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십자형 그래핀 이종 접합구조체 및 그 제작 방법

  • 기술번호 : KST2014043319
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 십자형 그래핀 이종 접합구조체 및 그 제작 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 단겹 그래핀을 한층씩 원하는 위치에 수직 층상으로 접합할 수 있고, 그래핀 층간 저항 측정 및 이중겹 구조에서 나타날 수 있는 전하수송 특성을 측정하거나 그래핀 사이에 다른 원자층을 삽입하여 그래핀 소자의 전기적 특성을 인위적으로 제어할 수 있는 십자형 그래핀 이종 접합구조체 및 그 제작 기술에 대한 것이다.본 발명은 역학적 박리법에 의해 단겹으로 형성된 제1그래핀을 산화실리콘 막이 형성된 제1실리콘기판위에 부착시키고, 상기 제1실리콘기판에 부착된 상기 제1그래핀에 전자빔 리지스트인 폴리메칠메타크릴레이트를 코팅한 후 핫 플레이트 위에서 베이킹을 통해 유리화하며, 수산화칼륨 수용액에 상기 폴리메칠메타크릴레이트가 코팅된 상기 제1실리콘기판을 담궈 폴리메칠메타크릴레이트층을 상기 제1실리콘기판으로부터 분리한 후, 상기 분리된 폴리메칠메타크릴레이트층을, 제2실리콘기판에 역학적 박리법에 의해 형성되어있는 제2그래핀 구조 위로, 십자 접합 구조 형태가 되도록 위치 이동해서 정렬시키고, 상기 폴리메칠메타크릴레이트층을 아세톤으로 제거하여 형성되는 것이 바람직하다.또한 본 발명은 역학적 박리법에 의해 단겹으로 형성된 제1그래핀을 산화실리콘 막이 형성된 제1실리콘기판위에 부착시키는 단계와, 상기 제1실리콘기판에 부착된 상기 제1그래핀에 전자빔 리지스트인 폴리메칠메타크릴레이트를 코팅한 후 핫 플레이트 위에서 베이킹을 통해 유리화하는 단계와, 수산화칼륨 수용액에 상기 폴리메칠메타크릴레이트가 코팅된 상기 제1실리콘기판을 담궈 폴리메칠메타크릴레이트층을 상기 제1실리콘기판으로부터 분리하는 단계와, 상기 분리된 폴리메칠메타크릴레이트층을, 제2실리콘기판에 역학적 박리법에 의해 형성되어있는 제2그래핀 구조 위로, 십자 접합 구조 형태가 되도록 위치 이동해서 정렬시키는 단계와, 상기 폴리메칠메타크릴레이트층을 아세톤에 녹여 제거함으로써 그래핀 이중겹 십자 접합 구조 형태를 완성시키는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
Int. CL C01B 31/02 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01) H01B 1/04 (2006.01)
CPC C01B 32/19(2013.01) C01B 32/19(2013.01) C01B 32/19(2013.01) C01B 32/19(2013.01) C01B 32/19(2013.01) C01B 32/19(2013.01) C01B 32/19(2013.01) C01B 32/19(2013.01)
출원번호/일자 1020100059936 (2010.06.24)
출원인 건국대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1156478-0000 (2012.05.22)
공개번호/일자 10-2011-0139863 (2011.12.30) 문서열기
공고번호/일자 (20120613) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.06.24)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 건국대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 광진구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이상욱 대한민국 서울특별시 광진구
2 김준성 대한민국 경상북도 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 구현서 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **-**(서초동)(특허법인키)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 건국대학교 산학협력단 서울특별시 광진구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.06.24 수리 (Accepted) 1-1-2010-0406324-26
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.11.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0648342-38
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.01.02 수리 (Accepted) 1-1-2012-0002537-59
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.01.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0002535-68
5 등록결정서
Decision to grant		 2012.05.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0291408-14
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.01 수리 (Accepted) 4-1-2012-5116974-69
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번호 청구항
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역학적 박리법에 의해 단겹으로 형성된 제1그래핀을 산화실리콘 막이 형성된 제1실리콘기판위에 부착시키는 단계와;상기 제1실리콘기판에 부착된 상기 제1그래핀에 전자빔 리지스트인 폴리메칠메타크릴레이트를 코팅한 후 핫 플레이트 위에서 베이킹을 통해 유리화하는 단계와;수산화칼륨 수용액에 상기 폴리메칠메타크릴레이트가 코팅된 상기 제1실리콘기판을 담궈 폴리메칠메타크릴레이트층을 상기 제1실리콘기판으로부터 분리하는 단계와;상기 분리된 폴리메칠메타크릴레이트층을, 제2실리콘기판에 역학적 박리법에 의해 형성되어있는 제2그래핀 구조 위로, 십자 접합 구조 형태가 되도록 위치 이동해서 정렬시키는 단계와;상기 폴리메칠메타크릴레이트층을 아세톤에 녹여 제거함으로써 그래핀 이중겹 십자 접합 구조 형태를 완성시키는 단계;로 이루어지되,상기 수산화칼륨 수용액에 상기 폴리메칠메타크릴레이트가 코팅된 실리콘기판을 담궈 상기 폴리메칠메타크릴레이트층을 기판으로부터 분리하는 단계는,수산화칼륨 수용액을 70℃ ~ 90℃로 중탕을 통해 가열한 후 기판을 넣어 상기 폴리메칠메타크릴레이트층을 분리시키는 단계이고,상기 폴리메칠메타크릴레이트를 아세톤에 녹여 제거함으로써 그래핀 이중겹 십자 접합 구조 형태를 완성시키는 단계는,30℃ ~ 50℃로 가열한 아세톤에 기판을 넣어 상기 폴리메칠메타크릴레이트를 제거하는 단계이며,상기 그래핀 이중겹 십자 접합 구조 상에 4탐침 전기전도성 측정을 위해 다수개의 전극을 리소그래피로 형성하며, 상기 그래핀 이중겹 십자 접합 구조 형태의 층간에 전자/광소자 제작을 위한 전도성 또는 비전도성 또는 반도체성 나노 물질을 삽입 또는 표면처리하는 것을 특징으로 하는 십자형 그래핀 이종 접합구조체 제작 방법
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부(2) 건국대학교 산학협력단 중견연구자지원사업 (핵심연구) ZnO 나노선을 이용한 나노 자가 발전 회로의 개발과 에너지효율성에 대한 연구