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이온 펌프 전원 제어 장치 및 그 방법

  • 기술번호 : KST2014042701
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 이온 펌프(sputter ion pump)의 전원 공급을 제어하는 이온 펌프 전원 제어 장치(ion pump power supply controller)에 관한 것으로 보다 자세하게는 최소 8개 이상의 고전압 출력부를 제공함과 동시에 각각의 출력을 콘트롤하고 전류를 읽을 수 있도록 하는 전원 제어 장치를 제공하는 데에 있다. 본 발명에 의한 전원 제어 장치를 사용하면 다수의 이온 펌프를 구동, 제어할 수 있으므로 경제적 손실을 줄이는데 효과가 있다.
Int. CL H01J 37/34 (2006.01) H01J 37/30 (2006.01) H01L 21/265 (2006.01) F04B 49/00 (2006.01)
CPC H01J 41/12(2013.01) H01J 41/12(2013.01) H01J 41/12(2013.01) H01J 41/12(2013.01) H01J 41/12(2013.01) H01J 41/12(2013.01) H01J 41/12(2013.01)
출원번호/일자 1020100043006 (2010.05.07)
출원인 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1093828-0000 (2011.12.07)
공개번호/일자 10-2011-0123490 (2011.11.15) 문서열기
공고번호/일자 (20111214) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.05.07)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박종도 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 이기선 대한민국 경상북도 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인이상 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***(양재동, 우도빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.05.07 수리 (Accepted) 1-1-2010-0294850-81
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.04.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2011.04.14 수리 (Accepted) 1-1-2011-0272851-56
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.05.20 수리 (Accepted) 9-1-2011-0045678-48
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.06.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0327804-35
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.08.16 수리 (Accepted) 1-1-2011-0629215-12
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.08.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0629237-16
8 등록결정서
Decision to grant
2011.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0712064-86
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.06.13 수리 (Accepted) 4-1-2013-0025573-58
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5024386-11
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하나의 고압 직류 전원으로 여러 대의 이온 펌프를 접속하여 사용 가능하도록 하는 이온 펌프 전원 제어 장치에 있어서, 상기 전원과 상기 각 이온 펌프 사이의 고전압 공급 선로에 직렬로 접속되어 상기 각 이온 펌프에 흐르는 전류를 검출하는 션트 저항(shunt resistor); 상기 션트 저항에 직렬 접속되어 상기 각 이온 펌프의 구동을 온오프하는 고압용 릴레이;상기 션트 저항과 상기 고압용 릴레이에 접속되어 상기 개별 이온 펌프의 구동을 제어하는 개별 슬레이브 보드; 및 상기 개별 슬레이브 보드와 접속하여 상기 개별 슬레이브 보드를 제어하고 외부 장치와의 통신을 관리하는 하나의 마스터 보드를 포함하되,상기 개별 슬레이브 보드는 이온 펌프에 인가되는 전류를 검출하여 검출된 전류에 상응하는 전압이득(Gain)을 설정하는 전압증폭부;A/D 변환기를 통하여 전류를 측정하는 변환된 데이터를 출력하는 전류측정부; 변환된 데이터를 마스터 보드에 원격으로 전송해 주기 위한 통신 접속부; 상기 전압증폭부, 전류측정부, 및 통신 접속부를 처리하기 위한 로컬 제어부; 및 상기 마스터 보드의 명령에 의해 상기 릴레이를 구동시키는 릴레이 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 이온 펌프 전원 제어 장치
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서, 상기 각 개별 슬레이브 보드는 고압 전원 장치와 전기 절연을 유지하도록 전원 분리하기 위하여 고절연형 DC/DC 변환기를 더 포함함을 특징으로 하는 이온 펌프 전원 제어 장치
4 4
삭제
5 5
제1항 또는 제3항에 있어서, 상기 션트 저항와 상기 전압증폭부의 사이에는 상기 전압증폭부의 각 입력단에 감쇄용 분압 전압이 공급되도록 접속된 분압 저항부를 포함하되,상기 분압 저항부는 상기 션트 저항의 일단에 접속되고 상기 전압증폭부의 일 입력단에 접속되는 제1 저항과 상기 션트 저항의 타단에 접속되고 상기 전압증폭부의 타 입력단에 접속되는 제2 저항을 포함하는 입력보호회로; 및 일단이 상기 제1 저항의 일단 및 상기 전압증폭부의 일 입력단에 접속되고 타단이 상기 전압증폭부의 제어단에 접속되는 제3 저항과 일단이 상기 제2 저항의 일단 및 상기 전압증폭부의 타 입력단에 접속되고 타단이 상기 전압증폭부의 제어단에 접속되는 제4 저항을 포함하는 바이어스 리턴 회로를 포함함을 특징으로 하는 이온 펌프 전원 제어 장치
6 6
하나의 고압 직류 전원으로 여러 대의 이온 펌프를 접속하여 사용 가능하도록 하는 이온 펌프 전원 제어 방법에 있어서, 상기 전원과 상기 각 이온 펌프 사이의 고전압 공급 선로에 직렬로 접속된 션트 저항을 이용하여 상기 각 이온 펌프에 흐르는 전류를 검출하는 제1 단계; 상기 션트 저항에 직렬 접속된 고압용 릴레이를 이용하여 상기 각 이온 펌프의 구동을 온오프하는 제2 단계;상기 션트 저항과 상기 고압용 릴레이에 접속되어 개별 슬레이브 보드를 이용하여 상기 개별 이온 펌프의 구동을 제어하는 단계; 및 상기 개별 슬레이브 보드와 접속된 하나의 마스터 보드를 이용하여 상기 개별 슬레이브 보드를 제어하고 외부 장치와의 통신을 관리하는 단계를 포함하되,상기 개별 이온 펌프 구동 제어 단계는, 전압증폭부를 이용하여 이온 펌프에 인가되는 전류를 검출하여 검출된 전류에 상응하는 전압이득(Gain)을 설정하는 전압증폭 단계; A/D 변환기를 통하여 전류를 측정하는 변환된 데이터를 출력하는 전류측정 단계; 변환된 데이터를 마스터 보드에 원격으로 전송해 주기 위한 통신 접속 단계; 상기 전압증폭 단계, 전류측정 단계, 및 통신접속 단계를 제어하기 위한 로컬 제어 단계; 및 상기 마스터 보드의 명령에 의해 상기 릴레이를 구동시키는 릴레이 구동 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 이온 펌프 전원 제어 방법
7 7
삭제
8 8
삭제
9 9
제6항에 있어서, 상기 개별 이온 펌프 구동을 제어하는 단계는 고압 전원 장치와 전기 절연을 유지하도록 전원 분리하기 위하여 고절연형 DC/DC 변환 단계를 더 포함함을 특징으로 하는 이온 펌프 전원 제어 방법
10 10
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11 11
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.