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AFM용 10 nm 급 탄소나노튜브 탐침 제작 기술
- 기술번호 : KST2014042067
- 담당센터 : 대전기술혁신센터
- 전화번호 : 042-610-2279
| 요약 | 본 발명은 이온빔, 특히 집속된 이온빔(focused ion beam)을 이용하여 SPM(scanning probe microscope)의 나노니들 탐침(nanoneedle probe)을 제조하는 방법 및 그러한 방법에 의해 제조되는 나노니들 탐침에 관한 것으로서, 더 구체적으로는 SPM 탐침의 팁(tip)에 부착되는 나노니들의 지향 방향을 용이하게 조절할 수 있고 탐침의 팁에 부착되는 나노니들을 지향 방향으로 용이하게 펼(straightening) 수 있는 SPM 나노니들 탐침의 제조 방법 및 그러한 방법에 의해 제조되는 SPM 나노니들 탐침에 관한 것이다. 본 발명은 또한 이온빔, 특히 집속된 이온빔을 이용하여 나노 스케일 수준의 측정물의 측면의 형상을 정확히 측정할 수 있는 CD-SPM 나노니들 탐침(critical dimension SPM nanoneedle probe)의 제조 방법 및 그러한 방법에 의해 제조되는 CD-SPM 나노니들 탐침에 관한 것으로서, 더 구체적으로는 SPM 탐침의 팁에 부착되는 나노니들 선단부의 일정 부분을 SPM 탐침의 팀에 부착되어 뻗어 나온 나노니들의 원래 방향과는 다른 임의의 방향으로 특정 각도만큼 휨으로써 나노 스케일 수준의 측정물의 측면의 형상을 정확히 측정할 수 있는 CD-SPM 나노니들 탐침의 제조 방법 및 그러한 방법에 의해 제조되는 CD-SPM 나노니들 탐침에 관한 것이다.본 발명에 따른 SPM 나노니들 탐침의 제조 방법은 상기 나노니들이 부착되는 상기 탐침의 팁을 이온빔이 조사되는 방향으로 향하도록 위치시키는 단계와, 상기 나노니들이 부착된 상기 탐침의 팁 방향으로 이온빔을 조사하여 상기 탐침의 팁에 부착된 상기 나노니들을 상기 이온빔과 평행하게 정렬시키는 단계를 포함한다.또한, 본 발명에 따른 CD-SPM 나노니들 탐침의 제조 방법은 상기 탐침의 팁에 부착되는 상기 나노니들의 일정 부분을 마스크로 가리는 단계와, 상기 마스크 외부로 노출된 나노니들 부분에 이온빔을 조사하여 상기 마스크 외부로 노출된 나노니들 부분을 상기 조사된 이온빔의 방향으로 정렬시켜 휘도록 하는 단계를 포함한다. |
|---|---|
| Int. CL | G01Q 70/12 (2011.01) B82Y 35/00 (2011.01) B82B 3/00 (2011.01) |
| CPC | |
| 출원번호/일자 | 1020050036631 (2005.05.02) |
| 출원인 | 한국표준과학연구원 |
| 등록번호/일자 | 10-0679619-0000 (2007.01.31) |
| 공개번호/일자 | 10-2006-0045876 (2006.05.17) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20070206) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 |
대한민국 | 1020040059719 | 2004.07.29
|
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2005.05.02) |
| 심사청구항수 | 22 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국표준과학연구원 | 대한민국 | 대전 유성구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 박병천 | 대한민국 | 대전 유성구 |
| 2 | 정기영 | 대한민국 | 서울 구 |
| 3 | 송원영 | 대한민국 | 서울 구 |
| 4 | 홍재완 | 대한민국 | 서울 구 |
| 5 | 오범환 | 대한민국 | 인천 남구 |
| 6 | 안상정 | 대한민국 | 대전 유성구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 최기현 | 대한민국 | 서울특별시 구로구 디지털로**길 **, *층 대륙국제특허법률사무소 (구로동, 코오롱디지털타워빌란트Ⅱ) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국표준과학연구원 | 대한민국 | 대전 유성구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 특허출원서 Patent Application |
2005.05.02 | 수리 (Accepted) | 1-1-2005-0230069-98 |
| 2 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2006.02.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2006-5019752-35 |
| 3 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2006.05.11 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 4 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2006.06.14 | 수리 (Accepted) | 9-1-2006-0040278-65 |
| 5 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2006.08.31 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2006-0514059-06 |
| 6 | 의견서 Written Opinion |
2006.10.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2006-0787675-99 |
| 7 | 명세서등보정서 Amendment to Description, etc. |
2006.10.30 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2006-0787697-93 |
| 8 | 등록결정서 Decision to grant |
2006.12.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2006-0781733-56 |
| 9 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.01.09 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5004381-25 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266640-72 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266645-00 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266627-88 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 이온빔(ion beam)을 이용한 SPM(scanning probe microscope) 나노니들 탐침(nanoneedle probe)의 제조 방법으로서,상기 나노니들이 부착되는 상기 탐침의 팁(tip)을 이온빔이 조사되는 방향으로 향하도록 위치시키는 단계와,상기 나노니들이 부착된 상기 탐침의 팁 방향으로 이온빔을 조사하여 상기 탐침의 팁에 부착된 상기 나노니들을 상기 이온빔과 평행하게 정렬시키는 단계를 포함하는,SPM 나노니들 탐침의 제조 방법 |
| 2 |
2 제 1항에 있어서,상기 정렬 단계는 상기 탐침의 팁에 부착된 나노니들을 상기 이온빔이 조사되는 방향으로 펴는(straightening) 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는,SPM 나노니들 탐침의 제조 방법 |
| 3 |
3 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 이온빔과 평행하게 정렬된 상기 탐침의 팁에 부착된 상기 나노니들과 일정한 각도를 두고 집속된 이온빔을 조사하여 상기 탐침의 팁에 부착된 상기 나노니들을 소정의 길이로 절단하는 단계를 더 포함하는,SPM 나노니들 탐침의 제조 방법 |
| 4 |
4 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 이온빔에 의해 정렬된 상기 나노니들의 일정 부분을 마스크로 가리는 단계와,상기 마스크 외부로 노출된 나노니들 부분에 상기 나노니들의 정렬 방향과 일정 각도를 두고 이온빔을 재조사하여 상기 마스크 외부로 노출된 나노니들 부분을 상기 재조사된 이온빔의 방향으로 정렬시켜 휘도록 하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는,SPM 나노니들 탐침의 제조 방법 |
| 5 |
5 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 이온빔은 집속된 이온빔(focused ion beam)인 것을 특징으로 하는,SPM 나노니들 탐침의 제조 방법 |
| 6 |
6 삭제 |
| 7 |
7 제 5항에 있어서,상기 집속된 이온빔은 Ga 이온빔, Au 이온빔, Ar 이온빔, Li 이온빔, Be 이온빔, He 이온빔, Au-Si-Be 이온빔 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는,SPM 나노니들 탐침의 제조 방법 |
| 8 |
8 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 나노니들은 나노튜브(nanotube) 또는 나노와이어(nanowire) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는,SPM 나노니들 탐침의 제조 방법 |
| 9 |
9 이온빔을 이용하여 제조되는 SPM 나노니들 탐침으로서,상기 나노니들이 부착되는 상기 탐침의 팁 방향으로 이온빔을 조사하여 상기 탐침의 팁에 부착된 상기 나노니들을 상기 이온빔과 평행하게 정렬시킨 것을 특징으로 하는,SPM 나노니들 탐침 |
| 10 |
10 제 9항에 있어서,상기 탐침의 팁에 부착된 상기 나노니들은 상기 탐침의 팁 방향으로 조사되는 이온빔에 의해 상기 이온빔의 방향으로 펴진(straightening) 것을 특징으로 하는,SPM 나노니들 탐침 |
| 11 |
11 제 9항 또는 제 10항에 있어서,상기 이온빔과 평행하게 정렬된 상기 탐침의 팁에 부착된 상기 나노니들과 일정한 각도를 두고 집속된 이온빔을 조사하여 상기 탐침의 팁에 부착된 상기 나노니들을 소정의 길이로 절단한 것을 특징으로 하는,SPM 나노니들 탐침 |
| 12 |
12 제 9항 또는 제 10항에 있어서,상기 이온빔에 의해 정렬된 상기 나노니들의 일정 부분을 마스크로 가리고, 상기 마스크 외부로 노출된 나노니들 부분에 상기 나노니들의 정렬 방향과 일정 각도를 두고 이온빔을 재조사하여 상기 마스크 외부로 노출된 나노니들 부분을 상기 재조사된 이온빔의 방향으로 정렬시켜 휘도록 한 것을 특징으로 하는,SPM 나노니들 탐침 |
| 13 |
13 제 9항 또는 제 10항에 있어서,상기 이온빔은 집속된 이온빔인 것을 특징으로 하는,SPM 나노니들 탐침 |
| 14 |
14 삭제 |
| 15 |
15 제 13항에 있어서,상기 집속된 이온빔은 Ga 이온빔, Au 이온빔, Ar 이온빔, Li 이온빔, Be 이온빔, He 이온빔, Au-Si-Be 이온빔 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는,SPM 나노니들 탐침 |
| 16 |
16 제 9항 또는 제 10항에 있어서,상기 나노니들은 나노튜브 또는 나노와이어 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는,SPM 나노니들 탐침 |
| 17 |
17 이온빔을 이용한 CD-SPM 나노니들 탐침(critical dimension scanning probe microscope nanoneedle probe)의 제조 방법으로서,상기 탐침의 팁에 부착되는 상기 나노니들의 일정 부분을 마스크로 가리는 단계와,상기 마스크 외부로 노출된 나노니들 부분에 이온빔을 조사하여 상기 마스크 외부로 노출된 나노니들 부분을 상기 조사된 이온빔의 방향으로 정렬시켜 휘도록 하는 단계를 포함하는,CD-SPM 나노니들 탐침의 제조 방법 |
| 18 |
18 제 17항에 있어서,상기 이온빔은 집속된 이온빔인 것을 특징으로 하는,CD-SPM 나노니들 탐침의 제조 방법 |
| 19 |
19 삭제 |
| 20 |
20 제 18항에 있어서,상기 집속된 이온빔은 Ga 이온빔, Au 이온빔, Ar 이온빔, Li 이온빔, Be 이온빔, He 이온빔, Au-Si-Be 이온빔 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는,CD-SPM 나노니들 탐침의 제조 방법 |
| 21 |
21 제 17항 또는 제 18항에 있어서,상기 나노니들은 나노튜브 또는 나노와이어 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는,SPM 나노니들 탐침의 제조 방법 |
| 22 |
22 이온빔을 이용하여 제조되는 CD-SPM 나노니들 탐침으로서,상기 탐침의 팁에 부착되는 상기 나노니들의 일정 부분을 마스크로 가리고, 상기 마스크 외부로 노출된 나노니들 부분에 이온빔을 조사하여 상기 마스크 외부로 노출된 나노니들 부분을 상기 조사된 이온빔의 방향으로 정렬시켜 휘도록 한 것을 특징으로 하는 CD-SPM 나노니들 탐침 |
| 23 |
23 제 22항에 있어서,상기 이온빔은 집속된 이온빔인 것을 특징으로 하는,CD-SPM 나노니들 탐침 |
| 24 |
24 삭제 |
| 25 |
25 제 23항에 있어서,상기 집속된 이온빔은 Ga 이온빔, Au 이온빔, Ar 이온빔, Li 이온빔, Be 이온빔, He 이온빔, Au-Si-Be 이온빔 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는,CD-SPM 나노니들 탐침 |
| 26 |
26 제 22항 또는 제 23항에 있어서,상기 나노니들은 나노튜브 또는 나노와이어 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는,CD-SPM 나노니들 탐침 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | JP04740949 | JP | 일본 | FAMILY |
| 2 | JP20508512 | JP | 일본 | FAMILY |
| 3 | US07703147 | US | 미국 | FAMILY |
| 4 | US20090106869 | US | 미국 | FAMILY |
| 5 | WO2006011714 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | FAMILY |
DOCDB 패밀리 정보
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | CH702315 | CH | 스위스 | DOCDBFAMILY |
| 2 | CN1993609 | CN | 중국 | DOCDBFAMILY |
| 3 | CN1993609 | CN | 중국 | DOCDBFAMILY |
| 4 | JP2008508512 | JP | 일본 | DOCDBFAMILY |
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| 6 | US2009106869 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
| 7 | US7703147 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
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| 특허 등록번호 | 10-0679619-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20050502 출원 번호 : 1020050036631 공고 연월일 : 20070206 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20061228 청구범위의 항수 : 22 유별 : G01N 13/10 발명의 명칭 : 이온빔을 이용한 ＳＰＭ 나노니들 탐침과 ＣＤ-ＳＰＭ나노니들 탐침의 제조 방법 및 그러한 방법에 의해제조되는 ＳＰＭ 나노니들 탐침과 ＣＤ-ＳＰＭ 나노니들탐침 존속기간(예정)만료일 : |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 한국표준과학연구원 대전 유성구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 634,500 원 | 2007년 01월 31일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 524,000 원 | 2009년 12월 30일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 524,000 원 | 2011년 01월 04일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 524,000 원 | 2012년 01월 03일 | 납입 |
| 제 7 년분 | 금 액 | 936,000 원 | 2012년 11월 27일 | 납입 |
| 제 8 년분 | 금 액 | 936,000 원 | 2013년 12월 03일 | 납입 |
| 제 9 년분 | 금 액 | 936,000 원 | 2014년 12월 31일 | 납입 |
| 제 10 년분 | 금 액 | 1,450,000 원 | 2015년 12월 30일 | 납입 |
| 제 11 년분 | 금 액 | 1,450,000 원 | 2017년 01월 03일 | 납입 |
| 제 12 년분 | 금 액 | 1,450,000 원 | 2017년 12월 13일 | 납입 |
| 제 13 년분 | 금 액 | 785,000 원 | 2018년 12월 26일 | 납입 |
| 제 14 년분 | 금 액 | 785,000 원 | 2019년 10월 01일 | 납입 |
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 특허출원서 | 2005.05.02 | 수리 (Accepted) | 1-1-2005-0230069-98 |
| 2 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2006.02.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2006-5019752-35 |
| 3 | 선행기술조사의뢰서 | 2006.05.11 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 4 | 선행기술조사보고서 | 2006.06.14 | 수리 (Accepted) | 9-1-2006-0040278-65 |
| 5 | 의견제출통지서 | 2006.08.31 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2006-0514059-06 |
| 6 | 의견서 | 2006.10.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2006-0787675-99 |
| 7 | 명세서등보정서 | 2006.10.30 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2006-0787697-93 |
| 8 | 등록결정서 | 2006.12.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2006-0781733-56 |
| 9 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.01.09 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5004381-25 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266640-72 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266645-00 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2018.12.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2018-5266627-88 |
| 기술번호 | KST2014042067 |
|---|---|
| 자료제공기관 | NTB |
| 기술공급기관 | 한국표준과학연구원 |
| 기술명 | AFM용 10 nm 급 탄소나노튜브 탐침 제작 기술 |
| 기술개요 |
본 발명은 이온빔, 특히 집속된 이온빔(focused ion beam)을 이용하여 SPM(scanning probe microscope)의 나노니들 탐침(nanoneedle probe)을 제조하는 방법 및 그러한 방법에 의해 제조되는 나노니들 탐침에 관한 것으로서, 더 구체적으로는 SPM 탐침의 팁(tip)에 부착되는 나노니들의 지향 방향을 용이하게 조절할 수 있고 탐침의 팁에 부착되는 나노니들을 지향 방향으로 용이하게 펼(straightening) 수 있는 SPM 나노니들 탐침의 제조 방법 및 그러한 방법에 의해 제조되는 SPM 나노니들 탐침에 관한 것이다. 본 발명은 또한 이온빔, 특히 집속된 이온빔을 이용하여 나노 스케일 수준의 측정물의 측면의 형상을 정확히 측정할 수 있는 CD-SPM 나노니들 탐침(critical dimension SPM nanoneedle probe)의 제조 방법 및 그러한 방법에 의해 제조되는 CD-SPM 나노니들 탐침에 관한 것으로서, 더 구체적으로는 SPM 탐침의 팁에 부착되는 나노니들 선단부의 일정 부분을 SPM 탐침의 팀에 부착되어 뻗어 나온 나노니들의 원래 방향과는 다른 임의의 방향으로 특정 각도만큼 휨으로써 나노 스케일 수준의 측정물의 측면의 형상을 정확히 측정할 수 있는 CD-SPM 나노니들 탐침의 제조 방법 및 그러한 방법에 의해 제조되는 CD-SPM 나노니들 탐침에 관한 것이다.본 발명에 따른 SPM 나노니들 탐침의 제조 방법은 상기 나노니들이 부착되는 상기 탐침의 팁을 이온빔이 조사되는 방향으로 향하도록 위치시키는 단계와, 상기 나노니들이 부착된 상기 탐침의 팁 방향으로 이온빔을 조사하여 상기 탐침의 팁에 부착된 상기 나노니들을 상기 이온빔과 평행하게 정렬시키는 단계를 포함한다.또한, 본 발명에 따른 CD-SPM 나노니들 탐침의 제조 방법은 상기 탐침의 팁에 부착되는 상기 나노니들의 일정 부분을 마스크로 가리는 단계와, 상기 마스크 외부로 노출된 나노니들 부분에 이온빔을 조사하여 상기 마스크 외부로 노출된 나노니들 부분을 상기 조사된 이온빔의 방향으로 정렬시켜 휘도록 하는 단계를 포함한다. |
| 개발상태 | 기술개발완료 |
| 기술의 우수성 | |
| 응용분야 | CNT 탐침은 내마모성이 좋아, 표면의 거칠기를 높은 분해능으로 재현성 있게 측정할 수 있으므로 산업 분야에서 제품의 상시 검사에 적격임 |
| 시장규모 및 동향 | |
| 희망거래유형 | 라이센스,기술지도, |
| 사업화적용실적 | |
| 도입시고려사항 |
| 과제고유번호 | 1350014900 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2006-06906 |
| 연구과제명 | AFM리소그래피용전도성나노탐침개발 |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국과학재단 |
| 연구주관기관명 | 한국표준과학연구원 |
| 성과제출연도 | 2006 |
| 연구기간 | 200604~200703 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
| 과제고유번호 | 1355048034 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 07-2502-907 |
| 연구과제명 | 나노기반측정기술 |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 과학기술부 |
| 연구주관기관명 | 한국표준과학연구원 |
| 성과제출연도 | 2007 |
| 연구기간 | 200701~200712 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
특허성과
| [1020070056085] | 적외선 사광파 혼합 편광 이미징 장치 | 새창보기 |
|---|---|---|
| [1020070055952] | 적외선 비선형 분자진동 분광 이미징 장치 | 새창보기 |
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