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전기화학적 식각방법으로 제조된 다공성 실리콘의 표면을 열적 산화하고 그 표면에 아민 유도체를 유도한 후, 상기 아민 유도체 말단에 바이오물질을 인식할 수 있는 감지인식체를 고착시킨 다공성 실리콘에,
광을 조사하고, 상기 조사된 광의 광학적 반사를 이용하여 면역단백질을 탐지하는 것을 특징으로 하는 면역단백질 탐지용 바이오센서
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제1항에 있어서, 상기 다공성 실리콘이 정전류를 이용하여 전기화학적으로 비대칭 식각되어 제조된 단층 다공성 실리콘인 것을 특징으로 하는 상기 바이오센서
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제1항에 있어서, 상기 다공성 실리콘이 사인(sine)파 전류를 이용하여 전기화학적으로 식각되어 제조된 다층 다공성 실리콘인 것을 특징으로 하는 상기 바이오센서
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제3항에 있어서, 상기 다공성 실리콘이 중심전류 값을 150∼250 ㎃/㎠로 하고, 1∼200 초 주기로 하는 사인파 전류를 이용하여 전기화학적으로 식각되어, 400∼2000nm에서 단일 반사 피크(Rugate Single Peak)를 가지는 것을 특징으로 하는 상기 바이오센서
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제3항에 있어서, 상기 다공성 실리콘이 중심전류 값을 120∼200 ㎃/㎠로 하고, 2 내지 30개의 사인파형의 혼합된 전류를 이용하여 전기화학적으로 식각되어, 400∼2000nm에서 2 내지 30개의 다중 반사 피크(Rugate Multiple Peak)를 가지는 것을 특징으로 하는 상기 바이오센서
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제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 다공성 실리콘이 2∼50㎚ 크기의 메조포러스 기공을 가지는 것을 특징으로 하는 상기 바이오센서
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제1항에 있어서, 상기 감지인식체가 바이오틴, 그의 유도체 또는 바이오틴으로 유도화된 프로테인 A에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 상기 바이오센서
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8
제1항에 있어서, 상기 면역단백질이 아비딘, 스트렙토아비딘, 항체 IgG 및 프로테인-A로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 상기 바이오센서
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단계 1) 전기화학적 식각방법으로 다공성 실리콘을 제조하고,
단계 2) 상기 다공성 실리콘을 300∼1200℃ 온도조건에서 1∼60분 동안 수행하여 상기 다공성 실리콘의 표면을 열적 산화하고,
단계 3) 상기 산화된 다공성 실리콘 표면에 아민 유도체를 유도 반응한 후, 상기 아민 유도체의 말단에 바이오물질을 인식할 수 있는 감지인식체를 고착시켜 다공성 실리콘을 제조하고,
단계 4) 상기 다공성 실리콘에 광을 조사하고, 상기 조사된 광의 광학적 반사를 이용한 것을 특징으로 하는 면역단백질 탐지용 바이오센서의 제조방법
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제9항에 있어서, 상기 단계 1)의 다공성 실리콘이 2∼50㎚ 크기를 갖는 메조포러스의 다공성 실리콘으로 제조된 것을 특징으로 하는 상기 바이오센서의 제조방법
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제9항에 있어서, 상기 단계 1)의 다공성 실리콘이 정전류를 이용하여 전기화학적으로 비대칭 식각되어 단층 다공성 실리콘으로 제조된 것을 특징으로 하는 상기 바이오센서의 제조방법
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제9항에 있어서, 상기 단계 1)의 다공성 실리콘이 사인(sine)파 전류를 이용하여 전기화학적으로 식각되어 다층 다공성 실리콘으로 제조된 것을 특징으로 하는 상기 바이오센서의 제조방법
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제12항에 있어서, 상기 단계 1)의 다공성 실리콘이 중심전류 값을 150∼250 ㎃/㎠로 하고, 1∼200 초 주기로 하는 사인파 전류를 이용하여 전기화학적으로 식각되어, 400∼2000nm에서 단일 반사 피크(Rugate Single Peak)를 가지는 다공성 실리콘으로 제조된 것을 특징으로 하는 상기 바이오센서의 제조방법
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제12항에 있어서, 상기 단계 1)의 다공성 실리콘이 중심전류 값을 120∼200 ㎃/㎠로 하고, 2 내지 30개의 사인파형의 혼합된 전류를 이용하여 전기화학적으로 식각되어, 400∼2000nm에서 2 내지 30개의 다중 반사 피크(Rugate Multiple Peak)를 가지는 다공성 실리콘으로 제조된 것을 특징으로 하는 상기 바이오센서의 제조방법
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제9항에 있어서, 상기 단계 2)에서 열적 산화된 다공성 실리콘의 표면이 Si-OH형으로 산화된 것을 특징으로 하는 상기 바이오센서의 제조방법
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제9항에 있어서, 상기 감지인식체가 바이오틴, 그의 유도체 또는 바이오틴으로 유도화된 프로테인 A에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 상기 바이오센서의 제조방법
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제9항에 있어서, 상기 면역단백질이 아비딘, 스트렙토아비딘, 항체 IgG 및 프로테인-A로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 상기 바이오센서의 제조방법
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제9항에 있어서, 상기 광원이 텅스텐-할로겐램프, LED(Light Emitting Diode) 또는 레이저에서 선택되는 것을 특징으로 하는 상기 바이오센서의 제조방법
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