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초 임계 유체를 이용한 금속 나노 구조물 제작 방법

  • 기술번호 : KST2014042774
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 초 임계 유체 증착법 (Supercritical Fluid Deposition; SCFD)을 이용하여 기판 위에 금속 나노 구조물을 제작하고, 그 형태와 크기를 조절하는 기술이다.본 발명에서는 금속 나노 구조물의 형태와 크기를 기판의 온도 또는 금속 전구체의 농도를 조절함으로써 변화시킬 수 있고, 이러한 공정기술을 이용하면, 나노 점에서 박막까지 나노 구조물의 형태와 크기를 연속적으로 변화시키면서 손 쉽게 대면적 기판 위에 제작할 수 있으며, 평판뿐만 아니라, 입체적인 기판 위에도 제작 가능하다.초 임계 유체 박막 증착 방법, 금속 나노 구조, 나노 점, 나노 크리스털 메모리, 플래시 메모리
Int. CL B82B 3/00 (2006.01)
CPC C01G 55/00(2013.01) C01G 55/00(2013.01) C01G 55/00(2013.01) C01G 55/00(2013.01)
출원번호/일자 1020090041171 (2009.05.12)
출원인 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1124351-0000 (2012.02.29)
공개번호/일자 10-2010-0122234 (2010.11.22) 문서열기
공고번호/일자 (20120315) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.05.12)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이한보람 대한민국 서울특별시 강서구
2 김재민 대한민국 경상남도 창원시
3 이정원 대한민국 서울특별시 강동구
4 김형준 대한민국 경상북도 포항시 남구
5 이흥순 대한민국 경기도 안산시 상록구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인아이엠 대한민국 서울특별시 강남구 봉은사로 ***, ***호 (역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 경상북도 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.05.12 수리 (Accepted) 1-1-2009-0283276-12
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.02.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0101464-71
3 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2011.04.21 수리 (Accepted) 1-1-2011-0296579-93
4 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2011.05.23 수리 (Accepted) 1-1-2011-0383814-47
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.05.30 수리 (Accepted) 1-1-2011-0402872-76
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.05.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0402870-85
7 등록결정서
Decision to grant		 2011.11.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0701068-11
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.13 수리 (Accepted) 4-1-2013-0025573-58
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5024386-11
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(a) 기판이 설치된 챔버 내에 반응기체를 주입하고 기판의 반응 온도를 설정하는 단계, (b) 프리믹스 셀에 루테늄 전구체를 주입하고, 프리믹스 셀에 용매가스를 초임계 유체상태로 만들기 위해 임계점 이상의 온도와 압력의 분위기로 주입하여, 루테늄 전구체와 초임계 유체 상태의 용매를 혼합한 후, 상기 챔버 내에 주입하여 상기 반응기체와 반응시키는 단계 및(c) 미반응물을 제거하는 단계를 포함하며, 상기 루테늄 전구체의 농도 조절을 통해, 루테늄 박막에서부터 루테늄 나노입자까지 증착물의 형상을 제어하는 것을 특징으로 하는 루테늄 나노 구조물의 제조방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 챔버 내의 반응온도의 조절을 통해, 상기 루테늄 나노 입자의 크기 또는 밀도를 조절하는 것을 특징으로 하는 루테늄 나노 구조물의 제조방법
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 반응기체는 상기 루테늄 전구체를 환원시킬 수 있는 기체인 것을 특징으로 하는 루테늄 나노 구조물의 제조방법
6 6
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 용매는 이산화탄소인 것을 특징으로 하는 루테늄 나노 구조물의 제조방법
7 7
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 금속 전구체는 루테늄 카르보닐(Ru3(CO)12)인 것을 특징으로 하는 루테늄 나노 구조물의 제조방법
8 8
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 (b) 단계를 상기 (a) 단계에 앞서서 실시하는 것을 특징으로 하는 루테늄 나노 구조물의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.