| 1 |
1
피측정물을 향해 편광된 레이저 광을 발생하는 레이저 광원부, 피측정물에 부착되어 레이저 광이 일부 반사하는 입사표면을 가지는 파장판, 파장판을 일부 통과함으로써 그 편광면이 회전한 반사광이 전반사하는 내부 직각 반사면을 가지는 코너큐브프리즘을 포함하는 반사부, 이 반사부의 파장판의 입사 표면과 코너큐브프리즘의 내부 직각 반사면에서 반사된 광을 수광하여 전기신호로 검출하는 신호검출수단이 구비된 것을 특징으로 하는 코너큐브프리즘과 파장판을 이용한 레이저 동심도 및 직각도 동시측정장치
|
| 2 |
2
청구항 1에 있어서, 상기 반사부가 피측정물의 구멍에 삽입되고 상기 파장판과 코너큐브프리즘을 수납하여 파장판의 입사 표면이 광축에 수직하고 동시에 코너큐브프리즘의 내부 직각 반사면의 코너 꼭짓점을 그 구멍 중심에 일치시키는 상태로 지지하는 프리즘 홀더를 포함하는 것을 특징으로 하는 코너큐브프리즘과 파장판을 이용한 레이저 동심도 및 직각도 동시측정장치
|
| 3 |
3
청구항 1에 있어서, 상기 신호검출수단으로서, 상기 레이저 광원부의 광축상의 입사광 경로로부터 상기 반사부로부터의 반사광 경로를 분리하는 제1광분할기, 이 제1광분할기에서 분리된 반사광 경로를 2개의 광로로 분할하는 제2광분할기, 이 제2광분할기에서 분할된 2개의 분할반사광 경로 상에 배치되어 각 분할반사광의 편광면의 회전여부를 선택적으로 차폐 또는 투과시키는 제1검광자와 제2검광자, 각각의 검광자를 투과한 반사광을 각각 2개의 광로로 분할하는 제3광분할기와 제4광분할기, 제3광분할기 또는 제4광분할기에서 분할된 2개의 분할반사광 경로 상에 배치되어 수직 성분과 수평 성분중 한쪽을 집속하고 다른 쪽을 그대로 투과시키는 4개의 실린더형 렌즈, 그리고 각 실린더형 렌즈를 경유한 분할반사광을 수광하여 그 위치와 광량에 대응한 전기신호를 검출하는 4개의 라인형 스캔센서가 구비된 것을 특징으로 하는 코너큐브프리즘과 파장판을 이용한 레이저 동심도 및 직각도 동시측정장치
|
| 4 |
4
청구항 1에 있어서, 상기 신호검출수단으로서, 상기 레이저 광원부의 광축상의 입사광 경로로부터 상기 반사부로부터의 반사광 경로를 분리하는 제1광분할기, 이 제1광분할기에서 분리된 반사광을 2개의 광로로 분할하는 제2광분할기, 제2광분할기를 투과한 반사광 경로 상에 배치되어 각 분할반사광의 편광면의 회전여부에 따라 선택적으로 차폐 또는 투과시키는 제1검광자와 제2검광자, 각각의 검광자를 투과한 반사광을 수광하여 그 위치와 광량에 대응한 전기신호를 검출하는 2개의 면적형 스캔센서가 구비된 것을 특징으로 하는 코너큐브프리즘과 파장판을 이용한 레이저 동심도 및 직각도 동시측정장치
|
| 5 |
5
청구항 1 내지 4 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 검출된 전기신호에 근거하여 입사광의 광축에 대한 반사광 광축의 동심도와 직각도를 계산하고 계산된 동심도와 직각도에 따라 그들의 광축을 일치시키는 제어 동작을 수행하는 연산제어부가 포함된 것을 특징으로 하는 코너큐브프리즘과 파장판을 이용한 레이저 동심도 및 직각도 동시측정장치
|
