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플라즈마 아크(Plasma Arc)를 발생시켜 분말을 제조하는 조업챔버와,상기 조업챔버에서 제조된 분말을 포집하는 포집챔버와,상기 포집챔버에서 포집된 분말을 저장하는 후처리챔버와,상기 조업챔버에 연속적으로 가스를 주입하는 가스순환부를 포함하여 구성되며,상기 조업챔버에는, 음극(-)인 텅스텐 전극봉과 양극(+)인 금속 원료봉과 상기 금속 원료봉을 지지하는 구리 전극판으로 구성된 아크발생부와,상기 아크발생부로 Ar 및 H2가스를 주입하는 제 1 가스주입부와,상기 조업챔버내의 상기 Ar 및 H2의 대류를 위해 또 다른 Ar 및 H2가스를 주입하는 제 2 가스주입부와,상기 아크발생부로 상기 금속 원료봉을 연속적으로 공급하기 위한 원료봉공급부가 형성됨을 특징으로 하는 나노분말 합성용 플라즈마 아크(Plasma Arc) 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 포집챔버에는, 분말이 응착되도록 회전하는 포집판과, 상기 포집판에 응착된 분말을 분리하는 스크래퍼(Scrapper)와, 상기 조업챔버에 공급되는 가스의 충진을 위한 가스주입구와, 상기 포집판에 응착되지 않은 분말을 포집하기 위한 포집챔버글로브(Glove)가 형성됨을 특징으로 하는 나노분말 합성용 플라즈마 아크(Plasma Arc) 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 후처리챔버에는 상기 포집챔버에서 포집된 분말을 저장하는 분말저장용기와, 상기 분말저장용기를 불활성기체 분위기 상태에서 분리하기 위한 후처리챔버글로버(Glove)가 구비됨을 특징으로 하는 나노분말 합성용 플라즈마 아크(Plasma Arc) 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 조업챔버에는,상기 아크발생부의 플라즈마에 의해 챔버가 가열되지 않도록 냉각하는 조업챔버냉각수공급관과, 상기 아크발생부의 음극(-)의 조절과 아크(Arc) 발생을 관찰하기 위한 뷰파인더(View finder)창과, 상기 아크발생부의 음극(-) 조절을 위한 조정레버가 더 형성됨을 특징으로 하는 나노분말 합성용 플라즈마 아크(Plasma Arc) 장치
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제 1 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 포집챔버에는, 상기 조업챔버에서 가열된 가스의 이송에 의해 챔버가 가열되지 않도록 냉각하는 포집챔버냉각수공급관과, 상기 포집판의 분말포집상태를 관찰하기 위한 뷰파인더(View finder)창이 더 형성됨을 특징으로 하는 나노분말 합성용 플라즈마 아크(Plasma Arc) 장치
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제 1 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 포집챔버에는, 상기 조업챔버에서 가열된 가스의 이송에 의해 챔버가 가열되지 않도록 냉각하는 포집챔버냉각수공급관과, 상기 포집판의 분말포집상태를 관찰하기 위한 뷰파인더(View finder)창이 더 형성됨을 특징으로 하는 나노분말 합성용 플라즈마 아크(Plasma Arc) 장치
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