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고온다습한 캐리어가스에 의하여 운반되는 분체를 효과적으로 포집하기 위하여 캐리어가스내의 수분을 제거하는 장치에 있어서, 분체제조장치에 연결되어 있으며 분체제조장치를 통하여 나온 고온다습한 캐리어가스와 캐리어가스에 의하여 운반되는 분체를 흡입하는 역할을 하는 흡입관 또는 흡입구, 흡입관 또는 흡입구에 연결되고 캐리어가스에 포함된 수분을 응축시켜 제거하는 2 이상의 수증기응축기, 및 상기 2 이상의 수증기응축기 중 캐리어가스의 이동방향으로 보아 최후단의 수증기응축기에 연결되어 수증기응축기에서 배출되는 분체와 캐리어가스를 백필터로 운반하기 위한 통로를 제공하는 배출관으로 이루어지는 장치로서, 상기 2 이상의 수증기응축기는 각각 내벽의 하부가 사이클론 형상을 가지고 있으며 분체와 캐리어가스가 이동하는 관로를 통하여 서로 직렬로 연결되고, 상기 각각의 수증기응축기는 통과되는 캐리어 가스중의 수분을 응축시키기 위한 수냉재킷, 수냉재킷에 의하여 응축된 응축수가 포집될 수 있는 수분포집기 또는 수분배출구, 및 사이클론 형상 벽면상에 설치되는 가스 공급구를 포함하는 것을 특징으로 하는 고온 다습한 캐리어 가스에 의하여 운반되는 미세분체로부터 수분을 제거하는 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 수증기응축기 중 캐리어가스의 이동방향에서 볼때 최전방의 수증기응축기는 분체제조장치의 말단부와 관로로 연결되어 분체제조장치에서 배출되는 분체를 배출즉시 회수하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 고온 다습한 캐리어 가스에 의하여 운반되는 미세분체로부터 수분을 제거하는 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 수증기응축기를 2개 또는 3개 포함하는 것을 특징으로 하는 고온 다습한 캐리어 가스에 의하여 운반되는 미세분체로부터 수분을 제거하는 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 수분배출구는 후속되는 관로로 밀폐연결되어 있는 것을 특징으로 하는 고온 다습한 캐리어 가스에 의하여 운반되는 미세분체로부터 수분을 제거하는 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 수분제거장치가 연결된 분체제조장치는 캐리어 가스의 도입구 이외에는 다른 가스의 출입이 없도록 밀폐시키는 것을 특징으로 하는 고온 다습한 캐리어 가스에 의하여 운반되는 미세분체로부터 수분을 제거하는 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 수증기응축기에 설치된 상기 가스도입구는 가스공급기에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 고온 다습한 캐리어 가스에 의하여 운반되는 미세분체로부터 수분을 제거하는 장치
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제 2 항에 있어서, 상기 가스도입구는 미리 가스의 수분을 제거할 수 있는 수분제거장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 고온 다습한 캐리어 가스에 의하여 운반되는 미세분체로부터 수분을 제거하는 장치
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제 1 항에 기재된 장치를 이용하여 고온다습한 캐리어 가스에 의하여 운반되는 미세분체로부터 수분을 제거하는 방법으로서, 분체제조장치로부터 공급되는 분체를 흡입관을 통하여 수증기응축기내부로 흡인하는 제 1 단계, 복수개 설치된 수증기응축기내에서 분체와 함께 흡인된 캐리어 가스 중의 수분을 응축하는 제 2 단계, 수분이 일정량 제거된 분체를 수증기응축기에 후속되는 관로를 통하여 백필터로 공급하는 제 3 단계, 및 백 필터에 저장된 미세분체를 회수하는 제 4 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 고온다습한 캐리어 가스에 의하여 운반되는 미세분체로부터 수분을 제거하는 방법
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제 8 항에 있어서, 상기 복수개 설치된 수증기응축기내에서 응축된 수분은 수분포집기에 저장되거나 수분배출구를 통하여 외부로 배출되도록 하는 것을 특징으로 하는 고온다습한 캐리어 가스에 의하여 운반되는 미세분체로부터 수분을 제거하는 방법
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제 8 항에 있어서, 상기 수분의 응축시에 상기 수분배출구 상부 사이클론 형상의 벽면상에 설치된 가스도입구를 통하여 상온의 건조한 가스를 공급하는 것을 특징으로 하는 고온다습한 캐리어 가스에 의하여 운반되는 미세분체로부터 수분을 제거하는 방법
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제 8 항에 있어서, 상기 분체제조장치로부터 공급되는 분체를 수분제거장치내부로 흡인할 때, 캐리어 가스의 공급구 외에는 가스가 출입하지 못하도록 분체제조장치를 밀폐시키는 것을 특징으로 하는 고온다습한 캐리어 가스에 의하여 운반되는 미세분체로부터 수분을 제거하는 방법
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제 8 항에 있어서, 상기 분체제조장치로부터 공급되는 분체를 수분제거장치내부로 흡인할 때, 캐리어 가스의 공급구 외에는 가스가 출입하지 못하도록 분체제조장치를 밀폐시키는 것을 특징으로 하는 고온다습한 캐리어 가스에 의하여 운반되는 미세분체로부터 수분을 제거하는 방법
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