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원자층 증착을 이용한 엑스선（Ｘ­ｒａｙ）／감마선（γ­ｒａｙ）집속 광학계의 제조방법

  • 기술번호 : KST2014043048
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 엑스선/감마선 집속 광학계의 제조 방법에 관한 것으로서, 모세관 기판을 제공하는 단계; 및 상기 모세관 기판의 내부 표면상에 각각 엑스선/감마선 불투명 물질과 엑스선/감마선 투명 물질로 이루어진 복수의 교대 층들을 프레넬 형식에 따라 원자층 증착에 의해 순차적으로 퇴적하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스선/감마선 광학계의 제조 방법을 제공한다.
Int. CL G21K 7/00 (2006.01) C23C 16/44 (2006.01) C23C 16/30 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020100138051 (2010.12.29)
출원인 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1195415-0000 (2012.10.23)
공개번호/일자 10-2012-0092745 (2012.08.22) 문서열기
공고번호/일자 (20121029) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.12.29)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정지원 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 제정호 대한민국 서울특별시 송파구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박상훈 대한민국 서울특별시 영등포구 선유로 *길 **, **층 ****호 (문래동*가, 문래 sk v*센터)(새생명특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 경상북도 포항시 남구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2010-0872923-17
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2011.03.31 수리 (Accepted) 1-1-2011-0233990-35
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.08.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.09.20 수리 (Accepted) 9-1-2011-0077905-13
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.02.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0095950-07
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.04.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0316341-38
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.04.20 수리 (Accepted) 1-1-2012-0316300-77
8 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2012.04.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0250121-11
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.04.30 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2012-0345938-54
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.04.30 수리 (Accepted) 1-1-2012-0345877-67
11 보정요구서
Request for Amendment		 2012.05.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2012-0058422-46
12 [출원서등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)		 2012.05.15 수리 (Accepted) 1-1-2012-0384450-34
13 등록결정서
Decision to grant		 2012.09.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0584319-43
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.13 수리 (Accepted) 4-1-2013-0025573-58
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5024386-11
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
엑스선/감마선 집속 광학계의 제조 방법으로서, 모세관 기판을 제공하는 단계; 및상기 모세관 기판의 내부 표면상에 엑스선/감마선 불투명 물질과 엑스선/감마선 투명 물질로 이루어진 복수의 교대 층을 프레넬 형식에 따라 원자층 증착에 의해 순차적으로 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스선/감마선 집속 광학계의 제조 방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 복수의 교대 층을 형성하는 단계에서, 상기 모세관 기판의 내부 표면에 인접한 최초 층이 최소 두께를 갖고, 상기 모세관 기판의 내부 표면으로부터 가장 멀리 떨어진 최종 층이 최대 두께를 갖도록 각 층의 두께가 제어되는 것을 특징으로 하는 엑스선/감마선 집속 광학계의 제조 방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 원자층 증착은 상기 엑스선/감마선 불투명 물질과 상기 엑스선/감마선 투명 물질 중에서 선택된 피증착 물질의 전구체 가스를 상기 모세관 내부에 주입하여 상기 모세관 내부의 증착 대상 표면상에 상기 전구체 가스를 흡착시키는 단계;상기 모세관 내부에 주입된 상기 전구체 가스 중 상기 모세관 내부의 증착 대상 표면상에 흡착되지 않은 잔류 가스를 상기 모세관 내부로부터 제거하는 단계;상기 전구체 가스와 반응하여 상기 피증착 물질에 이르게 하는 반응 가스를 상기 모세관 내부에 주입하여 상기 모세관 내부의 증착 대상 표면상에 상기 반응 가스를 흡착시키는 단계; 및상기 모세관 내부에 주입된 상기 반응 가스 중 상기 모세관 내부의 증착 대상 표면상에 흡착되지 않은 반응 가스를 상기 모세관 내부로부터 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스선/감마선 집속 광학계의 제조 방법
4 4
제3항에 있어서, 상기 엑스선/감마선 불투명 물질은 루테늄(Ru)이고, 상기 루테늄의 전구체 가스는 RuCp2, Ru(EtCp)2, Ru(od)3 및 Ru(thd)3 중에서 선택되고, 상기 RuCp2의 반응가스는 공기 및 산소 중에서 선택되고, 상기 Ru(EtCp)2의 반응 가스는 산소 및 NH3 플라즈마 중에서 선택되고, 상기 Ru(od)3의 반응가스는 산소이고, 상기 Ru(thd)3의 반응가스는 공기 , 산소 및 수소 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 엑스선/감마선 집속 광학계의 제조 방법
5 5
제3항에 있어서, 상기 엑스선/감마선 불투명 물질은 백금(Pt)이고, 상기 Pt의 전구체 가스는 MeCpPtMe3 및 Pt(acac)2 중에서 선택되고, 상기 MeCpPtMe3의 반응가스는 공기, 산소 및 수소 중에서 선택되고, 상기 Pt(acac)2의 반응가스는 산소와 수소 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 엑스선/감마선 집속 광학계의 제조 방법
6 6
제3항에 있어서, 상기 엑스선/감마선 불투명 물질은 이리듐(Ir)이고, 상기 Ir의 전구체 가스는 Ir(acac)3이고, 상기 Ir(acac)3의 반응가스는 공기, 산소 및 수소 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 엑스선/감마선 집속 광학계의 제조 방법
7 7
제3항에 있어서, 상기 엑스선/감마선 불투명 물질은 팔라듐(Pd)이고, 상기 Pd의 전구체 가스는 Pd(hfac)2, Pd(thd)2 및 Pd(keim2)2 중에서 선택되고, 상기 Pd(hfac)2의 반응가스는 수소 및 글리옥실산+Ar담체 중에서 선택되고, 상기 Pd(thd)2의 반응가스는 수소 및 산소 중에서 선택되고, 상기 Pd(keim2)2의 반응가스는 산소인 것을 특징으로 하는 엑스선/감마선 집속 광학계의 제조 방법
8 8
제3항에 있어서, 상기 엑스선/감마선 불투명 물질은 로듐(Rh)이고, 상기 Rh의 전구체 가스는 CpRh(CO)2 및 Rh(acac)3 중에서 선택되고, 상기 CpRh(CO)2의 반응 가스는 산소이고, 상기 Rh(acac)3의 반응가스는 산소인 것을 특징으로 하는 엑스선/감마선 집속 광학계의 제조 방법
9 9
제3항에 있어서, 상기 엑스선/감마선 투명 물질은 Al2O3이고, 상기 Al2O3의 전구체 가스는 Al(CH3)이고, 상기 Al(CH3)의 반응 가스는 H2O인 것을 특징으로 하는 엑스선/감마선 집속 광학계의 제조 방법
10 10
제3항에 있어서, 상기 모세관 기판은 원형 또는 직사각형의 횡단면을 갖는 것을 특징으로 하는 엑스선/감마선 집속 광학계의 제조 방법
11 11
제3항에 있어서, 상기 모세관 기판은 사다리꼴의 종단면을 갖는 것을 특징으로 하는 엑스선/감마선 집속 광학계의 제조 방법
12 12
제3항에 있어서, 상기 모세관 기판의 내부 표면의 표면 거칠기는 1㎚ 내지 10㎚ 이하인 것을 특징으로 하는 엑스선/감마선 집속 광학계의 제조 방법
13 13
제1항에 있어서, 상기 모세관 기판은 유리 또는 석영으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 엑스선/감마선 집속 광학계의 제조 방법
14 14
제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 엑스선/감마선 집속 광학계는 프레넬 존 플레이트 또는 다층박막라우에 렌즈인 것을 특징으로 하는 엑스선/감마선 집속 광학계의 제조 방법
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1 US09366786 US 미국 FAMILY
2 US20130280421 US 미국 FAMILY
3 WO2012091269 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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1 US2013280421 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US9366786 US 미국 DOCDBFAMILY
3 WO2012091269 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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