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거울 챔버 구동 장치

  • 기술번호 : KST2014043046
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 거울 챔버 구동 장치에 관한 것으로, 자동으로 빔의 각도를 조절할 수 있는 기술을 개시한다. 이를 위해, 본 발명은 전자빔 경로의 각도를 조절하고, 서로 평행하게 위치하는 제1 및 제2 거울과, 제1 및 제2 거울의 각도를 조절하여, 전자빔 경로의 각도를 조절하는 거울 각도 조절 모터와, 제1 및 제2 지점 각각으로부터 전자빔에 대응하는 제1 및 제2 검출 전류를 생성하는 검출부와, 제1 및 제2 검출 전류에 대응하는 제1 및 제2 검출 전압을 생성하는 전류-전압 변환부와, 제1 및 제2 검출 전압을 각각 제1 및 제2 기준 주파수로 변환하고, 제1 및 제2 검출 전압의 차에 대응하는 전압을 차동 주파수로 변환하는 전압-주파수 변환부 및 차동 주파수, 제1 및 제2 기준 주파수에 따라 거울 각도 조절 모터를 제어하는 각 산출부를 포함한다. 빔라인, 거울, 차동 주파수
Int. CL H05H 5/00 (2006.01)
CPC H05H 5/02(2013.01) H05H 5/02(2013.01) H05H 5/02(2013.01) H05H 5/02(2013.01)
출원번호/일자 1020090019320 (2009.03.06)
출원인 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1093121-0000 (2011.12.06)
공개번호/일자 10-2010-0100430 (2010.09.15) 문서열기
공고번호/일자 (20111213) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.03.06)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이채순 대한민국 경북 포항시 남구
2 서인득 대한민국 경북 포항시 남구
3 김승남 대한민국 경상북도 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.03.06 수리 (Accepted) 1-1-2009-0139008-04
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.06.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.07.16 수리 (Accepted) 9-1-2010-0045359-54
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.10.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0469564-23
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.12.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0845165-93
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.12.21 수리 (Accepted) 1-1-2010-0845164-47
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.06.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0320268-54
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.06.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0480333-96
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.06.23 수리 (Accepted) 1-1-2011-0480331-05
10 등록결정서
Decision to grant
2011.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0709338-19
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.06.13 수리 (Accepted) 4-1-2013-0025573-58
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5024386-11
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
전자빔을 반사시키는 제1 거울; 상기 제1 거울과 평행하게 위치하여 상기 제1 거울에서 반사된 전자빔을 목표 경로로 반사시키는 제2 거울; 상기 제1 및 제2 거울의 각도를 조절하여, 상기 전자빔의 경로를 조절하는 거울 각도 조절 모터; 상기 전자빔의 목표 경로에 수직하는 방향으로 위치하여 상기 전자빔에 대응하는 제1 검출 전류를 생성하는 제1 검출부; 상기 전자빔의 목표 경로에 수직하는 방향으로 상기 제1 검출부와 반대방향에 위치하여 상기 전자빔에 대응하는 제2 검출 전류를 생성하는 제2 검출부; 상기 제1 및 제2 검출 전류에 대응하는 제1 및 제2 검출 전압을 생성하는 전류-전압 변환부; 상기 제1 및 제2 검출 전압을 각각 제1 및 제2 기준 주파수로 변환하고, 상기 제1 및 제2 검출 전압의 차에 대응하는 전압을 차동 주파수로 변환하는 전압-주파수 변환부; 및 상기 차동 주파수, 상기 제1 및 제2 기준 주파수에 따라 상기 전자빔이 상기 목표 경로에서 벗어난 정도를 검출하여 상기 전자빔이 상기 목표 경로에 도달하도록 상기 거울 각도 조절 모터를 제어하는 각 산출부 를 포함하는 거울 챔버 구동 장치
2 2
제1 항에 있어서, 상기 제1 검출부의 위치 및 상기 제2 검출부의 위치는 상기 제1 및 제2 거울의 회전 방향에 따라 상하 방향에 위치한 거울 챔버 구동 장치
3 3
제1 항에 있어서, 상기 각 산출부는 상기 제1 및 제2 기준 주파수를 동일한 값으로 초기 설정하고, 상기 제1 및 제2 기준 주파수의 변화량에 따라 상기 전자빔의 이동 방향이 변화되도록 상기 거울 각도 조절 모터를 제어하는 거울 챔버 구동 장치
4 4
제3 항에 있어서, 상기 각 산출부는 상기 제1 기준 주파수가 증가하고, 상기 제2 기준 주파수가 감소하면 상기 전자빔의 방향이 하측으로 이동하도록 상기 거울 각도 조절 모터를 제어하는 거울 챔버 구동 장치
5 5
제3 항에 있어서, 상기 각 산출부는 상기 제1 기준 주파수가 감소하고, 상기 제2 기준 주파수가 증가하면 상기 전자빔의 방향이 상측으로 이동하도록 상기 거울 각도 조절 모터를 제어하는 거울 챔버 구동 장치
6 6
제1 항에 있어서, 상기 각 산출부는 상기 차동 주파수의 변화량에 대응하는 각도를 산출하여 상기 전자빔의 각도가 상기 산출된 각도로 변경되도록 상기 거울 각도 조절 모터를 제어하는 거울 챔버 구동 장치
7 7
제6 항에 있어서, 상기 산출된 각도는 상기 차동 주파수의 변화량에 비례하는 거울 챔버 구동 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.