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잉크젯 프린팅을 이용한 전자소자 제조방법

  • 기술번호 : KST2014044459
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 잉크젯 프린팅을 이용하여 미세 패턴을 형성하는 방법에 관한 것으로서, 세정된 기판을 준비하는 단계; 상기 기판 상에 미리 정해진 패턴을 따라 소수성 잉크를 잉크젯 프린팅하여 패터닝된 소수성 박막을 형성하는 단계; 및 상기 소수성 박막 상에 기능성 잉크를 잉크젯 프린팅하여 미세 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하며, 본 발명에 의한 잉크젯 프린팅을 이용한 미세 패턴 형성방법에 따르면 잉크젯으로 형성되는 패턴의 미세화를 위해 기판 전면에 대한 표면처리 공정이 불필요한 장점이 있다.
Int. CL H05K 3/12 (2006.01.01) B41M 5/00 (2006.01.01) C09D 11/52 (2014.01.01)
CPC H05K 3/125(2013.01) H05K 3/125(2013.01) H05K 3/125(2013.01)
출원번호/일자 1020090092616 (2009.09.29)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1116762-0000 (2012.02.08)
공개번호/일자 10-2011-0035062 (2011.04.06) 문서열기
공고번호/일자 (20120222) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.09.29)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 오제훈 대한민국 경기도 안양시 동안구
2 이동준 대한민국 경기도 안산시 상록구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인충현 대한민국 서울특별시 서초구 동산로 **, *층(양재동, 베델회관)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 에리카산학협력단 경기도 안산시 상록구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.09.29 수리 (Accepted) 1-1-2009-0600127-10
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2010.02.25 수리 (Accepted) 1-1-2010-0125755-22
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.05.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.06.11 수리 (Accepted) 9-1-2010-0034611-19
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.03.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0161521-71
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.05.19 수리 (Accepted) 1-1-2011-0372805-89
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.05.19 무효 (Invalidation) 1-1-2011-0372807-70
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.05.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0382135-86
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.05.23 수리 (Accepted) 1-1-2011-0382133-95
10 보정요구서
Request for Amendment		 2011.05.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2011-0047287-86
11 무효처분통지서
Notice for Disposition of Invalidation		 2011.07.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2011-0061421-37
12 등록결정서
Decision to grant		 2011.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0711658-17
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2014-5068294-39
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5022074-70
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
세정된 기판 상에 미리 정해진 패턴을 따라 소수성 잉크를 잉크젯 프린팅하여 패터닝된 소수성 박막을 형성하는 단계; 및 상기 소수성 박막 상에 기능성 잉크를 잉크젯 프린팅하여 미세 패턴을 형성하는 단계를 포함하고,상기 패터닝된 소수성 박막의 선폭은 상기 미세 패턴의 선폭과 같거나 큰 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅을 이용한 미세 패턴 형성방법
2 2
삭제
3 3
세정된 기판 상에 소수성 잉크를 잉크젯 프린팅하여 미리 정해진 패턴을 형성하기 위해 이용되는 소수성 뱅크를 형성하는 단계; 및상기 소수성 뱅크에 의해 구획된 영역에 기능성 잉크를 잉크젯 프린팅하여 미세 패턴을 형성하는 단계를 포함하고,상기 소수성 뱅크를 형성하는 단계는, 기 형성된 소수성 뱅크 상에 상기 소수성 잉크를 중첩 잉크젯 프린팅하여 상기 소수성 뱅크의 높이를 증가시키는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅을 이용한 미세 패턴 형성방법
4 4
삭제
5 5
제3항에 있어서,상기 미세 패턴을 형성하는 단계는, 상기 높이가 증가된 소수성 뱅크 사이에 상기 기능성 잉크를 잉크젯 프린팅함으로써 높이가 증가된 미세 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅을 이용한 미세 패턴 형성방법
6 6
제1항 또는 제3항에 있어서,상기 소수성 잉크는 테프론을 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅을 이용한 미세 패턴 형성방법
7 7
세정된 기판 상에 감광성 잉크를 잉크젯 프린팅하여 미리 정해진 패턴을 형성하기 위해 이용되는 감광성 뱅크를 형성하는 단계;상기 기판 상에 형성된 감광성 뱅크를 노광하여 경화시키는 단계;상기 감광성 뱅크에 의해 구획된 영역에 기능성 잉크를 잉크젯 프린팅하여 미세 패턴을 형성하는 단계; 및상기 감광성 뱅크 상에 에칭액을 잉크젯 프린팅하여 상기 감광성 뱅크를 제거하는 단계를 포함하는 잉크젯 프린팅을 이용한 미세 패턴 형성방법
8 8
제7항에 있어서,상기 감광성 뱅크를 형성하는 단계는, 기 형성된 감광성 뱅크 상에 상기 감광성 잉크를 중첩 잉크젯 프린팅하여 상기 감광성 뱅크의 높이를 증가시키는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅을 이용한 미세 패턴 형성방법
9 9
제8항에 있어서,상기 미세 패턴을 형성하는 단계는, 상기 높이가 증가된 감광성 뱅크 사이에 상기 기능성 잉크를 잉크젯 프린팅함으로써 높이가 증가된 미세 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅을 이용한 미세 패턴 형성방법
10 10
제7항에 있어서,상기 감광성 잉크는 포토레지스트를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅을 이용한 미세 패턴 형성방법
11 11
제1항, 제3항 또는 제7항 중 어느 한 항에 있어서,상기 잉크젯 프린팅 이전에 상기 세정된 기판을 가열하는 단계를 더 포함하고,상기 기판이 가열된 상태에서 하나 이상의 상기 잉크젯 프린팅이 이루어지는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅을 이용한 미세 패턴 형성방법
12 12
제1항, 제3항 또는 제7항 중 어느 한 항에 있어서,상기 미세 패턴을 형성하는 단계 이후에, 상기 기능성 잉크의 특성을 발현시키기 위한 후처리 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 패턴 형성방법
13 13
제1항, 제3항 또는 제7항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기능성 잉크는 전도성을 가지는 것을 특징으로 하는 미세 패턴 형성방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 중소기업청 산학연전국협의회 산학협력실 지원사업 수동소자를 포함한 FPCB 제조를 위한 Direct Writing 인쇄 기술 개발