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마이크로파 플라즈마 생성을 위한 휴대용 전력 공급 장치

  • 기술번호 : KST2014042781
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 휴대용 전력 공급 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 특정 주파수의 마이크로파를 발생시켜 플라즈마를 생성시키고, 플라즈마 생성 후에 플라즈마 발생장치에서 반사되는 전력을 모니터링 한 후 변화된 임피던스 정합 조건을 감지하여 주파수를 보정함으로써, 플라즈마 발생장치에서 반사되는 전력을 최소화하여 플라즈마 발생장치에서 소모되는 전력의 효율을 향상시킬 수 있게 한 마이크로파 플라즈마 생성을 위한 휴대용 전력 공급 장치에 관한 것이다.전력 공급 장치, 마이크로파, 플라즈마
Int. CL H05H 1/30 (2006.01) H05H 1/36 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020090013574 (2009.02.18)
출원인 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1124419-0000 (2012.02.29)
공개번호/일자 10-2010-0094245 (2010.08.26) 문서열기
공고번호/일자 (20120320) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.02.18)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최 준 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 이재구 대한민국 경상북도 포항시 남구
3 심재윤 대한민국 경북 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이철희 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로***길 *, ***호 가디언국제특허법률사무소 (삼성동, 우경빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 이재구 경상북도 포항시 남구 희망대로 ***,***동****호(대잠동,대잠 센트럴하
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.02.18 수리 (Accepted) 1-1-2009-0101272-17
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.06.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.07.16 수리 (Accepted) 9-1-2010-0045314-11
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.10.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0465393-29
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.12.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0799303-84
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.12.03 수리 (Accepted) 1-1-2010-0799302-38
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.06.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0317532-32
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.08.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0610314-90
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.08.08 수리 (Accepted) 1-1-2011-0610315-35
10 등록결정서
Decision to grant		 2011.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0709267-76
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.13 수리 (Accepted) 4-1-2013-0025573-58
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5024386-11
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
삭제
2 2
마이크로파 플라즈마 발생장치에 전원을 공급하는 휴대용 전력 공급 장치에 있어서,상기 마이크로파 플라즈마 발생장치에 출력단이 연결되어 내부에 구비된 발진기에서 증폭된 마이크로파를 공급하는 발진 증폭부; 및일단이 상기 마이크로파 플라즈마 발생장치에 연결되어 플라즈마가 발생되면서 상기 마이크로파 플라즈마 발생장치로부터 반사되는 전력을 피드백 받아 반사전력의 변화정도를 측정하고, 타단이 상기 발진 증폭부에 연결되어 마이크로파의 주파수를 반사전력의 변화에 따라 최저값의 반사계수를 갖는 주파수로 조절하기 위한 스위칭 제어신호를 생성하여 공급하는 반사전력 피드백부를 포함하여 구성되되,상기 발진 증폭부는,상기 마이크로파를 생성하는 발진회로가 내장된 발진기가 구비된 크리스탈 오실레이터;상기 크리스탈 오실레이터에서 발진된 신호를 수신하여 프랙셔널 분주 방식에 의해 상기 크리스탈 오실레이터에서 발진된 신호보다 높은 주파수를 갖는 신호로 생성하는 프랙셔널 PLL(Fractional PLL);상기 프랙셔널 PLL에서 높은 주파수를 갖도록 생성되어 출력되는 신호를 수신하여 5와트(W)까지 증폭시킨 후, 상기 마이크로파 플라즈마 발생장치로 공급하는 전력증폭기;상기 프랙셔널 PLL의 출력단과 전력증폭기의 입력단 사이에 위치하여 임피던스를 정합시키는 구동증폭기;상기 마이크로파를 생성하고 전력 공급 장치를 동작시키는 전원을 공급하는 배터리;상기 배터리에서 공급되는 전압을 안정적인 정전압으로 조절하여 상기 크리스탈 오실레이터와 프랙셔널 PLL에 공급하는 제1레귤레이터; 및상기 배터리에서 공급되는 전압을 안정적인 정전압으로 조절하여 상기 전력증폭기와 구동증폭기에 공급하는 제2레귤레이터를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 마이크로파 플라즈마 생성을 위한 휴대용 전력 공급 장치
3 3
제2항에 있어서,상기 크리스탈 오실레이터는 24㎒의 신호를 발진하고, 상기 프랙셔널 PLL은 이 신호를 수신하여 상기 마이크로 플라즈마 발생장치에서 필요로 하는 에너지를 갖는 900㎒ 또는 2
4 4
제3항에 있어서,상기 전력증폭기는 상기 프랙셔널 PLL에서 출력되는 신호를 5와트(W)까지 증폭시켜 출력하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 마이크로파 플라즈마 생성을 위한 휴대용 전력 공급 장치
5 5
제2항에 있어서,상기 크리스탈 오실레이터와 프랙셔널 PLL과 전력증폭기와 구동증폭기는 인쇄회로기판에 실장된 형태로 구성되는 것을 특징으로 하는 마이크로파 플라즈마 생성을 위한 휴대용 전력 공급 장치
6 6
제2항에 있어서,상기 반사전력 피드백부는,상기 마이크로파 플라즈마 발생장치에서 플라즈마가 발생된 후에 반사되는 전력을 측정하여 모니터링하도록 상기 마이크로파 플라즈마 발생장치의 일단에 연결된 방향성 커플러;상기 방향성 커플러에 일단이 연결되어 상기 방향성 커플러를 통해 측정한 반사전력을 기준전압과 비교하여 반사전력의 변화여부를 인지하는 인벨롭 디텍터;상기 인벨롭 디텍터에 일단이 연결되어 상기 반사전력의 변화정도를 연산하고, 그러한 변화에 따라 반사계수가 가장 낮은 주파수를 연산하는 변화도 연산부; 및상기 변화도 연산부에 일단이 연결되어 연산된 주파수 값을 수신하고, 상기 마이크로파 플라즈마 발생장치로 공급되는 마이크로파의 주파수를 상기 반사전력의 변화에 따라 상기 변화도 연산부에서 연산된 최저값의 반사계수를 갖는 주파수로 변경시키도록 분주비를 조절하는 스위치 제어신호를 프랙셔널 PLL로 공급하도록 타단이 상기 발진 증폭부에 구비된 프랙셔널 PLL에 연결된 디지털 필터를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 마이크로파 플라즈마 생성을 위한 휴대용 전력 공급 장치
7 7
제6항에 있어서,상기 방향성 커플러와 인벨롭 디텍터와 변화도 연산부와 디지털 필터는 상기 발진 증폭부와 함께 단일의 인쇄회로기판(PCB)에 실장되어 구성되는 것을 특징으로 하는 마이크로파 플라즈마 생성을 위한 휴대용 전력 공급 장치
8 8
제7항에 있어서,상기 프랙셔널 PLL과 구동증폭기와 인벨롭 디텍터와 변화도 연산부와 디지털 필터는 원 칩 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로파 플라즈마 생성을 위한 휴대용 전력 공급 장치
9 9
마이크로파 플라즈마 발생장치에 전원을 공급하는 휴대용 전력 공급 장치에 있어서,상기 마이크로파 플라즈마 발생장치에 출력단이 연결되어 내부에 구비된 발진기에서 증폭된 마이크로파를 공급하는 발진 증폭부; 및일단이 상기 마이크로파 플라즈마 발생장치에 연결되어 플라즈마가 발생되면서 상기 마이크로파 플라즈마 발생장치로부터 반사되는 전력을 피드백 받아 반사전력의 변화정도를 측정하고, 타단이 상기 발진 증폭부에 연결되어 마이크로파의 주파수를 반사전력의 변화에 따라 최저값의 반사계수를 갖는 주파수로 조절하기 위한 스위칭 제어신호를 생성하여 공급하는 반사전력 피드백부를 포함하여 구성되되,상기 발진 증폭부는,상기 마이크로파를 생성하는 발진회로가 내장된 발진기가 구비된 크리스탈 오실레이터와, 상기 크리스탈 오실레이터에서 발진된 신호를 수신하여 프랙셔널 분주 방식에 의해 상기 크리스탈 오실레이터에서 발진된 신호보다 높은 주파수를 갖는 신호로 생성하는 프랙셔널 PLL(Fractional PLL)와, 상기 프랙셔널 PLL에서 높은 주파수를 갖도록 생성되어 출력되는 신호를 수신하여 5와트(W)까지 증폭시킨 후 상기 마이크로파 플라즈마 발생장치로 공급하는 전력증폭기와, 상기 프랙셔널 PLL의 출력단과 전력증폭기의 입력단 사이에 위치하고 별도로 입력되는 제어신호의 논리 상태에 의해 동작이 제어되는 믹서와, 상기 마이크로파를 생성하고 전력 공급 장치를 동작시키는 전원을 공급하는 배터리와, 상기 배터리에서 공급되는 전압을 안정적인 정전압으로 조절하여 상기 크리스탈 오실레이터와 프랙셔널 PLL에 공급하는 제1레귤레이터; 및 상기 배터리에서 공급되는 전압을 안정적인 정전압으로 조절하여 상기 전력증폭기와 구동증폭기에 공급하는 제2레귤레이터를 포함하여 구성되고;상기 반사전력 피드백부는,상기 마이크로파 플라즈마 발생장치에서 플라즈마가 발생된 후에 반사되는 전력을 측정하여 모니터링하도록 상기 마이크로파 플라즈마 발생장치의 일단에 연결된 방향성 커플러와, 상기 방향성 커플러에 일단이 연결되어 상기 방향성 커플러를 통해 측정한 반사전력을 기준전압과 비교하여 반사전력의 변화여부를 인지하는 인벨롭 디텍터와, 상기 인벨롭 디텍터에 일단이 연결되어 상기 반사전력의 변화정도를 연산하고 그러한 변화에 따라 반사계수가 가장 낮은 주파수를 연산하는 변화도 연산부, 및 상기 변화도 연산부에 일단이 연결되어 연산된 주파수 값을 수신하고, 상기 마이크로파 플라즈마 발생장치로 공급되는 마이크로파의 주파수를 상기 반사전력의 변화에 따라 상기 변화도 연산부에서 연산된 최저값의 반사계수를 갖는 주파수로 변경시키도록 분주비를 조절하는 스위치 제어신호를 프랙셔널 PLL로 공급하도록 타단이 상기 발진 증폭부에 구비된 프랙셔널 PLL에 연결된 디지털 필터를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 마이크로파 플라즈마 생성을 위한 휴대용 전력 공급 장치
10 10
제9항에 있어서,상기 프랙셔널 PLL과 믹서와 인벨롭 디텍터와 변화도 연산부와 디지털 필터는 원 칩 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로파 플라즈마 생성을 위한 휴대용 전력 공급 장치
11 11
제2항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,상기 마이크로파 플라즈마 발생장치로 가스의 흐름을 조절할 수 있는 마이크로 컨트롤러와, 상기 마이크로 플라즈마 발생장치에서 발생된 플라즈마의 온도를 측정하여 상기 마이크로 컨트롤러로 전송하는 소형 온도계를 더 포함하여 구성되며;상기 마이크로 컨트롤러는 상기 소형 온도계에서 전송되는 플라즈마의 온도를 미리 정해진 설정값과 비교하여 그 온도를 일정하게 유지하도록 전력 공급과 가스의 유량을 자동으로 조절하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 마이크로파 플라즈마 생성을 위한 휴대용 전력 공급 장치
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1 CN101808458 CN 중국 FAMILY
2 EP02221850 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
3 EP02221850 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
4 JP05313786 JP 일본 FAMILY
5 JP22192421 JP 일본 FAMILY
6 US08212428 US 미국 FAMILY
7 US20100207528 US 미국 FAMILY

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1 AT546825 AT 오스트리아 DOCDBFAMILY
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3 CN101808458 CN 중국 DOCDBFAMILY
4 EP2221850 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
5 EP2221850 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
6 JP2010192421 JP 일본 DOCDBFAMILY
7 JP5313786 JP 일본 DOCDBFAMILY
8 US2010207528 US 미국 DOCDBFAMILY
9 US8212428 US 미국 DOCDBFAMILY
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