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베이스와;
상기 베이스에 대해 회전가능하게 마련된 제1 및 제2스테이지와;
상기 제1스테이지 및 상기 제2스테이지를 연결하는 적어도 하나의 연결힌지와;
상기 제2스테이지 및 상기 베이스를 연결하는 적어도 하나의 회전힌지와;
상기 제1스테이지 및 상기 베이스 사이에 마련되어 상기 제1스테이지 및 상기 베이스를 가압하며, 상기 제2스테이지의 중심에 대해 대칭을 이루도록 마련된 복수의 엑츄에이터를 포함하는 스테이지장치
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청구항 1에 있어서,
상기 베이스에는 상기 제1스테이지와 연결되어, 상기 액츄에이터의 가압력을 가압방향으로 집중시키도록 제1스테이지의 중심에 대칭되게 복수의 유연가이드가 마련된 스테이지장치
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청구항 2에 있어서,
상기 유연가이드는 상기 연결힌지 및 상기 회전힌지의 각각 중심축선상을 중심으로 상호 이격되게 절취한 '「' 형상을 가지는 한 쌍의 가이드커팅부를 포함하는 스테이지장치
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| 4 |
4
청구항 1에 있어서,
상기 베이스에는 상기 제1스테이지의 중심에 대해 대칭되면서 상기 제1스테이지의 접선상에 연직되게 요입 형성되어, 상기 엑츄에이터를 수용하는 복수의 수용부가 마련된 스테이지장치
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5
청구항 1에 있어서,
상기 제1 및 제2스테이지는 커팅부에 의해 원형의 형상으로 절취 마련되는 스테이지장치
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| 6 |
6
청구항 1에 있어서,
상기 연결힌지 및 상기 회전힌지는 상호 상기 제1스테이지의 중심에 대칭되도록 복수개가 마련된 스테이지장치
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7
청구항 1 또는 청구항 6에 있어서,
상기 연결힌지는 상기 제1스테이지 및 상기 제2스테이지를 연결하도록 상호 이격된 상태로 절취된 복수의 커팅부와, 상기 각 커팅부에 상호 이격되게 연장 절취된 적어도 하나의 보조커팅부를 포함하는 스테이지장치
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8
청구항 1 또는 청구항 6에 있어서,
상기 회전힌지는 상기 제2스테이지 및 상기 베이스를 연결하도록 상호 이격된 상태로 절취된 복수의 커팅부와, 상기 각 커팅부에 상호 이격되게 연장 절취된 적어도 하나의 보조커팅부를 포함하는 스테이지장치
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9
청구항 4에 있어서,
상기 제1스테이지 외측에는 각각의 상기 수용부에 인접하게 상기 베이스 내측으로 돌출 형성된 복수의 돌출부가 마련된 스테이지장치
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