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박막 유지방법 및 이를 이용한 기판제조물

  • 기술번호 : KST2014043552
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 기판에 증착되어 공기에 노출시 쉽게 휘발되거나 박리되는 물질을 안정적으로 유지시킬 수 있는 박막 유지방법 및 이를 이용한 기판제조물이 개시된다. 본 발명에 따른 박막 유지방법은 기판상에 휘발성이 있는 주박막을 제공하는 단계, 그리고 상기 주박막이 휘발되지 않도록 상기 주박막을 밀봉하는 보호박막을 제공하는 단계를 포함한다. 이와 같은 구성에 의하면, 기판을 이용한 다양한 제품의 제작하는 경우 기판에 휘발성이 있거나 공기에 노출되었을 때 쉽게 박리되는 물질을 증착했을 때, 휘발 또는 박리를 차단함으로써, 상기 물질을 안정적으로 유지하고, 기판제조물의 품질을 향상시킬 수 있다.
Int. CL H01L 21/20 (2006.01)
CPC H01L 21/02494(2013.01) H01L 21/02494(2013.01) H01L 21/02494(2013.01)
출원번호/일자 1020100008532 (2010.01.29)
출원인 한국원자력연구원
등록번호/일자 10-1081660-0000 (2011.11.02)
공개번호/일자 10-2011-0088833 (2011.08.04) 문서열기
공고번호/일자 (20111109) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.01.29)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국원자력연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 하장호 대한민국 대전광역시 서구
2 강상묵 대한민국 서울특별시 광진구
3 박세환 대한민국 대전광역시 유성구
4 김한수 대한민국 경기도 양주시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 무한 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(역삼동,화물재단빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국원자력연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.01.29 수리 (Accepted) 1-1-2010-0064509-43
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.05.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.06.17 수리 (Accepted) 9-1-2011-0052183-14
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.06.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0358148-18
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.08.29 수리 (Accepted) 1-1-2011-0669450-51
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.09.28 수리 (Accepted) 1-1-2011-0757161-58
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.09.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0757159-66
8 등록결정서
Decision to grant
2011.10.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0636664-09
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.06.22 수리 (Accepted) 4-1-2012-5134067-95
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.09.16 수리 (Accepted) 4-1-2014-5109542-64
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판상에 보조박막을 고리형 또는 다각형의 형상으로 형성하는 단계;상기 보조박막의 내부에 휘발성이 있는 주박막을 보조박막과 동일한 두께로 주입하여 주박막을 형성하는 단계; 및상기 주박막이 공기와 접촉하여 휘발, 또는 박리 등과 같은 박막 손상이 발생되지 않도록 상기 주박막의 상단에 덮개박막을 형성하는 단계;를 포함하는 박막 유지방법
2 2
제1항에 있어서,상기 보조박막을 형성하는 단계, 상기 주박막을 형성하는 단계, 및 상기 덮개박막을 형성하는 단계는 진공 상태에서 실시되는 것을 특징으로 하는 박막 유지방법
3 3
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 주박막 하단에 위치한 베이스박막을 형성하는 단계를 더 포함하며, 상기 베이스박막을 형성하는 단계는 상기 보조박막을 형성하는 단계보다 먼저 실시되는 것을 특징으로 하는 박막 유지방법
4 4
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5 5
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6 6
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7 7
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8 8
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.