| 1 |
1
광원부(1)와 상기 광원부(1)로부터 생성된 광을 측정 대상물(100)에 조사하여 상기 측정 대상물(100)로부터 반사된 빛의 간섭 신호로부터 측정 대상물의 표면 형상, 측정 대상물의 내면 형상, 측정 대상물의 두께, 측정 대상물의 위치 중 적어도 하나를 측정하는 간섭계(2)를 포함하는 콤 생성 및 검출 장치를 이용한 실시간 분광형 간섭 측정 장치에 있어서, 상기 광원부(1)는 광원(11)으로부터 출력된 적외선 영역의 광대역 주파수 광을 광대역 광 주파수 빗 (broad mode spacing of the optical comb)으로 변환하는 패브리-페로 필터(12)를 포함하는 것을 특징으로 하는 콤 생성 및 검출 장치를 이용한 실시간 분광형 간섭 측정 장치
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 간섭계(2)는 상기 패브리-페로 필터(12)로부터 출력되는 광을 평행광으로 변환하는 시준렌즈(21)와;상기 시준렌즈(21)를 통해 변환된 평행광 중 일부는 기준광으로 나머지는 측정광으로 분배하여, 각각 기준면과 측정면으로 분배하는 광분배기(22)와;상기 기준면에서 반사된 기준광과 상기 측정면에서 반사된 측정광이 상호 중첩되어 간섭된 간섭 신호를 검출하는 검출기(23);를 포함하는 것을 특징으로 하는 콤 생성 및 검출 장치를 이용한 실시간 분광형 간섭 측정 장치
|
| 3 |
3
제2항에 있어서,상기 기준면은 측정 대상물(100)의 표면(101)이며, 상기 측정면은 측정 대상물의 내면(102)이거나,상기 기준면은 기준미러(24)의 표면이며, 상기 측정면은 측정 대상물(100)의 표면(101) 또는 내면(102)인 것을 특징으로 하는 콤 생성 및 검출 장치를 이용한 실시간 분광형 간섭 측정 장치
|
| 4 |
4
제2항에 있어서,상기 간섭계(2)는 상기 간섭신호를 각 파장 또는 각 주파수에 따라 분광하는 분광기(25)(spectrometer)와; 상기 분광기(25)와 상기 검출기(23) 사이에 배치되어, 상기 분광기(25)의 파장 분해능을 향상시키는 핀홀 어레이(26)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 콤 생성 및 검출 장치를 이용한 실시간 분광형 간섭 측정 장치
|
| 5 |
5
제 4항에 있어서,상기 분광기(25)는 프리즘 분광기로, 삼각 기둥 형상의 프리즘으로 형성되거나,삼각 기둥 형상의 제1프리즘(25a)과 역삼각 기둥 형상의 제2프리즘(25b)이 연속적으로 배치되어 형성되는 것을 특징으로 하는 콤 생성 및 검출 장치를 이용한 실시간 분광형 간섭 측정 장치
|
| 6 |
6
제 4항에 있어서,상기 분광기는 간섭신호를 회절격자로 회절시켜 상기 간섭신호를 각 파장 성분에 따라 분광하는 회절격자 분광기(25c)인 것을 특징으로 하는 콤 생성 및 검출 장치를 이용한 실시간 분광형 간섭 측정 장치
|
| 7 |
7
제1항에 있어서,상기 패브리-페로 필터(12) 전방에는 상기 패브리-페로 필터(12)에 의해 생성된 상기 광대역 광 주파수 빗의 광량을 증폭하는 광증폭기(13)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 콤 생성 및 검출 장치를 이용한 실시간 분광형 간섭 측정 장치
|
| 8 |
8
제 1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,상기 광원부(1)가 생성하는 상기 광대역 주파수 빗은 반복률이 1kHz내지 100 GHz 이고, 대역폭이 0
|
| 9 |
9
(a)패브리 페로 필터(12)를 이용하여 광원(1)으로부터 출력된 적외선 영역의 광대역 주파수 광을 광대역 광 주파수 빗 (broad mode spacing of the optical comb)으로 변환하는 광대역 광 주파수 빗 변환 단계;(b)상기 광대역 광 주파수 빗 중 일부를 기준광으로 하여 측정 대상물(100)의 표면(101)에서 반사되게 하고, 나머지를 측정광으로 하여 상기 측정 대상물(100)의 내면(102)에서 반사되게 하여, 상기 기준광과 측정광이 상호 중첩되어 간섭된 간섭신호를 형성하는 간섭신호 형성 단계;(c)상기 간섭신호를 분광시키는 단계;(d)상기 분광된 간섭신호를 핀홀 어레이(26)의 구멍으로 투과시켜 상기 분광된 간섭신호의 파장 분해능을 향상시키는 단계;(e)상기 파장 분해능이 향상된 간섭신호를 검출하는 단계; 를 통해 측정 대상물(100)의 두께, 내면 형상 중 적어도 하나를 측정하는 것을 특징으로 하는 콤 생성 및 검출 장치를 이용한 실시간 분광형 간섭 측정 방법
|
| 10 |
10
(a)패브리 페로 필터(12)를 이용하여 광원(1)으로부터 출력된 적외선 영역의 광대역 주파수 광을 광대역 광 주파수 빗 (broad mode spacing of the optical comb)으로 변환하는 광대역 광 주파수 빗 변환 단계; (b)상기 광대역 주파수 빗 중 일부를 기준광으로 하여 기준미러(24)의 표면에서 반사되게 하고, 나머지를 측정광으로 하여 측정 대상물(100)의 표면(101)에서 반사되게 하여, 상기 기준광과 측정광이 상호 중첩되어 간섭된 간섭신호를 형성하는 단계;(c)상기 간섭신호를 분광시키는 단계;(d)상기 분광된 간섭신호를 핀홀 어레이(26)의 구멍으로 투과시켜 상기 분광된 간섭신호의 파장 분해능을 향상시키는 단계;(e)상기 파장 분해능이 향상된 간섭신호를 검출하는 단계; 를 통해 측정 대상물(100)의 위치, 표면 형상 중 적어도 하나를 측정하는 것을 특징으로 하는 콤 생성 및 검출 장치를 이용한 실시간 분광형 간섭 측정 방법
|
| 11 |
11
(a)패브리 페로 필터(12)를 이용하여 광원(1)으로부터 출력된 적외선 영역의 광대역 주파수 광을 광대역 광 주파수 빗 (broad mode spacing of the optical comb)으로 변환하는 광대역 광 주파수 빗 변환 단계; (b) 상기 광대역 광 주파수 빗 중 일부를 기준광으로 하여 측정 대상물(100)의 표면(101)에서 반사되게 하고, 나머지를 측정광으로 하여 상기 측정 대상물(100)의 표면(101)과 내면(102)에서 반사되게 하여, 상기 기준광과 측정광이 상호 중첩되어 간섭된 간섭신호를 형성하는 단계;(c)상기 간섭신호를 분광시키는 단계;(d)상기 분광된 간섭신호를 핀홀 어레이(26)의 구멍으로 투과시켜 상기 분광된 간섭신호의 파장 분해능을 향상시키는 단계;(e)상기 파장 분해능이 향상된 간섭신호를 검출하는 단계;를 통해 측정 대상물(100)의 표면(101) 형상과 내면(102) 형상을 동시에 측정하는 것을 특징으로 하는 콤 생성 및 검출 장치를 이용한 실시간 분광형 간섭 측정 방법
|
