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연결 유로를 통해 연결되는 제1 공간과 제2 공간을 형성하는 케이스;상기 케이스의 일측에 위치하며 상기 제1 공간과 연결되는 유체 흡입관;상기 케이스의 타측에 위치하며 상기 제2 공간과 연결되는 유체 토출관;상기 제1 공간을 덮도록 상기 케이스에 설치되고, 전기 신호에 의해 변형하는 제1 변형 부재; 및상기 제2 공간을 덮도록 상기 케이스에 설치되고, 전기 신호에 의해 변형하는 제2 변형 부재를 포함하며,상기 제2 변형 부재는 상기 제1 변형 부재보다 크게 형성되고,상기 제2 변형 부재의 최대 변위는 상기 제1 변형 부재의 최대 변위보다 큰 마이크로 펌프
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제1항에 있어서,상기 제1 변형 부재와 상기 제2 변형 부재는 압전 액츄에이터로 이루어지는 마이크로 펌프
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제2항에 있어서,상기 제1 변형 부재는 제1 도전성 탄성판과 제1 압전 소자를 포함하고,상기 제2 변형 부재는 제2 도전성 탄성판과 제2 압전 소자를 포함하는 마이크로 펌프
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제3항에 있어서,상기 제1 도전성 탄성판, 상기 제1 압전 소자, 상기 제2 도전성 탄성판, 및 상기 제2 압전 소자에 각각 연결되는 복수의 리드선; 및상기 복수의 리드선과 전기적으로 연결되는 제어부를 더 포함하는 마이크로 펌프
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5
제1항에 있어서,상기 제1 변형 부재와 상기 제2 변형 부재는 인공 근육으로 이루어지는 마이크로 펌프
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6
제5항에 있어서,상기 제1 변형 부재는 제1 모방 근육부와 제1 전극부를 포함하고,상기 제2 변형 부재는 제2 모방 근육부와 제2 전극부를 포함하는 마이크로 펌프
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7
제6항에 있어서,상기 제1 모방 근육부와 상기 제2 모방 근육부는 전기 활성 하이드로겔로 합성된 나노 섬유를 포함하는 마이크로 펌프
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8
제6항에 있어서,상기 제1 전극부와 상기 제2 전극에 각각 연결되는 한 쌍의 리드선; 및상기 한 쌍의 리드선과 전기적으로 연결되는 제어부를 더 포함하는 마이크로 펌프
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9
제1항에 있어서,상기 제2 공간의 체적이 상기 제1 공간의 체적보다 큰 마이크로 펌프
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10
제1항에 있어서,상기 연결 유로의 내부에 설치된 개폐 밸브; 및상기 유체 흡입관 및 상기 유체 토출관의 내부에 설치된 역류 차단 부재를 더 포함하는 마이크로 펌프
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11
제1항에 있어서,상기 유체 흡입관과 상기 연결 유로 및 상기 유체 토출관의 내부에 설치된 역류 차단 부재를 더 포함하는 마이크로 펌프
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12
제10항에 있어서,상기 개폐 밸브는 상기 연결 유로와 평행하게 배치된 제1 압전 디스크와 제2 압전 디스크를 포함하는 압전 밸브인 마이크로 펌프
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13
제10항 또는 제11항에 있어서,상기 역류 차단 부재는 상기 유체 흡입관을 향한 일측으로부터 상기 유체 토출관을 향한 반대편 일측을 향해 내경이 점진적으로 확대되는 깔때기 모양으로 형성되는 마이크로 펌프
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14
제10항 또는 제11항에 있어서,상기 역류 차단 부재는,고정단과 자유단을 구비하며 박막으로 제조되는 변형판; 및상기 유체 흡입관으로부터 상기 유체 토출관을 향하는 순방향을 따라 상기 변형판의 자유단 앞쪽에 위치하는 고정 돌기를 포함하는 마이크로 펌프
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15
제1항 내지 제12항 중 어느 한 항의 마이크로 펌프를 작동하는 방법에 있어서,상기 제1 변형 부재를 최소 변위로부터 최대 변위까지 팽창시킴과 아울러 상기 제2 변형 부재를 최소 변위로부터 초기 팽창시키는 제1 구간;상기 제1 변형 부재를 최대 변위로부터 수축시킴과 아울러 상기 제2 변형 부재를 최대 변위까지 팽창시키는 제2 구간; 및상기 제1 변형 부재를 최소 변위까지 수축시킴과 아울러 상기 제2 변형 부재를 최대 변위로부터 수축시키는 제3 구간을 포함하는 마이크로 펌프의 작동 방법
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제15항에 있어서,상기 제1 구간에서 상기 제2 변형 부재는 상기 제1 변형 부재의 최대 변위 지점과 시간 차이를 두고 최소 변위로부터 팽창하기 시작하는 마이크로 펌프의 작동 방법
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제15항에 있어서,상기 제3 구간에서 상기 제1 변형 부재의 최소 변위 지점은 상기 제2 변형 부재의 최대 변위 지점과 시간 차이를 가지는 마이크로 펌프의 작동 방법
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제15항에 있어서,상기 마이크로 펌프의 연결 유로에 개폐 밸브가 위치하며,상기 개폐 밸브는 상기 제2 변형 부재의 팽창과 동시에 작동하여 상기 연결 유로를 개방시키고, 상기 제2 변형 부재가 최대 변위에 도달함과 동시에 작동하여 상기 연결 유로를 폐쇄시키는 마이크로 펌프의 작동 방법
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제1항 내지 제12항 중 어느 한 항의 마이크로 펌프를 작동하는 방법에 있어서,상기 제1 변형 부재를 최소 변위로부터 최대 변위까지 팽창시킴과 아울러 상기 제2 변형 부재를 최소 변위로부터 초기 팽창시키는 제1 구간;상기 제1 변형 부재를 최대 변위로부터 최소 변위까지 수축시킴과 아울러 상기 제2 변형 부재를 최대 변위까지 팽창시키는 제2 구간; 및상기 제1 변형 부재를 최소 변위로부터 초기 팽창시킴과 아울러 상기 제2 변형 부재를 최소 변위까지 수축시키는 제3 구간을 포함하는 마이크로 펌프의 작동 방법
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제19항에 있어서,상기 제1 구간에서 상기 제2 변형 부재는 상기 제1 변형 부재의 최대 변위 지점과 시간 차이를 두고 최소 변위로부터 팽창하기 시작하는 마이크로 펌프의 작동 방법
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제19항에 있어서,상기 제2 구간에서 상기 제1 변형 부재의 최소 변위 지점은 상기 제2 변형 부재의 최대 변위 지점과 일치하는 마이크로 펌프의 작동 방법
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22
제19항에 있어서,상기 마이크로 펌프의 연결 유로에 개폐 밸브가 위치하며,상기 개폐 밸브는 상기 제2 변형 부재의 팽창과 동시에 작동하여 상기 연결 유로를 개방시키고, 상기 제2 변형 부재가 최대 변위에 도달함과 동시에 작동하여 상기 연결 유로를 폐쇄시키는 마이크로 펌프의 작동 방법
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제1항 내지 제12항 중 어느 한 항의 마이크로 펌프를 작동하는 방법에 있어서,상기 제1 변형 부재를 최소 변위로부터 최대 변위까지 팽창시켜 상기 제1 공간으로 유체를 흡입하는 제1 구간;상기 제1 변형 부재를 최대 변위로부터 최소 변위까지 수축시킴과 아울러 상기 제2 변형 부재를 최소 변위로부터 최대 변위까지 팽창시켜 상기 제1 공간과 상기 제2 공간으로 유체를 흡입하는 제2 구간; 및상기 제2 변형 부재를 최대 변위로부터 최소 변위까지 수축시켜 상기 제1 공간과 상기 제2 공간의 유체를 배출하는 제3 구간을 포함하는 마이크로 펌프의 작동 방법
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제23항에 있어서,상기 제1 변형 부재의 최대 변위 지점은 상기 제2 변형 부재의 최소 변위 지점과 일치하는 마이크로 펌프의 작동 방법
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제23항에 있어서,상기 마이크로 펌프의 연결 유로에 개폐 밸브가 위치하며,상기 개폐 밸브는 상기 제2 변형 부재의 팽창과 동시에 작동하여 상기 연결 유로를 개방시키고, 상기 제2 변형 부재가 최대 변위에 도달함과 동시에 작동하여 상기 연결 유로를 폐쇄시키는 마이크로 펌프의 작동 방법
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