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유도용 레이저 빔을 대상체에 조사하여 초음파 신호 및 포논 신호를 유도하는 초음파 및 포논 신호 유도 모듈;검출용 레이저 빔을 상기 대상체에 조사하여 상기 초음파 신호를 검출하는 초음파 신호 검출 모듈;상기 유도용 레이저 빔을 이용하여 상기 포논 신호를 검출하는 포논 신호 검출 모듈; 및상기 초음파 신호 검출 모듈에서 검출한 초음파 신호 및 상기 포논 신호 검출 모듈에서 검출한 포논 신호를 분석하는 초음파 및 포논 신호 분석 모듈을 포함하여 구성되는 레이저를 이용하는 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 유도용 레이저는 극초단 펄스 레이저인 것을 특징으로 하는 레이저를 이용하는 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 초음파 및 포논 신호 유도 모듈은 상기 유도용 레이저 중 파장이 짧은 빔이 파장이 긴 빔보다 앞서 가도록 경로차를 형성하여 상기 유도용 레이저 빔의 분산 값을 제어하는 것을 특징으로 하는 레이저를 이용하는 검사 장치
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제3항에 있어서,상기 유도용 레이저 빔의 분산 값을 제어하는 것은 상기 경로차를 형성하는 복수의 프리즘 및 빔의 진행 방향을 전환하는 복수의 거울을 이용하는 것을 특징으로 하는 레이저를 이용하는 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 초음파 신호 검출 모듈은 상기 초음파 신호를 이용한 간섭을 형성하는 간섭계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 레이저를 이용하는 검사 장치
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제5항에 있어서,상기 초음파 신호 검출 모듈을 구성하는 상기 간섭계는 적응형 홀로그래피 간섭계인 것을 특징으로 하는 레이저를 이용하는 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 포논 신호 검출 모듈은 상기 포논 신호와 관련된 상기 대상체의 굴절률 변화를 검출하는 것을 특징으로 하는 레이저를 이용하는 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 초음파 및 포논 신호 분석 모듈은 상기 초음파 신호에 대한 평균값을 이용하여 상기 초음파 신호를 분석하는 것을 특징으로 하는 레이저를 이용하는 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 초음파 및 포논 신호 분석 모듈은 상기 포논 신호와 관련된 상기 대상체의 굴절률 변화를 반복적으로 검출하여 분석하는 것을 특징으로 하는 레이저를 이용하는 검사 장치
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유도용 레이저 빔을 대상체에 조사하여 초음파 신호 및 포논 신호를 유도하는 단계;검출용 레이저 빔을 상기 대상체에 조사하여 상기 초음파 신호를 검출하는 단계;상기 유도용 레이저 빔을 이용하여 상기 포논 신호를 검출하는 단계; 및상기 검출한 초음파 신호 및 상기 포논 신호를 분석하는 단계를 포함하여 구성되는 레이저를 이용하는 검사 방법
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제10항에 있어서,상기 초음파 신호 및 포논 신호를 유도하는 단계는 상기 유도용 레이저 중 파장이 짧은 빔이 파장이 긴 빔보다 앞서 가도록 경로차를 형성하여 상기 유도용 레이저 빔의 분산 값을 제어하는 것을 특징으로 하는 레이저를 이용하는 검사 방법
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제10항에 있어서,상기 초음파 신호를 검출하는 단계는 상기 초음파 신호를 이용한 간섭을 형성하는 간섭계를 이용하는 것을 특징으로 하는 레이저를 이용하는 검사 방법
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제10항에 있어서,상기 포논 신호를 검출하는 단계는 상기 포논 신호와 관련된 상기 대상체의 굴절률 변화를 검출하는 것을 특징으로 하는 레이저를 이용하는 검사 방법
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제10항에 있어서,상기 검출한 초음파 신호 및 상기 포논 신호를 분석하는 단계는 상기 초음파 신호에 대한 평균값을 이용하여 상기 초음파 신호를 분석하는 것을 특징으로 하는 레이저를 이용하는 검사 방법
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제10항에 있어서,상기 검출한 초음파 신호 및 상기 포논 신호를 분석하는 단계는 상기 포논 신호와 관련된 상기 대상체의 굴절률 변화를 반복적으로 검출하여 분석하는 것을 특징으로 하는 레이저를 이용하는 검사 방법
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