맞춤기술찾기

이전대상기술

직접 액체 주입형 화학 기상 증착법을 이용한 투명도전막의 제조방법 및 이에 의해 제조된 투명도전막

  • 기술번호 : KST2014042780
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 증착하고자 하는 금속 화합물을 혼합 전구체 용액으로 이용함으로써 용액의 조성을 조절할 수 있고, 이를 통해 박막의 조성을 용이하게 제어할 수 있는 직접 액체 주입형 화학 기상 증착법을 이용한 투명도전막의 제조방법 및 이에 의해 제조된 투명도전막에 관한 것이다.본 발명은 아연 또는 티타늄을 포함하는 금속 화합물을 유기 용매에 녹인 전구체 용액과 알루미늄, 갈륨 및 니오븀으로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 1종 이상을 포함하는 첨가물을 유기 용매에 녹인 전구체 용액을 혼합하는 단계; 상기 혼합된 전구체 용액을 용액 주입기를 통해 기화기에 주입하여 기화시키는 단계; 상기 기화작용에 의해 생성된 증기와 반응 기체를 증착반응기에 도입하는 단계; 및 상기 도입된 증기와 반응 기체를 유리 기판과 접촉시켜 도전막을 형성시키는 단계를 포함하는 직접 액체 주입형 화학 기상 증착법을 이용한 투명도전막의 제조방법을 제공한다.본 발명에 의하면 첨가물의 주입 조절이 용이하므로, 도전막의 조성 제어가 쉽고, 대면적 증착이 가능하며, 제조비용이 절감될 수 있는 투명도전막의 제조방법을 제공할 수 있다.
Int. CL H01L 21/205 (2006.01) C23C 16/40 (2006.01) C23C 16/448 (2006.01)
CPC C23C 16/407(2013.01) C23C 16/407(2013.01) C23C 16/407(2013.01) C23C 16/407(2013.01) C23C 16/407(2013.01)
출원번호/일자 1020100089569 (2010.09.13)
출원인 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1311801-0000 (2013.09.13)
공개번호/일자 10-2012-0027784 (2012.03.22) 문서열기
공고번호/일자 (20130925) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.09.13)
심사청구항수 6

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이시우 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 문수산나 대한민국 서울특별시 송파구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인씨엔에스 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, 대림아크로텔 *층(도곡동)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 경상북도 포항시 남구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.09.13 수리 (Accepted) 1-1-2010-0594108-80
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2011.04.05 수리 (Accepted) 1-1-2011-0248015-06
3 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2011.04.19 수리 (Accepted) 1-1-2011-0288856-03
4 [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)
2011.04.21 수리 (Accepted) 1-1-2011-0296713-15
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.12.19 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.01.20 수리 (Accepted) 9-1-2012-0007549-11
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.07.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0430566-92
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.09.25 수리 (Accepted) 1-1-2012-0780079-86
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.01.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0066177-85
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.04.01 수리 (Accepted) 1-1-2013-0280140-14
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.04.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0280141-60
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.06.13 수리 (Accepted) 4-1-2013-0025573-58
13 등록결정서
Decision to grant
2013.08.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0582764-35
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5024386-11
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
아연 또는 티타늄을 포함하는 유기 금속 화합물을 유기 용매에 녹인 전구체 용액과 알루미늄, 갈륨 및 니오븀으로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 1종 이상을 포함하는 첨가물을 유기 용매에 녹인 전구체 용액을 혼합하는 단계;상기 혼합된 전구체 용액을 용액 주입기를 통해 기화기에 주입하여 기화시키는 단계;상기 기화작용에 의해 생성된 증기와 반응 기체를 증착반응기에 도입하는 단계; 및 상기 도입된 증기와 반응 기체를 유리 기판과 접촉시켜 도전막을 형성시키는 단계를 포함하는 직접 액체 주입형 화학 기상 증착법을 이용한 투명도전막의 제조방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 유기 금속 화합물을 유기 용매에 녹인 전구체 용액과 상기 첨가물을 유기 용매에 녹인 전구체 용액이 1 : 0
3 3
제1항에 있어서, 상기 유기 용매는 헥산, 헵탄, 옥탄, n-부틸아세테이트 및 테트라하이드로퓨란(THF)으로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는 직접 액체 주입형 화학 기상 증착법을 이용한 투명도전막의 제조방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 반응 기체는 산소, 물, 과산화수소, 질소산화물 및 이산화탄소로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는 직접 액체 주입형 화학 기상 증착법을 이용한 투명도전막의 제조방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 도전막을 형성시키는 단계는 200~600℃의 온도에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 직접 액체 주입형 화학 기상 증착법을 이용한 투명도전막의 제조방법
6 6
제1항에 있어서, 상기 도전막을 형성시키는 단계는 플라즈마를 이용하여 실온~250℃의 온도범위에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 직접 액체 주입형 화학 기상 증착법을 이용한 투명도전막의 제조방법
7 7
삭제
8 8
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.