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복수의 열로 배열된 탄소나노튜브 실을 음극으로 구비하며, 상기 복수의 열로 배열된 탄소나노튜브 실에서 각각 전자를 방출하는 음극부;상기 음극부의 상부 또는 하부에 배치되며, 상기 음극부에서 방출된 상기 전자가 제1 면에 입사하면, 상기 제1 면에 반대되는 제2 면으로 전자빔 또는 엑스-레이가 발생되는 양극부;를 포함하되,상기 음극부는 복수의 열로 배열된 단위 음극부를 포함하며,상기 단위 음극부는,일정 간격 이격되게 설치되며, 마주보는 안쪽에 가이드 레일이 형성된 한 쌍의 음극 가이드 프레임; 및상기 한 쌍의 음극 가이드 프레임의 가이드 레일을 따라서 삽입되어 설치되며, 적어도 하나의 탄소나노튜브 실이 설치되는 복수의 탄소나노튜브 실 홀더;를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 실을 이용한 전자빔 또는 엑스-레이 발생 장치
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제1항에 있어서,상기 단위 음극부의 복수의 탄소나노튜브 실 홀더에 설치된 적어도 하나의 탄소나노튜브 실은 동일선상에 설치되는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 실을 이용한 전자빔 또는 엑스-레이 발생 장치
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제1항에 있어서, 상기 탄소나노튜브 실 홀더는,중심 부분에 설치창이 형성된 홀더 프레임; 및상기 설치창에 설치된 적어도 하나의 탄소나노튜브 실;을 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 실을 이용한 전자빔 또는 엑스-레이 발생 장치
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제4항에 있어서,상기 탄소나노튜브 실 홀더에는 복수의 탄소나노튜브 실이 설치되며, 상기 복수의 탄소나노튜브 실은 서로 평행하게 설치되는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 실을 이용한 전자빔 또는 엑스-레이 발생 장치
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제1항에 있어서, 상기 양극부는,상기 복수의 열로 배열된 단위 음극부에 대응되는 위치에 배열된 복수 열의 단위 양극부를 포함하며,상기 단위 양극부는,일정 간격 이격되게 설치되며, 마주보는 안쪽에 가이드 레일이 형성된 한 쌍의 양극 가이드 프레임;상기 한 쌍의 양극 가이드 프레임의 가이드 레일을 따라서 삽입되어 설치되는 복수의 양극판;을 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 실을 이용한 전자빔 또는 엑스-레이 발생 장치
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제6항에 있어서,상기 복수의 양극판은 상기 복수의 탄소나노튜브 실 홀더에 대응되는 위치에 배치되는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 실을 이용한 전자빔 또는 엑스-레이 발생 장치
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제6항에 있어서,상기 양극판은 몰리브덴(Mo), 구리(Cu), 텅스텐(W) 또는 이들 중 적어도 하나를 포함하는 얼로이(alloy) 소재의 기판 또는 유리 기판에 전기전도성 금속층이 형성된 기판을 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 실을 이용한 전자빔 또는 엑스-레이 발생 장치
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제8항에 있어서,상기 양극판으로 유리 기판에 전기전도성 금속층이 형성된 기판을 사용하는 경우, 상기 금속층에는 상기 탄소나노튜브 실 홀더의 탄소나노튜브 실에 대응되는 위치에 상기 유리 기판이 노출되는 슬릿(slit) 또는 메쉬(mesh) 형태의 홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 실을 이용한 전자빔 또는 엑스-레이 발생 장치
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제1항에 있어서, 상기 양극부는상기 음극부의 하부에 설치되는 제1 양극부;상기 음극부의 상부에 설치되는 제2 양극부;를 포함하며,상기 제1 및 제2 양극부는 상기 음극부를 중심으로 상하로 동일 간격으로 이격되게 설치된 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 실을 이용한 전자빔 또는 엑스-레이 발생 장치
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