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가공물 측에 액체를 공급하는 단계;
광학계를 통과한 펄스 레이저 빔을 상기 액체에 집속시켜 상기 액체의 절연파괴를 유도하는 단계;
상기 액체가 절연파괴됨에 따라 상기 가공물 측으로 진행하는 펄스 형태의 액체 제트를 발생시키는 단계; 및
상기 액체 제트가 상기 가공물에 충돌함에 따라 상기 가공물을 가공하는 단계를 포함하는 레이저를 이용한 미세가공 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 액체를 공급하는 단계에서,
상기 액체는 액적 또는 액체 제트인 레이저를 이용한 미세가공 방법
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청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 액체를 공급하는 단계에서,
상기 액체는 상기 가공물로부터 설정된 거리만큼 이격된 위치에 공급되거나, 상기 가공물의 표면 상에 공급되는 레이저를 이용한 미세가공 방법
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4
청구항 1에 있어서,
상기 광학계와 상기 가공물 사이에 배치되어 상기 액체 제트가 통과하는 구조물을 이용하여, 상기 액체 제트의 크기 또는 진행방향을 조절하는 단계를 더 포함하는 레이저를 이용한 미세가공 방법
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청구항 4에 있어서, 상기 구조물에서,
상기 액체 제트의 크기 또는 진행방향을 가이드하도록 내부에 가이드홀이 형성된 레이저를 이용한 미세가공 방법
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6
청구항 1에 있어서,
상기 펄스 레이저 빔의 펄스 개수 또는 강도 조절을 통해 상기 가공물의 가공 깊이 또는 가공 영역을 조절하는 레이저를 이용한 미세가공 방법
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7
청구항 1에 있어서,
상기 액체 제트는 상기 가공물에 수직 방향으로 입사되는 레이저를 이용한 미세가공 방법
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8
가공물 측에 액체를 공급하는 공급수단;
상기 액체를 향하도록 펄스 레이저 빔을 조사하는 레이저 건; 및
상기 레이저 건에서 조사되는 상기 펄스 레이저 빔을 상기 액체에 집속시킴에 따라 상기 액체의 절연파괴를 유도하는 광학계를 포함하며,
상기 액체가 절연파괴됨에 따라 상기 가공물 측으로 진행하는 펄스 형태의 액체 제트가 발생되고, 상기 액체 제트가 상기 가공물에 충돌함에 따라 상기 가공물을 가공하는 레이저를 이용한 미세가공 장치
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청구항 8에 있어서, 상기 공급수단은,
액적 또는 액체 제트를 상기 액체로서 공급하는 레이저를 이용한 미세가공 장치
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10
청구항 8 또는 청구항 9에 있어서, 상기 공급수단은,
상기 액체를 상기 가공물로부터 설정된 거리만큼 이격된 위치에 공급하거나, 상기 가공물의 표면 상에 공급하는 레이저를 이용한 미세가공 장치
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11
청구항 8에 있어서,
상기 광학계와 상기 가공물의 사이에 배치되어 상기 액체 제트가 통과되고, 상기 통과되는 액체 제트의 크기 또는 진행방향을 가이드하도록 내부에 가이드홀이 형성된 구조물을 더 포함하는 레이저를 이용한 미세가공 장치
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12
청구항 8에 있어서,
상기 액체 제트는 상기 가공물에 수직 방향으로 입사되는 레이저를 이용한 미세가공 장치
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