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이중 반사 방지막을 갖는 태양 전지 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2014041191
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 이중 반사 방지막을 포함하는 태양 전지 및 그 제조 방법이 제공된다. 이중 반사 방지막을 포함하는 태양 전지 형성 방법은, 실리콘 기판 상에 에미터(emitter) 층을 형성하는 단계, 상기 형성된 에미터 층 상에 니켈(Ni)/구리(Cu)/은(Ag)을 포함하는 전면 전극을 형성하는 단계, 상기 에미터 층 상의 상기 전면 전극이 형성되지 않은 부분에 황화아연(ZnS) 층 및 불화마그네슘(MgF2) 층을 갖는 반사 방지막을 증착하는 단계, 및 상기 전면 전극 및 상기 이중의 반사 방지막을 함께 열처리하는 단계를 포함한다.
Int. CL H01L 31/04 (2014.01)
CPC H01L 31/02168(2013.01) H01L 31/02168(2013.01) H01L 31/02168(2013.01)
출원번호/일자 1020100089360 (2010.09.13)
출원인 세종대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1151413-0000 (2012.05.23)
공개번호/일자 10-2012-0027652 (2012.03.22) 문서열기
공고번호/일자 (20120601) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.09.13)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 세종대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 광진구 능동로 *** (군

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이수홍 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 김민정 대한민국 인천광역시 서구
3 이재두 대한민국 충청북도 충주시 봉현로 **

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인엠에이피에스 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 **, *층 (역삼동, 한동빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 세종대학교산학협력단 서울특별시 광진구 능동로 *** (군
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.09.13 수리 (Accepted) 1-1-2010-0592604-78
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2011.02.08 수리 (Accepted) 1-1-2011-0090046-05
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.13 수리 (Accepted) 4-1-2011-5073277-77
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.06.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.07.15 수리 (Accepted) 9-1-2011-0061413-32
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.10.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0620299-17
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.12.26 수리 (Accepted) 1-1-2011-1032421-09
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.12.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-1032423-90
9 등록결정서
Decision to grant
2012.05.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0277306-37
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번호 청구항
1 1
이중 반사 방지막을 포함하는 태양 전지 형성 방법에 있어서,실리콘 기판 상에 에미터(emitter) 층을 형성하는 단계,상기 형성된 에미터 층 상에 전면 전극을 형성하는 단계,상기 에미터 층 상의 상기 전면 전극이 형성되지 않은 부분에 이중의 반사 방지막을 증착하는 단계, 및상기 전면 전극 및 상기 이중의 반사 방지막을 함께 열처리하는 단계를 포함하되, 상기 전면 전극은 니켈 도금막, 구리 도금막, 및 은 도금막을 포함하고,상기 이중의 반사 반지막은 불화마그네슘(MgF2) 층 및 황화아연(ZnS) 층을 포함하는 반사 방지막, 불화마그네슘(MgF2) 층 및 이산화타이타늄(TiO2) 층을 포함하는 반사 방지막, 이산화규소(SiO2) 층 및 질화규소(SiN) 층을 포함하는 반사 방지막, 불화마그네슘(MgF2) 층 및 산화세륨(CeO2) 층을 포함하는 반사 방지막 중 어느 하나인 태양 전지 형성 방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 전면 전극을 형성하는 단계는,상기 에미터 층 상에 니켈 도금막을 형성하는 단계,상기 형성된 니켈 도금막 상에 구리 도금막을 형성하는 단계, 및상기 형성된 구리 도금막 상에 은 도금막을 형성하는 단계를 추가 포함하며,상기 열처리 단계는, 상기 니켈 도금막, 상기 구리 도금막, 상기 은 도금막 및 상기 이중 반사 방지막을 함께 열처리하는 것인, 태양 전지 형성 방법
3 3
제 2 항에 있어서,상기 니켈 도금막을 형성하는 단계는, 상기 니켈 도금막을 무전해 도금법(electroless plating)을 이용하여 형성하며,상기 구리 도금막을 형성하는 단계는, 전해 도금법(electro plating)과 LIP(light-induced plating)법을 함께 이용하여 상기 구리 도금막을 형성하며,상기 은 도금막을 형성하는 단계는, LIP(light-induced plating)법을 이용하여 상기 은 도금막을 형성하는 것인, 태양 전지 형성 방법
4 4
제 2 항에 있어서,상기 이중의 반사 방지막을 증착하는 단계는,황화아연(ZnS) 및 불화마그네슘(MgF2)을 진공 증착 방법으로 연속적으로 증착하는 것인, 태양 전지 형성 방법
5 5
제 4 항에 있어서,상기 열처리 하는 단계는, 어닐링 로(Annealing furnace)를 이용하여, 370 ~ 390 ℃의 온도에서 25 ~ 35분 동안 0
6 6
제 4 항에 있어서,상기 에미터 층을 형성하는 단계는, 상기 형성된 에미터 층 상에 산화막 층을 형성하는 단계를 추가 포함하며,상기 산화막은 250Å의 두께로 형성되고, 상기 황화아연(ZnS) 층은 560Å의 두께로 증착되며, 상기 불화마그네슘(MgF2) 층은 1060Å의 두께로 증착되는 것인, 태양 전지 형성 방법
7 7
이중 반사 방지막을 갖는 태양 전지에 있어서,실리콘 기판,상기 실리콘 기판 상에 형성된 에미터 층,상기 에미터 층 상의 일부에 형성된 전면 전극, 및상기 에미터 층 상의 상기 전면 전극이 형성되지 않은 부분에 형성된 이중의 반사 방지막을 포함하되,상기 전면 전극은 니켈 도금막, 구리 도금막, 및 은 도금막을 포함하고,상기 이중의 반사 방지막은 불화마그네슘(MgF2) 층 및 황화아연(ZnS) 층을 포함하는 반사 방지막, 불화마그네슘(MgF2) 층 및 이산화타이타늄(TiO2) 층을 포함하는 반사 방지막, 이산화규소(SiO2) 층 및 질화규소(SiN) 층을 포함하는 반사 방지막, 불화마그네슘(MgF2) 층 및 산화세륨(CeO2) 층을 포함하는 반사 방지막 중 어느 하나인 것을 포함하며,상기 전면 전극 및 상기 이중의 반사 방지막은 하나의 공정에 의해 열처리된 것인, 이중 반사 방지막을 갖는 태양 전지
8 8
제 7 항에 있어서,상기 전면 전극은 니켈 도금막, 구리 도금막 및 은 도금막을 포함하며, 상기 니켈 도금막, 상기 구리 도금막, 상기 은 도금막 및 상기 이중 반사 방지막은 함께 열처리된 것인, 이중 반사 방지막을 갖는 태양 전지
9 9
제 8 항에 있어서,상기 이중의 반사 방지막은, 황화아연(ZnS) 및 불화마그네슘(MgF2)이 진공 증착 방법에 의해 연속적으로 증착된 것인, 이중 반사 방지막을 갖는 태양 전지
10 10
제 9 항에 있어서,상기 전면 전극 및 상기 이중의 반사 방지막은, 어닐링 로(Annealing furnace)를 이용하여 370 ~ 390 ℃의 온도에서 25 ~ 35분 동안 0
11 11
제 9 항에 있어서,상기 에미터 층과 상기 이중 반사 방지막 사이에 형성된 산화막을 더 포함하며,상기 산화막은 250Å의 두께로 형성되고, 상기 황화아연(ZnS) 층은 560Å의 두께로 형성되며, 불화마그네슘(MgF2) 층은 1060Å의 두께로 형성된 것인, 이중 반사 방지막을 갖는 태양 전지
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패밀리정보가 없습니다
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