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캔틸레버, 상기 캔틸레버에 결합된 팁, 상기 캔틸레버의 상부에 이격되어 위치한 광원을 포함하는 탐침 현미경의 랜딩 방법에 있어서,
상기 광원을 이용하여 상기 캔틸레버에 빛을 조사하는 단계;
상기 캔틸레버의 모서리에서 회절되어 샘플 표면에 입사되는 빛에 의하여 발생한 간섭 무늬를 수집하는 단계;
상기 간섭무늬의 패턴이 기설정된 패턴 영역에 도달할 때까지 상기 팁을 상기 샘플방향으로 제 1 구동시키는 단계; 및
상기 간섭무늬의 패턴이 상기 기설정된 패턴영역에 도달한 후 상기 팁을 상기 샘플방향으로 제 2 구동시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 탐침 현미경의 자동 랜딩 방법
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제 1항에 있어서,
상기 제 1 구동은 가감속 프로파일에 따라 수행되는 것을 특징으로 하는 탐침 현미경의 자동 랜딩 방법
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제 1항에 있어서,
상기 제 1 구동 단계는 상기 캔틸레버에 연결된 코어스 스테이지를 이용하여 수행되는 것을 특징으로 하는 탐침 현미경의 자동 랜딩 방법
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4
제 1항에 있어서,
상기 제 2 구동은 상기 캔틸레버에 연결된 미세 스테이지를 이용하여 수행되는 것을 특징으로 하는 탐침 현미경의 자동 랜딩 방법
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제 1항에 있어서,
상기 제 1 구동단계에서 간섭 무늬 수집과 팁의 구동은 동시에 진행되며, 수집된 상기 간섭무늬를 이용하여 상기 팁의 구동을 피드백 제어하는 것을 특징으로 하는 탐침 현미경의 자동 랜딩 방법
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6
제 1항에 있어서,
상기 제 2 구동단계에서 PSD(Photo Sensitive Device) 신호를 이용하여 상기 팁의 구동을 피드백 제어하는 것을 특징으로 하는 탐침 현미경의 자동 랜딩 방법
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제 1항에 있어서,
상기 수집된 간섭무늬를 이용하여 상기 팁과 샘플 간의 거리를 하기 수학식에 따라 계산하여 사용자에게 제공하는 것을 특징으로 하는 탐침 현미경의 자동 랜딩 방법
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캔틸레버 및 상기 캔틸레버의 결합된 팁을 포함하는 탐침 현미경에 있어서,
상기 탐침 현미경의 캔틸레버에 빛을 조사하는 광원부;
상기 캔틸레버의 모서리에서 회절되어 샘플표면으로 입사되는 레이저 빔에 의하여 발생하는 간섭 무늬를 수집하는 영상 정보 수집부;
기 설정된 간섭무늬 패턴과 상기 영상 정보 수집부에 의하여 수집된 간섭무늬 패턴을 비교하여, 상기 팁의 동작 프로파일을 결정하고, 이에 따라 팁의 구동신호를 하기 랜딩부에 제공하는 제어부; 및
상기 제어부로부터의 구동신호에 따라 상기 팁을 구동시키는 랜딩부를 포함하는 것을 특징으로 하는 탐침 현미경의 자동 랜딩 장치
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제 8항에 있어서,
상기 제어부는 만약 상기 수집된 간섭무늬 패턴이 상기 기설정된 간섭무늬 패턴에 도달하지 못하는 경우 제 1 구동신호를 상기 랜딩부에 제공하고, 상기 수집된 간섭무늬 패턴이 상기 기설정된 간섭무늬 패턴에 도달하는 경우 제 2 구동신호를 상기 랜딩부에 제공하는 것을 특징으로 하는 탐침 현미경의 자동 랜딩 장치
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10
제 9항에 있어서,
상기 제 1 구동신호는 상기 수집된 간섭무늬 패턴을 피드백 신호로 하여 제어되는 것을 특징으로 하는 탐침 현미경의 자동 랜딩 장치
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11
제 9항에 있어서,
상기 제 1 구동신호에 따라 상기 팁과 연결된 코어스 스테이지에 의하여 상기 팁이 구동되는 것을 특징으로 하는 탐침 현미경의 자동 랜딩 장치
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12
제 9항에 있어서,
상기 제 2 구동신호에 따라 상기 팁과 연결된 미세 스테이지에 의하여 상기 팁이 구동되는 것을 특징으로 하는 탐침 현미경의 자동 랜딩 장치
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제 8항에 있어서,
상기 제어부는 상기 팁과 샘플 표면 사이의 거리를 아래의 수학식을 이용하여 계산하는 것을 특징으로 하는 탐침 현미경의 자동 랜딩 장치
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