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노광 공정으로 중심에 대응 돌기를 구비하는 초소형 모구조물을 제작하는 제1 단계;금속 전기도금 공정으로 상기 모구조물의 표면에 초소형 구조물을 형성하고 상기 대응 돌기에 대응하여 중심에 결합구를 가지는 실린더 상의 마이크로 몰드 형성용 모듈을 제작하는 제2 단계; 및상기 모듈을 조합하여 상기 결합구에 축부재를 삽입하여 상기 모듈을 축 방향으로 결합하여 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템을 형성하는 제3 단계를 포함하는 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템 제조 방법
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제1 항에 있어서,상기 제1 단계의 상기 노광 공정은,방사광 가속기의 X-선을 이용하는 심부 X선 노광(DXRL; deep x-ray lithography) 공정 및UV를 광원으로 이용하는 노광 공정 중 어느 하나인 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템 제조 방법
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제1 항에 있어서,상기 제2 단계의 상기 금속 전기도금 공정은,구리 전기도금, 니켈 전기도금 및 니켈 합금 전기도금 중 어느 하나인 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템 제조 방법
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제1 항에 있어서,상기 제2 단계는,표면에 상기 초소형 구조물을 가지는 상기 모듈을 다양한 두께로 형성하는 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템 제조 방법
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제4 항에 있어서,상기 제3 단계는,다양한 초소형 구조물을 가지는 다양한 두께의 상기 모듈들을 선택하고, 상기 모듈들을 조합 및 결합하여, 상기 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템을 다양한 구조로 형성하는 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템 제조 방법
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설정된 두께의 실린더 상으로 형성되고, 표면에 초소형 구조물을 가지는 롤 형상의 마이크로 몰드 형성용 모듈들;상기 모듈의 중심에 형성된 결합구에 삽입되는 축부재; 및조합되어 상기 결합구를 통하여 상기 축부재에 축 방향으로 결합된 상기 모듈들의 양측에서 상기 축부재에 결합되어 상기 모듈들을 지지하는 지지부재를 포함하는 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템
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제6 항에 있어서,상기 모듈들은,표면에 상기 초소형 구조물을 가지고 다양한 두께를 가지는 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템
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제6 항에 있어서,상기 모듈의 표면에 형성된 초소형 구조물은삼각형, 사각형 및 사다리꼴형 중 하나로 형성되는 롤 형상의 마이크로 몰드 시스템
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