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기판의 상부에 형성한 제 1 분산형 브랙 반사기와,
상기 제 1 분산형 브랙 반사기의 상부에서 다중 양자 우물을 가지면서 방사형의 측면 테두리를 따라 레일리 밴드가 위치하는 방사형 메사를 형성하는 활성 영역과,
상기 활성 영역의 상부에 형성되어 방사형의 측면 테두리를 가지는 제 2 분산형 브랙 반사기와,
상기 활성 영역과 상기 제 2 분산형 브랙 반사기의 측면 테두리에 형성한 피복 영역과,
상기 기판의 하부와 상기 제 2 분산형 브랙 반사기의 상부에 각각 형성한 전극을 포함하며,
상기 활성 영역은, 수직축 방향에 대한 경사각의 함수로 표현되는 일정한 범위 내 다수의 파장을 갖는 빛을 상기 방사형의 측면 테두리를 따라 발진시키고, 상기 측면 테두리의 방사형에 의한 볼록부분에서는 메사 타입의 오목 전반사(Total Internal Reflection : TIR) 조건이 성립하며, 오목부분에서는 홀 타입의 볼록 전반사 조건이 성립하는
광양자테 레이저
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제 3 항에 있어서,
상기 활성 영역은, 상기 방사형 메사의 앙자테 임계길이에 의해 그 개수가 제한되는
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제 3 항에 있어서,
상기 제 1 분산형 브랙 반사기와 제 2 분산형 브랙 반사기 중에서 적어도 어느 하나는, 부분 브랙 반사막을 사용하는
광양자테 레이저
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제 5 항에 있어서,
상기 부분 브랙 반사막은, 산화막 형성을 통해 반사도를 향상시킨
광양자테 레이저
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기판의 상부에 제 1 분산형 브랙 반사기를 형성하는 단계와,
상기 제 1 분산형 브랙 반사기의 상부에 다중 양자 우물을 가지는 활성 영역을 형성하는 단계와,
상기 활성 영역의 상부에 제 2 분산형 브랙 반사기를 형성하는 단계와,
상기 제 2 분산형 브랙 반사기와 상기 활성 영역의 측면 테두리를 방사형으로 식각하여 레일리 밴드가 위치하는 방사형 메사를 형성하는 단계와,
상기 제 2 분산형 브랙 반사기와 상기 활성 영역의 측면 테두리에 피복 영역을 형성하는 단계와,
상기 기판의 하부와 상기 제 2 분산형 브랙 반사기의 상부에 각각 전극을 형성하는 단계를 포함하며,
상기 방사형 메사를 형성하는 단계는, 상기 방사형 메사의 앙자테 임계길이에 따라 상기 측면 테두리를 형성하는 볼록부분의 개수를 제한하는
광양자테 레이저의 제조 방법
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제 8 항에 있어서,
상기 제 1 분산형 브랙 반사기와 제 2 분산형 브랙 반사기 중에서 적어도 어느 하나는, 부분 브랙 반사막을 사용하여 형성하는
광양자테 레이저의 제조 방법
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제 9 항에 있어서,
상기 부분 브랙 반사막에 산화막을 형성하여 반사도를 향상시키는
광양자테 레이저의 제조 방법
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