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단일 공정 전기증착법을 이용한 CZTS 박막의 제조방법

  • 기술번호 : KST2014043849
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 태양전지용 광 흡수층으로 활용될 수 있는 CZTS 박막의 합성 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 단일공정의 전기증착법을 통해 CZTS 전구체를 준비하는 단계; 및 상기 CZTS 전구체를 열처리하여 CZTS 박막을 형성하는 단계;를 포함하며, 상기 CZTS 전구체를 준비하는 단계:는 기판을 준비하는 제1단계; 일정 농도의 CuSO4, ZnSO4, SnSO4 및 Na2S2O3 로 이루어진 혼합 전해물이 구비된 전해조를 준비하는 제2단계; 및 상기 기판을 상기 전해조에 담근 후, 1회의 전기증착법을 통해 CZTS 전구체를 형성하는 제3단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 31/0445 (2014.01)
CPC H01L 31/0326(2013.01) H01L 31/0326(2013.01) H01L 31/0326(2013.01)
출원번호/일자 1020100005652 (2010.01.21)
출원인 전남대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1093663-0000 (2011.12.07)
공개번호/일자 10-2011-0085721 (2011.07.27) 문서열기
공고번호/일자 (20111215) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.01.21)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 전남대학교산학협력단 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김진혁 대한민국 광주광역시 북구
2 심바지 마하데브 파워 인도 광주광역시 북구
3 문종하 대한민국 광주광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인아이엠 대한민국 서울특별시 강남구 봉은사로 ***, ***호 (역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전남대학교산학협력단 대한민국 광주광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.01.21 수리 (Accepted) 1-1-2010-0042043-64
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.03.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0143414-72
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.05.16 수리 (Accepted) 1-1-2011-0361638-03
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.05.16 수리 (Accepted) 1-1-2011-0363132-59
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.05.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0361663-34
6 등록결정서
Decision to grant
2011.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0702284-34
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.07.23 수리 (Accepted) 4-1-2012-5157698-67
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000058-61
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.06.08 수리 (Accepted) 4-1-2015-5076218-57
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.07.07 수리 (Accepted) 4-1-2016-5093177-51
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.30 수리 (Accepted) 4-1-2018-5056463-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
단일공정의 전기증착법을 통해 CZTS(Cu2ZnSnS4) 전구체를 준비하는 단계; 및 상기 CZTS 전구체를 열처리하여 CZTS(Cu2ZnSnS4) 박막을 형성하는 단계;를 포함하며,상기 CZTS(Cu2ZnSnS4) 전구체를 준비하는 단계:는기판을 준비하는 제1단계;일정 농도의 CuSO4, ZnSO4, SnSO4 및 Na2S2O3 로 이루어진 혼합 전해물이 구비된 전해조를 준비하는 제2단계; 및기준전극으로 사용되는 제1 전극, 불활성 카운터 전극으로 사용되는 제2전극 및 워킹전극으로 사용되는 제3전극인 상기 기판을 상기 전해조에 담근 후, 상기 기판에 Cu, Zn, Sn, S를 모두 증착시키기 위해 -0
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제 1 항에 있어서,상기 제1전극은 염화수은, 상기 제2전극은 백금, 상기 제3전극은 상기 기판을 이용하는 것을 특징으로 하는 단일공정 전기증착법을 이용한 CZTS 박막의 제조방법
5 5
제 1 항에 있어서,상기 기판은유리기판에 몰리브덴을 코팅하는 1-1단계;상기 1-1단계 이후, 세정제, 아세톤, 메탄올, 이소프로필 알코올 및 증류수의 혼합액을 이용하여 초음파 세척하는 1-2단계; 및상기 1-2단계 이후, 질소를 이용하여 건조시키는 1-3단계;를 통해 준비되는 것을 특징으로 하는 단일공정 전기증착법을 이용한 CZTS 박막의 제조방법
6 6
제 1 항에 있어서,상기 CuSO4, ZnSO4, SnSO4, Na2S2O3 의 농도는 각각 20mM, 10mM, 20mM, 20mM 로 이루어진 것을 특징으로 하는 단일공정 전기증착법을 이용한 CZTS 박막의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 열처리는 상기 전구체를 500~600℃의 아르곤 또는 질소를 포함하는 불활성 가스 분위기에서 일정시간 열처리한 후 냉각하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 단일공정 전기증착법을 이용한 CZTS 박막의 제조방법
8 8
제 1 항에 있어서,상기 전해조에는 Tri-sodium citrate 및 타르타르산의 혼합물이 더 포함되는 것을 특징으로 하는 단일공정 전기증착법을 이용한 CZTS 박막의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.