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세정 대상물로부터 설정 거리만큼 이격되고, 펄스 레이저 빔의 집속 초점 위치에 액체를 공급하는 노즐;
상기 액체를 향하도록 상기 세정 대상물과 평행한 방향으로 상기 펄스 레이저 빔을 조사하는 레이저 건; 및
상기 레이저 건과 상기 액체 사이에 설치되어, 상기 레이저 건에서 조사되는 상기 펄스 레이저 빔을 집속하여 상기 액체에 초점을 일치시키는 광학계를 포함하는 레이저 충격파 세정 장치
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제1 항에 있어서,
상기 액체는 액적 또는 액체 제트를 형성하는 레이저 충격파 세정 장치
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제2 항에 있어서,
상기 노즐은,
상기 액적 또는 상기 액체 제트의 공급 방향을 상기 세정 대상물과 평행하게 형성하는 레이저 충격파 세정 장치
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제3 항에 있어서,
상기 펄스 레이저 빔의 초점을 사이에 두고 상기 세정 대상물의 반대측에 설치되어, 상기 세정 대상물 반대 방향으로 진행하는 상기 충격파를 압축하여, 상기 세정 대상물 측으로 반사시키도록 판상으로 형성되는 반사판을 더 포함하는 레이저 충격파 세정 장치
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제4 항에 있어서,
상기 액적 또는 상기 액체 제트에서 상기 세정 대상물에 이르는 제1 거리는,
상기 액적 또는 상기 액체 제트에서 상기 반사판에 이르는 제2 거리 보다 더 큰 레이저 충격파 세정 장치
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제2 항에 있어서,
상기 노즐은,
상기 액적 또는 상기 액체 제트의 공급 방향을 상기 세정 대상물의 연장선과 교차하게 형성하는 레이저 충격파 세정 장치
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7
제6 항에 있어서,
상기 펄스 레이저 빔의 초점을 사이에 두고 상기 세정 대상물의 반대측에 설치되어, 상기 액적 또는 상기 액체 제트를 통과시키는 유입구와 유출구를 형성하고, 내부에서 구형으로 진행하는 상기 충격파를 압축하여, 상기 세정 대상물을 향하는 개구를 통하여 상기 세정 대상물 측으로 상기 충격파를 반사시키는 튜브를 더 포함하는 레이저 충격파 세정 장치
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8
세정 대상물로부터 설정 거리만큼 이격되고, 펄스 레이저 빔의 집속 초점 위치에 노즐을 통하여 액적 또는 액체 제트를 공급하는 액체 공급 단계;
레이저 건에서 조사되어 적어도 하나의 광학계를 통과한 펄스 레이저 빔을 집속하여, 상기 액적 또는 상기 액체 제트에 초점을 일치시켜, 상기 액적 또는 상기 액체 제트를 절연파괴 하여 충격파를 생성하는 충격파 생성 단계; 및
상기 충격파를 상기 세정 대상물에 진행시켜, 미세 물질을 제거하는 세정 단계를 포함하는 레이저 충격파 세정 방법
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9
제8 항에 있어서,
상기 충격파 생성 단계는,
상기 충격파들 중 상기 세정 대상물 반대쪽으로 진행하는 충격파를 반사판으로 압축하여 상기 세정 대상물 측으로 반사시키는 반사 단계를 더 포함하는 레이저 충격파 세정 방법
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10
제8 항에 있어서,
상기 액체 공급 단계는,
반밀폐 공간을 형성하는 튜브의 유입구에서 유출구로 상기 액적 또는 상기 액체 제트를 공급하고,
상기 충격파 생성 단계는,
상기 튜브 내에서 상기 충격파를 생성하는 레이저 충격파 세정 방법
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11
제10 항에 있어서,
상기 충격파 생성 단계는,
상기 튜브 내에서 구형으로 진행하는 상기 충격파들을 압축하여, 상기 튜브의 개구를 통하여 상기 세정 대상물 측으로 반사시키는 반사 단계를 더 포함하는 레이저 충격파 세정 방법
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