되는 슬라이드;상기 슬라이드의 하부에 위치하며, 상기 슬라이드의 직선운동을 가이드하는 가이드 레일; 및상기 동력전달 축을 지지하며, 상기 가이드 레일을 고정하는 지지대를 포함하는 표면 저항 측정기
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제 1 항에 있어서,상기 출력전극 플레이트는 그 표면의 일부가 노출되도록 상기 측정 대상물에 의해 형성된 표면으로부터 측면 또는 신장된 면을 향해 돌출된 표면 저항 측정기
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제 1 항에 있어서,상기 스페이서 플레이트는 상기 측정 대상물에 의해 형성된 표면으로부터 측면 또는 신장된 면을 향해 돌출되어 구비되며, 상기 스페이서 플레이트의 하부에는 더미 플레이트를 더 포함하는 표면 저항 측정기
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제 1 항에 있어서,상기 접촉전극 플레이트는 상기 측정 대상물의 일 표면과 대향하는 표면 상에 적어도 하나의 전극 패턴을 구비하는 표면 저항 측정기
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제 8 항에 있어서,상기 전극 패턴은 라인 패턴이며, 상기 접촉전극 플레이트의 표면 상에 일정 간격으로 반복하여 구비되어 있는 표면 저항 측정기
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10
제 1 항에 있어서,상기 출력전극 플레이트는 도전성 물질을 포함하는 표면 저항 측정기
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제 1 항에 있어서,상기 측정 대상물의 일 표면 상의 양측 끝단에는 제1단자 및 제2단자를 더 포함하는 표면 저항 측정기
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도전성 물질을 포함하는 접촉 플레이트;상기 접촉 플레이트의 일 표면 상에 위치하되, 서로 이격되어 위치하며, 상기 접촉 플레이트의 일부는 노출되도록 구비된 스페이서 플레이트들; 및상기 각각의 스페이서 플레이트들의 상부에 위치하며, 그 상부에 측정 대상물이 위치되는 전극 플레이트들을 포함하는 표면 저항 측정기
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제 12 항에 있어서, 상기 스페이서 플레이트들은 제1스페이서 플레이트와 상기 제1스페이서 플레이트에 대향하는 제2스페이서 플레이트를 포함하며,상기 전극 플레이트들은 상기 제1스페이서 플레이트 상에 위치한 제1전극 플레이트와 상기 제2스페이서 플레이트 상에 위치한 제2전극 플레이트를 포함하며,상기 제1스페이서 플레이트와 제1전극 플레이트 사이에 구비된 제1연결 플레이트 및 상기 제2스페이서 플레이트와 제2전극 플레이트 사이에 구비된 제2연결 플레이트를 더 포함하는 표면 저항 측정기
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제 12 항에 있어서,상기 측정 대상물은 플렉시블 기판 및 상기 플렉시블 기판 상에 형성된 도전성 박막을 포함하며, 상기 측정 대상물은 상기 도전성 박막이 상기 접촉 플레이트에 대향하도록 위치하는 표면 저항 측정기
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