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위상회절소자 제조장치에 있어서, 특정폭을 갖는 레이저빔을 발생시키는 레이저발생부;상기 레이저발생부에서 발생된 상기 레이저빔을 투과시키는 노광렌즈;상기 노광렌즈의 초점부분에 설치되어 상기 레이저빔이 주사되어 상기 레이저빔에 의해 굴절률이 변화되는 광경화성 수지로 구성된 기판; 상기 기판 또는 상기 노광렌즈를 평면방향으로 이동시키기 위한 구동부;상기 레이저발생부에서 발생된 레이저빔의 광량을 조절하는 광량조절부; 및기판이 설치되는 기판설치부를 포함하고, 상기 구동부는,상기 기판설치부 또는 상기 노광렌즈를 평면방향과 평행인 X축으로 이동시키는 X축 구동부와, 상기 기판설치부 또는 상기 노광렌즈를 평면방향과 평행이고 상기 X축과 수직인 Y축으로 이동시키는 Y축 구동부와, 상기 기판 설치부를 수직축인 Z축을 중심으로 회전시키는 회전구동부를 포함하고,상기 X축 구동부, 상기 Y축 구동부 및 상기 회전구동부의 이동방향과 이동속도를 제어하고, 광량조절부를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 직접레이저 노광법을 이용한 위상회절소자 제조장치
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제 1항에 있어서, 상기 레이저빔은 가우시안 빔인 것을 특징으로 하는 직접레이저 노광법을 이용한 위상회절소자 제조장치
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제 2항에 있어서, 상기 가우시안 빔 단면은 중앙에서 외주부로 점진적으로 광강도가 감소되는 것을 특징으로 하는 직접레이저 노광법을 이용한 위상회절소자 제조장치
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제 1항에 있어서, 상기 광량조절부는 광음향변조기, 빔스플리터, 포토다이오드 및 컨트롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 직접레이저 노광법을 이용한 위상회절소자 제조장치
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제 1항에 있어서, 상기 노광렌즈와 상기 기판 사이의 간격을 조절하여 상기 노광렌즈의 초점을 조절하는 초점조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 직접레이저 노광법을 이용한 위상회절소자 제조장치
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제 2항에 따른 위상회절소자 제조장치를 이용한 위상회절소자 제조방법에 있어서, 레이저발생부에서 특정폭을 갖는 가우시안 빔을 발생시키는 단계;상기 가우시안 빔이 노광렌즈에 투과되는 단계; 상기 노광렌즈의 초점 부분에 설치된 광경화성 수지로 구성된 기판에 상기 가우시안 빔이 주사되는 단계; 상기 가우시안 빔이 주사된 기판에 굴절률이 변경되는 단계; 제어부가 평면방향과 평행인 X축방향으로 기판설치부 또는 상기 노광렌즈를 이동시키는 X축 구동부, 상기 X축과 수직이고 평면방향과 평행인 Y축방향으로 기판설치부 또는 상기 노광렌즈를 이동시키는 Y축 구동부 및 수직축인 Z축을 중심으로 상기 기판설치부를 회전시키는 회전구동부 중 적어도 어느 하나를 구동시키는 단계; 및상기 가우시안 빔이 주사된 기판에 사인파 위상회절격자가 형성되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 직접레이저 노광법을 이용한 위상회절소자 제조방법
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제 1항에 따른 위상회절소자 제조장치를 이용한 위상회절소자 제조방법에 있어서, 레이저발생부에서 특정폭을 갖는 레이저 빔을 발생시키는 단계;광량조절부에서 상기 레이저 빔을 설정된 광량이 되도록 조절하는 단계;상기 레이저 빔이 노광렌즈에 투과되는 단계; 상기 노광렌즈의 초점 부분에 설치된 광경화성 수지로 구성된 기판에 상기 레이저 빔이 주사되는 단계; 상기 레이저 빔이 주사된 기판에 굴절률이 변경되는 단계; 제어부가 평면방향과 평행인 X축방향으로 기판설치부 또는 상기 노광렌즈를 이동시키는 X축 구동부를 제어하여 설정된 이동길이만큼 상기 레이저 빔을 기판에 주사하게 하는 단계; Y축 구동부에 의해 상기 X축과 수직이고 평면방향과 평행인 Y축으로 상기 기판설치부 또는 상기 노광렌즈를 특정거리만큼 이동시키고, 상기 광량조절부에서 상기 레이저 빔의 광량을 변경하는 단계; 및상기 주사하는 단계 및 상기 광량을 변경하는 단계를 반복하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 직접레이저 노광법을 이용한 위상회절소자 제조방법
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제 15항 또는 제16항에 있어서, 초점조절부가 노광렌즈와 상기 기판 사이의 간격을 조절하여 상기 노광렌즈의 초점을 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 직접레이저 노광법을 이용한 위상회절소자 제조방법
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제 15항의 위상회절소자 제조방법에 의해 제조된 위상회절소자
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제 16항의 위상회절소자 제조방법에 의해 제조된 위상회절소자
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