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온-웨이퍼 측정 장치

  • 기술번호 : KST2014042978
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 온-웨이퍼 측정 장치를 개시한다. 온-웨이퍼 측정 장치는 검사체에 접촉하는 범프, 범프를 지지하고, 프로브에서 검출된 신호를 무선 신호로 변환하는 신호 변환 패턴을 포함하는 신호 변환부, 신호 변환부를 고정시켜 범프의 위치를 조정하는 프로브 암, 검사체를 흡착 고정하여 검사체의 위치를 이동시키는 검사체 척 및 프로브 암 및 웨이퍼 척을 수납하여 고정시키는 프로브 스테이션을 포함한다.
Int. CL H01L 21/66 (2006.01)
CPC G01R 1/06772(2013.01) G01R 1/06772(2013.01) G01R 1/06772(2013.01)
출원번호/일자 1020100135978 (2010.12.27)
출원인 동국대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1171959-0000 (2012.08.01)
공개번호/일자 10-2012-0074036 (2012.07.05) 문서열기
공고번호/일자 (20120808) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.12.27)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 동국대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 중구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이진구 대한민국 서울특별시 도봉구
2 이상진 대한민국 인천광역시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인이지 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 ***(가산동, KCC웰츠밸리) ***-***

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 동국대학교 산학협력단 서울특별시 중구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.12.27 수리 (Accepted) 1-1-2010-0864435-16
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0702518-23
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.06 수리 (Accepted) 4-1-2011-5243351-46
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.01.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0074231-15
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.01.30 수리 (Accepted) 1-1-2012-0074207-18
6 등록결정서
Decision to grant		 2012.07.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0444169-41
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2014-0002002-62
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.16 수리 (Accepted) 4-1-2019-5163486-33
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
검사체의 특성 검사를 위한 장치에 있어서,검사체에 접촉하는 범프; 상기 범프를 지지하고, 상기 범프에서 검출된 신호를 무선 신호로 변환하는 신호 변환 패턴을 포함하는 신호 변환부; 상기 신호 변환부를 고정시켜 상기 범프의 위치를 조정하는 프로브 암;상기 검사체를 흡착 고정하여 상기 검사체의 위치를 이동시키는 검사체 척; 및상기 프로브 암 및 상기 검사체 척을 수납하여 고정시키는 프로브 스테이션을 포함하는 온-웨이퍼 측정 장치
2 2
제1 항에 있어서,상기 신호 변환부를 수납하여 상기 프로브 암에 고정되는 프로브 구조체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 온-웨이퍼 측정 장치
3 3
제2 항에 있어서,상기 프로브 구조체는 상기 신호 변환 패턴에 대응하여 상기 무선 신호를 외부로 송신하는 도파관을 포함하는 것을 특징으로 하는 온-웨이퍼 측정 장치
4 4
제3 항에 있어서,상기 신호 변환 패턴은 상기 범프와 상기 도파관을 연결하는 도파관 전송 선로를 포함하는 것을 특징으로 하는 온-웨이퍼 측정 장치
5 5
제1 항에 있어서,상기 프로브 암은 상기 프로브 스테이션에 설치된 마이크로미터에 의해 위치 이동이 조절되는 것을 특징으로 하는 온-웨이퍼 측정 장치
6 6
제1 항에 있어서,상기 검사체 척은상기 검사체를 지지하는 척 테이블; 및상기 프로브 스테이션의 측벽을 관통하여 상기 척 테이블과 외부의 펌프를 연결하는 펌프 연결관을 포함하는 것을 특징으로 하는 온-웨이퍼 측정 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 국방부 동국대학교 산학협력단 연구 용역 지능탄용 94GHz MMW 센서 모듈 개발