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펄스 레이저 증착장치 및 이를 이용한 증착방법

  • 기술번호 : KST2014044673
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 레이저 빔을 발생시키는 레이저 발생부, 증착대상물과, 증착대상물에 증착될 복수 종류의 증착타겟재료들이 배치되는 진공 챔버, 레이저 발생부에서 발생되는 레이저 빔을, 증착타겟재료에 대응되는 복수 개의 레이저 빔들로 나누는 빔 분해기, 증착타겟재료에 대응되게 복수 개가 설치되며, 빔 분해기에 의해 나누어져 유입되는 레이저 빔들을 복수 개의 증착타겟재료들에 각각 집광 조사시키는 렌즈부들을 포함하는 펄스 레이저 증착장치를 제공한다.이와 같이, 펄스 레이저 증착장치 및 이를 이용한 증착방법은, 진공 챔버 내부에 복수 종류의 증착타겟재료들을 배치한 상태에서, 레이저 발생부로부터 발생된 레이저 빔을 빔 분해기로 증착타겟재료 개수에 대응되게 나눈 후, 가변감쇄기들을 통해 시간에 따라 출력이 각각 변화되는 상태로 증착타겟재료들에 집광 조사되게 한다. 따라서, 증착타겟재료들에서 발생되는 원자증기가 증착대상물에 증착되면서 발생되는 증착층은, 깊이에 따라 복수 종류의 증착타겟재료들의 성분비율이 변화하는 다층으로 형성되는 바, 상호 접촉 강도가 낮은 증착타겟재료들도 증착대상물에 안정적으로 증착할 수 있게 된다.
Int. CL H01L 21/203 (2006.01) C23C 14/28 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020100068617 (2010.07.15)
출원인 울산과학기술원 산학협력단
등록번호/일자 10-1219225-0000 (2012.12.31)
공개번호/일자 10-2012-0007854 (2012.01.25) 문서열기
공고번호/일자 (20130118) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.07.15)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 울산과학기술원 산학협력단 대한민국 울산광역시 울주군

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 기형선 대한민국 울산광역시 울주군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인태백 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** 이노플렉스 *차 ***호

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 울산과학기술원 울산광역시 울주군
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.07.15 수리 (Accepted) 1-1-2010-0458036-34
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.02.09 수리 (Accepted) 4-1-2011-5023649-42
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.02.25 수리 (Accepted) 4-1-2011-5036213-54
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.05.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.06.15 수리 (Accepted) 9-1-2011-0049017-83
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.08.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0478067-99
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.10.21 수리 (Accepted) 1-1-2011-0825717-62
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.11.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0880027-01
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.11.08 수리 (Accepted) 1-1-2011-0880028-46
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2012.04.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0213004-76
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.05.09 수리 (Accepted) 1-1-2012-0370247-00
12 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2012.05.09 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2012-0370248-45
13 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2012.05.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0297334-74
14 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.06.25 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2012-0505167-78
15 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.06.25 수리 (Accepted) 1-1-2012-0505168-13
16 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.07.27 수리 (Accepted) 1-1-2012-0602469-59
17 등록결정서
Decision to Grant Registration
2012.12.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0788964-01
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.01.07 수리 (Accepted) 4-1-2013-5002604-31
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.12.31 수리 (Accepted) 4-1-2015-5176347-51
20 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2016.03.22 수리 (Accepted) 1-1-2016-0275469-15
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
레이저 빔을 발생시키는 레이저 발생부와;증착대상물과, 상기 증착대상물에 증착될 복수 종류의 증착타겟재료들이 배치되는 진공 챔버와;상기 레이저 발생부에서 발생되는 상기 레이저 빔을, 상기 증착타겟재료에 대응되는 복수 개의 상기 레이저 빔들로 나누는 빔 분해기와;상기 증착타겟재료에 대응되게 복수 개가 설치되며, 상기 빔 분해기에 의해 나누어져 유입되는 상기 레이저 빔들을 상기 복수 개의 증착타겟재료들에 각각 집광 조사시키는 렌즈부들과;각각의 상기 빔 분해기와 상기 렌즈부 사이에는 상기 증착타겟재료에 대한 상기 레이저 빔의 조사되는 출력을 조절하는 복수 개의 가변감쇄기들; 및,상기 증착대상물에 증착되는 상기 증착타겟재료의 증착층이, 깊이에 따라 상기 복수 종류의 증착타겟재료들의 성분 비율이 변화되게 상기 레이저 빔의 시간에 따른 출력을 조절하도록 상기 가변감쇄기들을 제어하면서 상호 접촉강도가 낮은 상기 증착타겟재료들도 증착되게 하는 제어부를 구비하며,상기 복수 종류의 증착타겟재료는 제1증착타겟재료 및 제2증착타겟재료를 포함하며, 상기 복수 개의 가변감쇄기들은 상기 제1증착타겟재료에 대응되는 제1가변감쇄기, 및 상기 제2증착타겟재료에 대응되는 제2가변감쇄기를 포함하여, 상기 제어부가 상기 제1가변감쇄기를 통한 상기 레이저 빔의 출력이 점차 증가하도록 제어하고, 상기 제2가변감쇄기를 통한 레이저 빔의 출력이 점차 감소하도록 제어하게 되는데,상기 증착대상물과, 상기 증착대상물에 증착될 복수 종류의 증착타겟재료들을 진공 챔버 내부에 배치하는 단계와;상기 레이저 발생기를 통해 레이저 빔을 발생시키는 단계와;상기 빔 분해기를 이용하여 상기 레이저 빔을 상기 증착타겟재료들의 개수에 대응되는 복수 개로 나누어 출력시키는 단계와;상기 증착타겟재료들에 대응되도록 설치되는 복수 개의 가변감쇄기들을 제어하여, 상기 빔 분해기를 통해 복수 개로 나누어 출력되는 상기 레이저 빔들의 시간에 따른 출력을 변화시켜 상기 증착타겟재료들에 집광 조사하는 단계; 및,상기 레이저 빔의 집광 조사에 의해 각각의 상기 증착타겟재료에서 발생되는 원자증기가 상기 증착대상물의 표면에 증착하는 단계를 거치면서 상기 증착대상물에 상기 증착타겟재료를 증착시키고,상기 집광 조사하는 단계에서, 상기 증착대상물의 증착층이, 깊이에 따라 상기 복수 종류의 증착타겟재료들의 성분 비율이 변화하도록 상기 가변감쇄기들을 제어하면서 상호 접촉강도가 낮은 상기 증착타겟재료들도 상기 증착대상물에 증착되게 하고, 상기 증착대상물은 스테인리스 스틸이며, 상기 증착타겟재료는 흑연 및 DLC(Diamond-Like Carbon)이며, 상기 흑연에 조사되는 상기 레이저 빔이 상기 가변감쇄기에 의해 시간에 따라 출력이 점차 감소하도록 제어되며, 상기 DLC에 조사되는 상기 레이저 빔이 상기 가변감쇄기에 의해 시간에 따라 출력이 점차 증대하도록 제어하는 펄스 레이저 증착장치
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삭제
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청구항 1에 있어서,상기 레이저 빔은 피코초 레이저 빔인 펄스 레이저 증착장치
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1 US20130180960 US 미국 FAMILY
2 WO2012008729 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY
3 WO2012008729 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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1 US2013180960 US 미국 DOCDBFAMILY
2 WO2012008729 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
3 WO2012008729 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 울산과학기술대학교 신진연구 연구장비 지원사업 피코초 레이저 크로스 빔 펄스레이저 증착법의 개발 및 경사기능성 코팅/박막의 제작