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주사전자현미경의 전자통과막보호장치 및 그것을 구비한 주사전자현미경

  • 기술번호 : KST2014042059
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 주사전자현미경의 전자통과막 보호장치 및 그것이 구비한 주사전자현미경에 관한 것이다.본 발명 주사전자현미경의 전자통과막 보호장치는, 시료를 대기압 조건에 위치시켜 놓고 관찰할 수 있도록 전자통과막을 갖는 주사전자현미경의 전자빔출력부와 전자통과막 사이의 전자빔주사경로 상에 음전극이나 양전극을 인가하여 전자통과막 방향으로 향하던 전자가 음전극출력부나 양전극출력부 방향으로 향하여 주사방향이 변경되도록 한다.본 발명의 주사전자현미경의 전자통과막 보호장치는 주사되는 전자빔이 전자통과막으로 향하도록 할 수도 있고, 전자통과막으로 향하지 않도록 할 수도 있는 것이어서 전자빔이 출력되고 있더라도 시료를 관찰하고 있지 않다면 전자가 전자통과막을 통과하지 않도록 하여 전자통과막의 수명단축이 방지되도록 할 수 있는 특징이 있다.
Int. CL H01J 37/147 (2006.01) H01J 37/28 (2006.01)
CPC H01J 37/28(2013.01) H01J 37/28(2013.01) H01J 37/28(2013.01) H01J 37/28(2013.01) H01J 37/28(2013.01) H01J 37/28(2013.01) H01J 37/28(2013.01)
출원번호/일자 1020120093556 (2012.08.27)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1383557-0000 (2014.04.03)
공개번호/일자 10-2014-0027687 (2014.03.07) 문서열기
공고번호/일자 (20140409) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.08.27)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조양구 대한민국 대전광역시 유성구
2 배문섭 대한민국 대전광역시 유성구
3 이확주 대한민국 대전광역시 유성구
4 김주황 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.08.27 수리 (Accepted) 1-1-2012-0686418-88
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.08.22 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.10.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0078883-33
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.11.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0812107-43
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.01.23 수리 (Accepted) 1-1-2014-0069802-26
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.01.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0069790-66
8 등록결정서
Decision to grant
2014.03.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0209992-79
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
전자빔출력부(10), 진공압발생부(도시하지않음), 스캐닝부(30), 전자통과막(40)을 갖는 주사전자현미경의 전자통과막 보호장치에 있어서,시료를 관찰하지 않는 동안 상기 전자빔출력부(10)와 전자통과막(40) 사이의 전자빔주사경로(50) 상에서 상기 전자통과막(40) 방향으로 향하던 전자가 상기 전자통과막(40)으로 향하지 않도록시료를 관찰하지 않는 동안 상기 전자빔주사경로(50) 상에 음전극이나 양전극이 인가되어 상기 전자가 음전극이나 양전극 방향으로 이동되는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경의 전자통과막 보호장치
2 2
전자빔출력부(10), 진공압발생부(도시하지않음), 스캐닝부(30), 전자통과막(40)을 갖는 주사전자현미경의 전자통과막 보호장치에 있어서,시료를 관찰하지 않는 동안 상기 전자빔출력부(10)와 전자통과막(40) 사이의 전자빔주사경로(50) 상에서 상기 전자통과막(40) 방향으로 향하던 전자가 상기 전자통과막(40)으로 향하지 않도록시료를 관찰하지 않는 동안 상기 전자빔주사경로(50) 상에 구비된 전자석에 전원이 인가되어 상기 전자의 주사방향이 변경되어 상기 전자통과막(40)에 주사되지 않는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경의 전자통과막 보호장치
3 3
제 1항 또는 제 2항에 기재된 주사전자현미경의 전자통과막 보호장치를 구비한 주사전자현미경
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국표준과학연구원 국가연구개발사업 1Xnm/2Xnm급 반도체 공정개발과 양산수율향상을 위한 E-beam을 이용한 패턴 미세 오정렬(Overlay) 측정장치의 개발