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전자빔 발생장치 및 전자빔 발생방법

  • 기술번호 : KST2014043044
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 제작이 용이하면서 펨토초(femtosecond) 단위의 길이를 가지는 전자 빔을 발생시킬 수 있는 장치 및 방법에 대한 것이다. 본 발명에 따른 전자빔발생장치는 하우징과, 하우징의 일측 개구부에 마련된 음극 및 하우징의 타측 개구부에 마련된 양극을 포함하고, 양극과 마주 보는 음극의 표면으로 조사된 레이저빔에 의하여 표면에서 발생된 전자빔이 외부로 배출되도록 양극에는 배출홀이 마련된다. 본 발명에 따른 전자빔발생방법은, 하우징과, 하우징의 일측 개구부에 마련된 음극과, 하우징의 타측 개구부에 마련된 양극을 포함하는 전자빔 발생장치를 이용한 전자빔 발생방법에 있어서, 양극과 마주 보는 음극의 표면으로 레이저빔을 조사하는 조사단계 및 음극에 도달된 레이저빔에 의하여 음극에서 발생된 전자빔이 양극에 마련된 배출홀을 통하여 배출되는 배출단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 전자빔, 펨토초, 레이저
Int. CL H01J 37/06 (2006.01) H01J 37/30 (2006.01)
CPC H01J 37/30(2013.01) H01J 37/30(2013.01) H01J 37/30(2013.01) H01J 37/30(2013.01)
출원번호/일자 1020090061302 (2009.07.06)
출원인 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1104484-0000 (2012.01.03)
공개번호/일자 10-2011-0003841 (2011.01.13) 문서열기
공고번호/일자 (20120112) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.07.06)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박용운 대한민국 전라남도 장흥군
2 고인수 대한민국 경상북도 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 양문옥 대한민국 서울(특허법인 퇴사후 사무소변경 미신고)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 박용운 경상북도 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.07.06 수리 (Accepted) 1-1-2009-0411292-57
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.05.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.06.17 수리 (Accepted) 9-1-2010-0038961-66
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.01.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0004081-90
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.03.03 수리 (Accepted) 1-1-2011-0154692-58
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.03.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0154694-49
7 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2011.08.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0467573-22
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.10.19 수리 (Accepted) 1-1-2011-0818581-85
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.10.19 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2011-0818579-93
10 등록결정서
Decision to grant
2011.12.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0722680-70
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.06.13 수리 (Accepted) 4-1-2013-0025573-58
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5024386-11
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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시료를 향하여 전자빔을 배출함으로써 시료의 특성을 파악하는데 사용되는 펨토초 전자빔 발생장치에 있어서, 하우징; 상기 하우징의 일측에 마련된 음극; 상기 음극과 마주보도록 상기 하우징의 타측에 마련되며, 레이저빔이 상기 하우징 내부로 조사될 수 있도록 홀이 형성되고, 상기 레이저빔에 의하여 상기 음극의 표면에서 발생된 전자빔이 상기 홀을 통하여 배출되어 상기 하우징 외부에 위치하는 시료를 향하도록 마련된 양극; 및 상기 음극과 상기 양극 사이에 마련되며 상기 음극의 표면에서 발생된 전자빔을 가속함과 동시에 상기 홀로 집중시키는 정전렌즈(electrostatic lens);를 포함하는 것을 특징으로 하는 펨토초 전자빔 발생장치
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.