| 1 |
1
가속기라인 중 SAXS 빔 라인의 진공챔버 내에 설치되며,
Z축 방향으로 작동되는 Z스테이지;
상기 Z스테이지에 장착되어 X축 방향으로 작동되는 X스테이지;
상기 X스테이지에 X축을 중심으로 회전 가능하게 장착되는 회전각 조절판;
상기 회전각 조절판에 장착되는 제1 미러;
상기 제1 미러와 Y축 방향으로 거리를 유지하고 Z축 방향으로 간격을 유지하며 서로 어긋나게 마주하는 제2 미러; 및
상기 제2 미러를 장착하고 상기 X스테이지에 장착되어 Z축 방향으로 작동되어 상기 간격을 조절하는 간격 조절판
을 포함하는 더블 멀티레이어 모노크로미터
|
| 2 |
2
제1 항에 있어서,
상기 Z스테이지는,
상기 진공챔버에 고정되는 고정부,
상기 고정부에 슬라이드 이동 가능하게 결합되는 가동부, 및
상기 고정부에 장착되고 일단으로 상기 가동부에 연결되어 전후진 작동하는 Z모터
를 포함하는 더블 멀티레이어 모노크로미터
|
| 3 |
3
제2 항에 있어서,
상기 Z스테이지는,
상기 Z모터의 반대측에서 상기 고정부에 장착되고 일단으로 상기 가동부에 연결되어 변위량을 측정하는 Z차동전압계
를 더 포함하는 더블 멀티레이어 모노크로미터
|
| 4 |
4
제2 항에 있어서,
상기 X스테이지는,
상기 Z스테이지에 장착되는 고정부,
상기 고정부에 슬라이드 이동 가능하게 결합되는 가동부, 및
상기 고정부에 장착되고 일단으로 상기 가동부에 연결되어 전후진 작동하는 X모터
를 포함하는 더블 멀티레이어 모노크로미터
|
| 5 |
5
제4 항에 있어서,
상기 X스테이지는,
상기 X모터의 반대측에서 상기 고정부에 장착되고 일단으로 상기 가동부에 연결되어 변위량을 측정하는 X차동전압계
를 더 포함하는 더블 멀티레이어 모노크로미터
|
| 6 |
6
제4 항에 있어서,
상기 제1 미러는,
상기 X스테이지의 가동부에 제1 홀더를 개재하여 장착되는 더블 멀티레이어 모노크로미터
|
| 7 |
7
제4 항에 있어서,
상기 회전각 조절판은,
상기 X스테이지에 장착되는 회전각모터의 일단에 연결되는 더블 멀티레이어 모노크로미터
|
| 8 |
8
제1 항에 있어서,
상기 간격 조절판은,
상기 X스테이지에 장착되는 간격모터의 일단에 연결되는 더블 멀티레이어 모노크로미터
|
| 9 |
9
제8 항에 있어서,
상기 제2 미러는,
상기 간격 조절판에 제2 홀더를 개재하여 장착되는 더블 멀티레이어 모노크로미터
|
| 10 |
10
제1 항에 있어서,
상기 제1 미러 및 상기 제2 미러는,
크리스탈로 형성되는 더블 멀티레이어 모노크로미터
|
| 11 |
11
제2, 제4 중 어느 한 항에 있어서,
상기 모터들은 진공모터로 형성되는 더블 멀티레이어 모노크로미터
|
| 12 |
12
제7, 제8 중 어느 한 항에 있어서,
상기 모터들은 피코모터로 형성되는 더블 멀티레이어 모노크로미터
|
