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루테늄 전구체, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법

  • 기술번호 : KST2014044796
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 하기 화학식 1로 표시되는 루테늄 전구체에 관한 것으로, 상기 루테늄 전구체는 열적 안정성과 휘발성이 향상되고, 박막 증착 시 산소를 사용하지 않아도 되는 장점이 있어 양질의 루테늄 박막을 형성할 수 있다.[화학식 1](상기 식에서, R1-R12는 각각 독립적으로 H이거나, C1-C4의 선형 또는 분지형 알킬기다.)
Int. CL C07F 15/00 (2006.01) C07B 61/00 (2006.01)
CPC C07F 15/0046(2013.01) C07F 15/0046(2013.01)
출원번호/일자 1020120136558 (2012.11.28)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-1470905-0000 (2014.12.03)
공개번호/일자 10-2014-0068719 (2014.06.09) 문서열기
공고번호/일자 (20141209) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.11.28)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박보근 대한민국 강원 원주시 남원로***번길 *
2 정택모 대한민국 대전 유성구
3 김창균 대한민국 대전 유성구
4 전동주 대한민국 대전 유성구
5 정은애 대한민국 대구 북구
6 정석종 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 한양특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 한양빌딩 (도곡동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.11.28 수리 (Accepted) 1-1-2012-0988230-07
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.11.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.12.17 수리 (Accepted) 9-1-2013-0106881-44
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.01.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0040835-56
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.03.20 수리 (Accepted) 1-1-2014-0267210-07
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.04.21 수리 (Accepted) 1-1-2014-0377463-32
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.04.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0377466-79
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2014.08.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0594430-62
9 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2014.09.29 수리 (Accepted) 7-1-2014-0036911-27
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.10.28 수리 (Accepted) 1-1-2014-1033010-29
11 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2014.10.28 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2014-1033011-75
12 등록결정서
Decision to Grant Registration
2014.11.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0810459-97
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하기 화학식 1로 표시되는 루테늄 전구체:[화학식 1] (상기 식에서, R1-R12는 서로 독립적으로 H, CH3, C2H5, CH(CH3)2 및 C(CH3)3로부터 선택된다
2 2
삭제
3 3
하기 화학식 2로 표시되는 화합물과 화학식 3으로 표시되는 화합물을 반응시키는 것을 포함하는, 제1항에 따른 화학식 1로 표시되는 루테늄 전구체의 제조방법:[화학식 2] [화학식 3] (상기 식에서, X는 Cl, Br 또는 I이고, R1-R12는 서로 독립적으로 H, CH3, C2H5, CH(CH3)2 및 C(CH3)3로부터 선택된다
4 4
제1항의 루테늄 전구체를 이용하여 루테늄 박막을 성장시키는 방법
5 5
제4항에 있어서,박막 성장 공정이 화학기상증착법(CVD) 또는 원자층증착법(ALD)에 의하여 수행되는 것을 특징으로 하는 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한국화학연구원 미래기반기술개발사업 CVD/ALD 공정에 적합한 목적지향형 분자 전구체 설계 및 합성
2 산업기술연구회 한국화학연구원 기관고유사업 정보전자 산업용 전구체 개발