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마이크로 구조물 및 이의 접합 방법

  • 기술번호 : KST2014042822
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 접합 성능이 우수하고 제품의 특성 변화를 유발하지 않으며 높은 투명도를 유지할 수 있는 마이크로 구조물의 접합 방법을 제공한다. 본 발명에 따른 마이크로 구조물의 접합 방법은, 금속 전극이 형성된 유리 기판 위로 유리 페이스트를 도포하는 단계와, 유리 페이스트를 유기 용매의 비점 온도로 가열하여 유기 용매를 제거함으로써 반 고상화된 예비 유리 접합층을 형성하는 단계와, 예비 유리 접합층을 용융점 온도에서 일정 시간 소성 후 서냉시켜 투명하고 단단한 유리 접합층을 형성하는 단계와, 유리 접합층 위에 유리 구조물을 정렬 배치하는 단계와, 유리 접합층을 용융점 온도에서 일정 시간 재소성 후 서냉시킴에 따라 유리 접합층의 표면 용융 및 확산 현상을 이용하여 유리 접합층을 매개로 유리 기판과 유리 구조물을 용융 접합시키는 단계를 포함한다. 유리, 페이스트, 전극, 기판, 구조물, 유기용매, 접합층, 소성, 용융, 확산
Int. CL B81B 7/02 (2006.01) B81C 1/00 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020090110440 (2009.11.16)
출원인 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1105440-0000 (2012.01.05)
공개번호/일자 10-2011-0053770 (2011.05.24) 문서열기
공고번호/일자 (20120117) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.11.16)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김무환 대한민국 경북 포항시 남구
2 최치웅 대한민국 서울 서초구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.11.16 수리 (Accepted) 1-1-2009-0702467-98
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.04.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.05.16 수리 (Accepted) 9-1-2011-0040702-96
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.06.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0337250-20
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.08.22 수리 (Accepted) 1-1-2011-0649107-47
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.09.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0735783-21
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.09.21 수리 (Accepted) 1-1-2011-0735781-30
8 등록결정서
Decision to grant
2011.12.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0775051-03
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.06.13 수리 (Accepted) 4-1-2013-0025573-58
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5024386-11
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
단자부를 갖는 금속 전극이 형성된 유리 기판을 준비하고, 상기 단자부를 보호층으로 덮는 단계; 상기 보호층을 제외한 상기 유리 기판 위로 유리 페이스트를 도포하는 단계; 상기 유리 페이스트를 유기 용매의 비점 온도로 가열하여 유기 용매를 제거함으로써 반 고상화된 예비 유리 접합층을 형성하는 단계; 상기 예비 유리 접합층을 용융점 온도에서 일정 시간 소성 후 서냉시켜 투명하고 단단한 유리 접합층을 형성한 다음 상기 보호층을 제거하는 단계; 상기 유리 접합층 위에 유리 구조물을 정렬 배치하는 단계; 및 상기 유리 접합층을 용융점 온도에서 일정 시간 재소성 후 서냉시킴에 따라 상기 유리 접합층의 표면 용융 및 확산 현상을 이용하여 상기 유리 접합층을 매개로 상기 유리 기판과 상기 유리 구조물을 용융 접합시키는 단계 를 포함하는 마이크로 구조물의 접합 방법
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서, 상기 보호층은 점착층을 가지는 테이프 형태로 이루어지며, 상기 유기 용매의 비점보다 높은 내열 온도를 가지는 마이크로 구조물의 접합 방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 유리 페이스트를 도포하는 단계에서, 상기 유리 페이스트를 의도한 두께보다 큰 두께로 도포한 후 가압 롤러를 이용하여 상기 유리 페이스트를 균일한 두께로 고르게 펴는 마이크로 구조물의 접합 방법
5 5
제4항에 있어서, 상기 유리 접합층을 형성한 후, 상기 유리 접합층의 표면을 화학 기계적 연마(CMP) 처리하여 표면 거칠기를 감소시키는 단계를 더욱 포함하는 마이크로 구조물의 접합 방법
6 6
제1항에 있어서, 상기 유리 접합층을 매개로 상기 유리 기판과 상기 유리 구조물을 용융 접합시키는 단계에서, 가압 장치를 이용하여 상기 유리 기판과 상기 유리 구조물에 균일한 압력을 인가하는 마이크로 구조물의 접합 방법
7 7
제1항, 제3항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 유리 접합층의 열팽창 계수는 상기 유리 기판 및 상기 유리 구조물의 열팽창 계수와 20×10-7/℃ 이하의 차이를 가지는 마이크로 구조물의 접합 방법
8 8
제1항, 제3항 내지 제6항 중 어느 한 항의 방법으로 접합된 유리 기판과 유리 접합층 및 유리 구조물을 포함하며, 상기 유리 접합층이 투명도를 유지하면서 상기 유리 기판 및 상기 유리 구조물에 대해 용융 접합된 마이크로 구조물
9 9
제8항에 있어서, 상기 유리 접합층의 열팽창 계수는 상기 유리 기판 및 상기 유리 구조물의 열팽창 계수와 20×10-7/℃ 이하의 차이를 가지는 마이크로 구조물
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.