| 요약 |
본 발명은 자동차 매연과 같은 나노입자 제거용 필터 등에 사용되는 다공성 재료의 제조방법에 관한 것으로서, 다공성 모재(Preform)를 가열하고, 상기 다공성 모재에 희석기체와 탄소함유 기체를 흘려주면서 상기 다공성 모재의 내부 기공 표면에 열분해된 탄소 중간층을 형성한 후, 상기 희석기체와 운반기체의 유량을 조절하여 상기 탄소 중간층 위에 β-탄화규소 휘스커를 증착하는 공정을 포함하는 다공성 재료의 제조방법에 있어서, 상기 휘스커가 형성된 다공성 재료를 습식 에칭하여 다공성 재료 표면의 과다증착물을 제거하는 것을 특징으로 한다.본 발명에 따르면, 비표면적을 늘려 필터의 포집효율을 증가시키기 위하여 휘스커를 성장시켜 기공의 구조를 변화시킨 경우에, 오히려 표면의 과다증착물에 의한 개기공 감소로 투과율이 저하되는 것을 습식 화학에칭이라는 간단한 공정으로 최소화할 수 있다는 효과가 있다. 이 때문에, 나노분진을 포집할 수 있으면서도, 그 투과율의 저하가 크지 않으므로, 필터효율 측면에서 큰 장점을 갖는다.나노입자, 다공성 모재, 탄화규소 휘스커, 습식 에칭, 과다증착물
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